JPH04314990A - ２段スクリュー真空ポンプ - Google Patents
２段スクリュー真空ポンプInfo
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- JPH04314990A JPH04314990A JP40167690A JP40167690A JPH04314990A JP H04314990 A JPH04314990 A JP H04314990A JP 40167690 A JP40167690 A JP 40167690A JP 40167690 A JP40167690 A JP 40167690A JP H04314990 A JPH04314990 A JP H04314990A
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- pump
- stage
- stage pump
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 8
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平行な２軸の回りを互
いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと
、これら両ロータを収め吸込口及び吐出口を備えたケー
シングとからなる前段ポンプと後段ポンプとを設け、前
段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で
連通した２段スクリュー真空ポンプに関する。
いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと
、これら両ロータを収め吸込口及び吐出口を備えたケー
シングとからなる前段ポンプと後段ポンプとを設け、前
段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で
連通した２段スクリュー真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】先ず、図３を参照してスクリュー真空ポ
ンプを説明する。
ンプを説明する。
【０００３】図において、主ケージング１と吐出ケーシ
ング２とで形成された空腔内には、雄スクリューロータ
７（雌スクリューロータは図示していない）が軸受５ａ
、５ｂにより回転自在に支持されており、軸シール６ａ
、６ｂにより軸受５ａ、５ｂの潤滑油からシールされて
いる。
ング２とで形成された空腔内には、雄スクリューロータ
７（雌スクリューロータは図示していない）が軸受５ａ
、５ｂにより回転自在に支持されており、軸シール６ａ
、６ｂにより軸受５ａ、５ｂの潤滑油からシールされて
いる。
【０００４】その雄スクリューロータ７の一端には、両
ロータに微小隙間を設けて同時回転させるタイミングギ
ヤ１０が設けられ、このロータ７は図示しない増速装置
を介して図示しない電動機で高速回転されるようになっ
ている。
ロータに微小隙間を設けて同時回転させるタイミングギ
ヤ１０が設けられ、このロータ７は図示しない増速装置
を介して図示しない電動機で高速回転されるようになっ
ている。
【０００５】そして、吸込口８ａより吸込まれた気体は
、吸込ポート８ｂを通り両ロータで形成される歯溝空間
に吸込まれ、圧縮過程を経て吐出ポート９ｂを介し、吐
出口９ａから吐出されるようになっている。
、吸込ポート８ｂを通り両ロータで形成される歯溝空間
に吸込まれ、圧縮過程を経て吐出ポート９ｂを介し、吐
出口９ａから吐出されるようになっている。
【０００６】図４において、真空容器２１は前段ポンプ
２２の前段吸込口２７に接続され、その前段ポンプ２２
の前段吐出口２８は、中間通路２３により後段ポンプ２
４の後段吸込口２９に接続されている。
２２の前段吸込口２７に接続され、その前段ポンプ２２
の前段吐出口２８は、中間通路２３により後段ポンプ２
４の後段吸込口２９に接続されている。
【０００７】他方、駆動機２５の出力軸には、増速ギヤ
２６が設けられ、その増速ギヤ２６は、両ポンプＡ１、
Ａ２の雄ロータ７Ａ、７Ｂに連係されている。
２６が設けられ、その増速ギヤ２６は、両ポンプＡ１、
Ａ２の雄ロータ７Ａ、７Ｂに連係されている。
【０００８】そして、真空容器２１内の気体は、前段ポ
ンプ２２、中間通路２３及び後段ポンプ２４を介し後段
吐出口３０から吐出され、真空容器２１内が高真空度に
維持されるようになっている。
ンプ２２、中間通路２３及び後段ポンプ２４を介し後段
吐出口３０から吐出され、真空容器２１内が高真空度に
維持されるようになっている。
【０００９】このような２段スクリュー真空ポンプにお
いては、定常運転状態で前段ポンプ２２の吸込圧力は、
１０−２〜１０−３ｔｏｒｒに達し、中間通路２３内の
圧力（これは前段ポンプ２２の背圧であり、後段ポンプ
２４の吸込圧でもある）は、約１〜２０ｔｏｒｒであり
、後段ポンプ２４の吐出圧は、大気圧である。従って前
段ポンプ２２に吸込まれた気体の体積は、中間通路２３
では、１／１００以下に圧縮されることになる。そのた
め、吸込圧の低い稀薄な気体を吸込む前段ポンプ２２は
、より多くの気体を取り込めるように、排気速度を大き
くし、他方、後段ポンプ２４は、小量の気体を排気すれ
ばよいことと、全体の小型化のために、前段ポンプ２２
の１５〜７０％の小さな排気速度にされている。
いては、定常運転状態で前段ポンプ２２の吸込圧力は、
１０−２〜１０−３ｔｏｒｒに達し、中間通路２３内の
圧力（これは前段ポンプ２２の背圧であり、後段ポンプ
２４の吸込圧でもある）は、約１〜２０ｔｏｒｒであり
