JPS62285219A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPS62285219A JPS62285219A JP12895786A JP12895786A JPS62285219A JP S62285219 A JPS62285219 A JP S62285219A JP 12895786 A JP12895786 A JP 12895786A JP 12895786 A JP12895786 A JP 12895786A JP S62285219 A JPS62285219 A JP S62285219A
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Landscapes
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体、詳しくは耐摩耗性、耐熱性、耐
食性に優れた磁気ディスク上の保護膜及びその形成方法
に関する、。
食性に優れた磁気ディスク上の保護膜及びその形成方法
に関する、。
本発明は磁気記録媒体において、金属磁性薄膜媒体上に
、酸化物、窒化物、炭化物及び炭素から選ばれる少くと
も１種の物質より成る薄膜が被覆された表面上に、融点
７０℃以上の高級アルコール、飽和及び不飽和脂肪酸、
高級脂肪酸エステル及びアミン、金属セッケンを少くと
も１種被覆し、融点以上に加熱し含浸せしめたことによ
り、磁気ヘッドとの摩擦係数を著しく低下させ、磁気ヘ
ッドとの接触、加圧を繰り返しおこなっても初期の低い
摩擦係数を維持し、又含浸された固体潤滑剤により、耐
食性も向上したものである２〔従来の技術〕 金属薄膜型磁気記録媒体は、粉末磁性材料を有機バイン
ダ中に分散させたものを非磁性基板上に塗布した塗布型
媒体に比べて、高密度記録化という点で大きな利点を有
している。金属薄膜媒体の製造方法としては、電解、無
電解メッキ方法、又スパッタ法が考案されており、技術
的にも確立されている。
、酸化物、窒化物、炭化物及び炭素から選ばれる少くと
も１種の物質より成る薄膜が被覆された表面上に、融点
７０℃以上の高級アルコール、飽和及び不飽和脂肪酸、
高級脂肪酸エステル及びアミン、金属セッケンを少くと
も１種被覆し、融点以上に加熱し含浸せしめたことによ
り、磁気ヘッドとの摩擦係数を著しく低下させ、磁気ヘ
ッドとの接触、加圧を繰り返しおこなっても初期の低い
摩擦係数を維持し、又含浸された固体潤滑剤により、耐
食性も向上したものである２〔従来の技術〕 金属薄膜型磁気記録媒体は、粉末磁性材料を有機バイン
ダ中に分散させたものを非磁性基板上に塗布した塗布型
媒体に比べて、高密度記録化という点で大きな利点を有
している。金属薄膜媒体の製造方法としては、電解、無
電解メッキ方法、又スパッタ法が考案されており、技術
的にも確立されている。
しかし、潤滑剤と有機バインダで磁性体が保護されてい
る塗布型と違い、金属薄膜媒体は、もう一層、耐食性に
優れ、機械的耐久性も向上させる保護膜を形成させなけ
ればならない。
る塗布型と違い、金属薄膜媒体は、もう一層、耐食性に
優れ、機械的耐久性も向上させる保護膜を形成させなけ
ればならない。
耐食性良否を判定する試験としては、結露させない条件
のもとで、８０℃、８０％ＲＨ，３０日間の雰囲気に放
置しておき、ビットエラーの増減を調べる方法がある。
のもとで、８０℃、８０％ＲＨ，３０日間の雰囲気に放
置しておき、ビットエラーの増減を調べる方法がある。
又機械的耐久性をみる試験としては、磁気記録媒体と磁
気ヘッドの接触、浮上を繰り返しおこなう、いわゆるコ
ンタクト、スタート、ストップ試験（以下ａＳＳ試験）
があり、磁気記録媒体と磁気ヘッドの摩耗状態を調べ、
また摩擦係数の増加傾向をみる方法がある。実際ドライ
ブに組むことも想定し、６０℃程度の耐熱特性も良くな
ければならない。
気ヘッドの接触、浮上を繰り返しおこなう、いわゆるコ
ンタクト、スタート、ストップ試験（以下ａＳＳ試験）
があり、磁気記録媒体と磁気ヘッドの摩耗状態を調べ、
また摩擦係数の増加傾向をみる方法がある。実際ドライ
ブに組むことも想定し、６０℃程度の耐熱特性も良くな
ければならない。
従来、耐食性を向上させる保護膜として、Ｒｈ、Ｏｒ
、Ｎ１−Ｐ 、Ａｕ等の金属層を被覆する方法、又、酸
化物、炭化物、窒化物、炭化物を被覆する事が、特公昭
４７−４９６０３、同４８−４１８８１、同５５−６２
５７、特開５３−７３１０８、同５８−２６３２０、時
分４９−２９４４５、同５２−１７４０２、時分４９−
２６５６３、同５０−３０４４３、同５１−１５９６７