、後段ポンプ２４の吐出圧は、大気圧である。従って前
段ポンプ２２に吸込まれた気体の体積は、中間通路２３
では、１／１００以下に圧縮されることになる。そのた
め、吸込圧の低い稀薄な気体を吸込む前段ポンプ２２は
、より多くの気体を取り込めるように、排気速度を大き
くし、他方、後段ポンプ２４は、小量の気体を排気すれ
ばよいことと、全体の小型化のために、前段ポンプ２２
の１５〜７０％の小さな排気速度にされている。
【００１０】したがって、１台の駆動機２５で、前後段
ポンプ２２、２４を大気圧から起動する場合には、前段
ポンプ２２から中間通路２３に排出される気体量より後
段ポンプ２４が排出する気体量が少ないので、中間通路
２３の圧力が大気圧以上に上昇し、前後段ポンプ２２、
２４とも駆動トルクが著しく増加する。また、そのとき
生じる圧縮熱により異常な温度上昇が起こり、各部材に
損傷が生じることがある。これは、前後段ポンプ２２、
２４をそれぞれ別個の駆動機で駆動する場合でも、同様
である。
ポンプ２２、２４を大気圧から起動する場合には、前段
ポンプ２２から中間通路２３に排出される気体量より後
段ポンプ２４が排出する気体量が少ないので、中間通路
２３の圧力が大気圧以上に上昇し、前後段ポンプ２２、
２４とも駆動トルクが著しく増加する。また、そのとき
生じる圧縮熱により異常な温度上昇が起こり、各部材に
損傷が生じることがある。これは、前後段ポンプ２２、
２４をそれぞれ別個の駆動機で駆動する場合でも、同様
である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】これに対し、両ポンプ
２２、２４を別個の駆動機で駆動する場合には、先ず、
後段ポンプ２４を起動し、前段ポンプ２２の吸込圧と背
圧とが所定の圧力以後下になったのちに、前段ポンプ２
２を起動する方法が採られている。
２２、２４を別個の駆動機で駆動する場合には、先ず、
後段ポンプ２４を起動し、前段ポンプ２２の吸込圧と背
圧とが所定の圧力以後下になったのちに、前段ポンプ２
２を起動する方法が採られている。
【００１２】１台の駆動機２５で両ポンプ２２、２４を
駆動する場合には、両ポンプ２２、２４のタイミングを
ずらして起動するために、例えば前段ポンプ２２の動力
伝達手段として電磁クラッチなどを設け、タイミングを
計って電磁クラッチを接続している。したがって、構造
が複雑でコストが高く、大型になる。
駆動する場合には、両ポンプ２２、２４のタイミングを
ずらして起動するために、例えば前段ポンプ２２の動力
伝達手段として電磁クラッチなどを設け、タイミングを
計って電磁クラッチを接続している。したがって、構造
が複雑でコストが高く、大型になる。
【００１３】また、大気圧を吸入して中間通路２３の中
間圧が高くなったときに開く開閉弁を設け、中間通路２
３の大気を大気に開放するか、又は後段ポンプ２４の吐
出管に排出するようにしている技術が知られている（実
公平２−７２６８号公報、実公平２−２９２５９号公報
）。しかし、この公知技術では、排出先が大気圧なので
、中間通路２３の圧力を大気圧以下にすることができな
いので、駆動トルクの低減効果が充分ではない。
間圧が高くなったときに開く開閉弁を設け、中間通路２
３の大気を大気に開放するか、又は後段ポンプ２４の吐
出管に排出するようにしている技術が知られている（実
公平２−７２６８号公報、実公平２−２９２５９号公報
）。しかし、この公知技術では、排出先が大気圧なので
、中間通路２３の圧力を大気圧以下にすることができな
いので、駆動トルクの低減効果が充分ではない。
【００１４】本発明は、上記した問題に鑑みてなされた
もので、中間圧の上昇を抑え、駆動トルクを低減する２
段スクリュー真空ポンプを提供することを目的としてい
る。
もので、中間圧の上昇を抑え、駆動トルクを低減する２
段スクリュー真空ポンプを提供することを目的としてい
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の２段スクリュー
真空ポンプは、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回
転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、これら両ロータ
を収め吸込口及び吐出口を備えたケーシングとからなる
前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段ポンプの吐出口
と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連通した２段スク
リュー真空ポンプにおいて、後段ポンプの排気速度が前
段ポンプの排気速度よりも速くなるように構成されてい
る。
真空ポンプは、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回
転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、これら両ロータ
を収め吸込口及び吐出口を備えたケーシングとからなる
前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段ポンプの吐出口
と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連通した２段スク
リュー真空ポンプにおいて、後段ポンプの排気速度が前
段ポンプの排気速度よりも速くなるように構成されてい
る。
【００１６】本発明の実施に際して、平行な２軸の回り
を互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロー
タと、これら両ロータを収め吸込口及び吐出口を備えた
ケーシングとからなる前段ポンプと後段ポンプとを設け
、前段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを中間通
路で連通した２段スクリュー真空ポンプにおいて、前記
後段ポンプのロータのサイズを前記前段ポンプのロータ
のサイズより大きく形成することが出来る。
を互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロー
タと、これら両ロータを収め吸込口及び吐出口を備えた
ケーシングとからなる前段ポンプと後段ポンプとを設け
、前段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを中間通
路で連通した２段スクリュー真空ポンプにおいて、前記
後段ポンプのロータのサイズを前記前段ポンプのロータ
のサイズより大きく形成することが出来る。
【００１７】また、平行な２軸の回りを互いに噛み合っ
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、これら両ロ
ータを収め吸込口及び吐出口を備えたケーシングとから
なる前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段ポンプの吐
出口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連通した２段
スクリュー真空ポンプにおいて、前記後段ポンプのロー
タ回転ギヤの歯数を前記前段ポンプのロータ回転ギヤの
歯数より小さく形成することが出来る。
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、これら両ロ
ータを収め吸込口及び吐出口を備えたケーシングとから
なる前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段ポンプの吐
出口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連通した２段
スクリュー真空ポンプにおいて、前記後段ポンプのロー
タ回転ギヤの歯数を前記前段ポンプのロータ回転ギヤの
歯数より小さく形成することが出来る。
【００１８】
【作用】上記のように構成された２段スクリュー真空ポ
ンプにおいては、後段ポンプの排気速度が前段ポンプの
排気速度よりも速くなるように構成されている。したが
って、後段ポンプの吸込流体体積は前段ポンプの吐出流
体体積よりも常に大きくなる。そのため、起動時や定常
運転時に大気を吸込んでも、中間通路の圧力は大気圧以
下に抑えられる。その結果、駆動トルクが低減され、ま
た、圧縮熱による異常な温度上昇が防止される。
ンプにおいては、後段ポンプの排気速度が前段ポンプの
排気速度よりも速くなるように構成されている。したが
って、後段ポンプの吸込流体体積は前段ポンプの吐出流
体体積よりも常に大きくなる。そのため、起動時や定常
運転時に大気を吸込んでも、中間通路の圧力は大気圧以
下に抑えられる。その結果、駆動トルクが低減され、ま
た、圧縮熱による異常な温度上昇が防止される。
【００１９】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００２０】なお、これらの図面において図４に対応す
る部分については、同じ符号を付して重複説明を省略す
る。
る部分については、同じ符号を付して重複説明を省略す
る。
【００２１】図１において、後段ポンプ２４Ａの雄ロー
タ７ｂ（雌ロータは図示していない）は、前段ポンプ２
２の雄ロータ７Ａ（雌ロータは図示していない）より大
径に形成されている。
タ７ｂ（雌ロータは図示していない）は、前段ポンプ２
２の雄ロータ７Ａ（雌ロータは図示していない）より大
径に形成されている。
【００２２】したがって、後段ポンプ２４Ａの吸込流体
体積は、前段ポンプ２２の吸込流体体積より常に大きい
。そのため、起動時や定常運転時に大気を吸込んでも、
中間通路２３の圧力は、大気圧以下に抑えられる。 その結果、駆動機２５の駆動トルクが低減され、また、
圧縮熱による異常な温度上昇が防止される。
体積は、前段ポンプ２２の吸込流体体積より常に大きい
。そのため、起動時や定常運転時に大気を吸込んでも、
中間通路２３の圧力は、大気圧以下に抑えられる。 その結果、駆動機２５の駆動トルクが低減され、また、
圧縮熱による異常な温度上昇が防止される。
【００２３】図２は本発明の別な態様を示しており、増
速ギヤ２６Ａの後段ポンプ２４の増速比は、前段ポンプ
２２の増速比より大きく形成されている。すなわち被動
ギヤｂの歯数は、被動ギヤａの歯数より少なく形成され
ている。したがって、後段ポンプ２４の回転速度は、前
段ポンプ２２の回転速度より大きく、前記と同様な作用
効果がある。
速ギヤ２６Ａの後段ポンプ２４の増速比は、前段ポンプ
２２の増速比より大きく形成されている。すなわち被動
ギヤｂの歯数は、被動ギヤａの歯数より少なく形成され
ている。したがって、後段ポンプ２４の回転速度は、前
段ポンプ２２の回転速度より大きく、前記と同様な作用
効果がある。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、後段ポンプの排気速度を前段ポンプの排気
速度より速くして、後段ポンプの吸込流体体積を前段ポ
ンプの吐出流体体積よりも常に大きくすることにより、
中間通路の圧力を大気圧以下に抑え、駆動トルクを低減
し、それにより、圧縮熱による異常な温度上昇を防止す
ることができる。
ているので、後段ポンプの排気速度を前段ポンプの排気