、同５２−１８００１、同５４−２９２４２、同５４−
３４６０２、同５５−２９５００、同５７−４０５６５
、同５７−５８７３１、同５８−３７６１４、同５８−
３７６１５、特開５１−４７４０１、同５１−１４８４
０６、同５５−１０８９３０、同５７−１４７１３３、
同５７−１８９３３９、同５８−１３３６３４、同５８
−１０８０３０、時分５５−３９０４７、特開５５−７
３９３１、同５８−１７９９３８、同５８−１７９９３
９、同５８−４７９９４０等で提案されているが、これ
らの保護膜に潤滑特性がないため、数回〜数十回のＣ８
Ｓ試験によりヘッドクラッシュをおこしてしまう。唯一
潤滑特性のある膜として炭素質膜、特開昭５３−１４３
２０６、同５６−４１５２４が提案されているが、波腹
自体がポーラスであるため、耐食保護膜として不充分で
あり、又ａＳＳ試験時に発生する摩耗粉により、あるい
は表面が針面化され摩擦係数が増大し、問題となってい
る。
、Ｎ１−Ｐ 、Ａｕ等の金属層を被覆する方法、又、酸
化物、炭化物、窒化物、炭化物を被覆する事が、特公昭
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らの保護膜に潤滑特性がないため、数回〜数十回のＣ８
Ｓ試験によりヘッドクラッシュをおこしてしまう。唯一
潤滑特性のある膜として炭素質膜、特開昭５３−１４３
２０６、同５６−４１５２４が提案されているが、波腹
自体がポーラスであるため、耐食保護膜として不充分で
あり、又ａＳＳ試験時に発生する摩耗粉により、あるい
は表面が針面化され摩擦係数が増大し、問題となってい
る。
従来技術では、耐食性の優れた保護膜（酸化物、窒化物
、炭化物又は炭素）単独でａＳＳ試験をおこなうと、保
護膜に潤滑性がないために、凝層が生じ易く摩擦係数が
大きくなり、数回〜数十回でヘッドクラッシュを生じて
しまう。該保護膜の上に液体潤滑剤、固体潤滑剤を被覆
しても、密封型のドライブでは、６０℃近くも温度上昇
し、結局潤滑剤が飛散、又は該保護膜内に深く入りこん
でしまい、機械的信頼性を満足できないという問題を有
する。
、炭化物又は炭素）単独でａＳＳ試験をおこなうと、保
護膜に潤滑性がないために、凝層が生じ易く摩擦係数が
大きくなり、数回〜数十回でヘッドクラッシュを生じて
しまう。該保護膜の上に液体潤滑剤、固体潤滑剤を被覆
しても、密封型のドライブでは、６０℃近くも温度上昇
し、結局潤滑剤が飛散、又は該保護膜内に深く入りこん
でしまい、機械的信頼性を満足できないという問題を有
する。
そこで本発明はこの様な問題点を解決するもので、その
目的とするところは、酸化物、窒化物、炭化物及び炭素
より選ばれる少なくとも１種の物質より成る薄膜と固体
潤滑剤の被覆方法を改善し、６０℃程度の温度条件のな
かで・ヘッドとディスクのａＳＳ試験をおこなっても摩
擦係数の上昇もみられず、耐食性もより向上させた、磁
気記録媒体を提供することにある。
目的とするところは、酸化物、窒化物、炭化物及び炭素
より選ばれる少なくとも１種の物質より成る薄膜と固体
潤滑剤の被覆方法を改善し、６０℃程度の温度条件のな
かで・ヘッドとディスクのａＳＳ試験をおこなっても摩
擦係数の上昇もみられず、耐食性もより向上させた、磁
気記録媒体を提供することにある。
本発明の磁気記録媒体は、基体上に金属磁性薄膜媒体を
形成した後、Ｚｒ、Ｏｒ、Ｔｉ、Ｔａ。
形成した後、Ｚｒ、Ｏｒ、Ｔｉ、Ｔａ。
Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗから選ばれる少くとも１種の物質よりな
る被膜の形成の有無ののち、酸化物、窒化物、炭化物及
び炭素より選ばれる少なくとも１種の物質より成る薄膜
を形成し、更に少なくとも１種の固体潤滑剤を被覆し、
加熱、含浸せしめたことを特徴とする。
る被膜の形成の有無ののち、酸化物、窒化物、炭化物及
び炭素より選ばれる少なくとも１種の物質より成る薄膜
を形成し、更に少なくとも１種の固体潤滑剤を被覆し、
加熱、含浸せしめたことを特徴とする。
Ｚｒ、、Ｏｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗは、金属磁
性薄膜媒体と、酸化物、窒化物、炭化物及び炭素間の密
着性をよくする目的で被覆し、その膜厚は５０〜１００
Ｘで充分である・ 酸化物は、Ｓ ｉ ＯＨ、Ａ ｆｉ２０３ 、 Ｔ ａ
２０５等、窒化物はＴ ａ Ｍ 、 Ｔ ｉ Ｎ 、
Ｓ ｉ３ Ｎ４等・炭化物は、ｗａ 。
性薄膜媒体と、酸化物、窒化物、炭化物及び炭素間の密
着性をよくする目的で被覆し、その膜厚は５０〜１００
Ｘで充