速度より速くして、後段ポンプの吸込流体体積を前段ポ
ンプの吐出流体体積よりも常に大きくすることにより、
中間通路の圧力を大気圧以下に抑え、駆動トルクを低減
し、それにより、圧縮熱による異常な温度上昇を防止す
ることができる。
【図１】本発明の一態様を示す構成図。
【図２】本発明の別の態様を示す構成図。
【図３】スクリュー真空ポンプを示す側断面図。
【図４】２段スクリュー真空ポンプを示す構成図。
７Ａ、７Ｂ、７ｂ・・・雄ロータ
２１・・・真空容器
２２・・・前段ポンプ
２３・・・中間通路
２４、２４Ａ・・・後段ポンプ
２５・・・駆動機
２６、２６Ａ・・・増速ギヤ
２７・・・前段吸込口
２８・・・前段吐出口
２９・・・後段吸込口
３０・・・後段吐出口
Claims (1)
- 【請求項１】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って
回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、これら両ロー
タを収め吸込口及び吐出口を備えたケーシングとからな
る前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段ポンプの吐出
口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連通した２段ス
クリュー真空ポンプにおいて、後段ポンプの排気速度が
前段ポンプの排気速度よりも速くなるように構成したこ
とを特徴とする２段スクリュー真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2401676A JPH0726625B2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ２段スクリュー真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2401676A JPH0726625B2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ２段スクリュー真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04314990A true JPH04314990A (ja) | 1992-11-06 |
| JPH0726625B2 JPH0726625B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=18511513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2401676A Expired - Fee Related JPH0726625B2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ２段スクリュー真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0726625B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004109112A1 (en) * | 2003-06-11 | 2004-12-16 | Lee, Ki-Chun | Four-in pump |
| JP2005307978A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Alcatel | 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備 |
| JP2008111432A (ja) * | 2006-10-28 | 2008-05-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプおよびその運転方法 |
| US10590930B2 (en) * | 2014-11-20 | 2020-03-17 | Itt Bornemann Gmbh | System for conveying a medium |
-
1990
- 1990-12-12 JP JP2401676A patent/JPH0726625B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004109112A1 (en) * | 2003-06-11 | 2004-12-16 | Lee, Ki-Chun | Four-in pump |
| JP2005307978A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Alcatel | 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備 |
| JP2008111432A (ja) * | 2006-10-28 | 2008-05-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプおよびその運転方法 |
| US10590930B2 (en) * | 2014-11-20 | 2020-03-17 | Itt Bornemann Gmbh | System for conveying a medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0726625B2 (ja) | 1995-03-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |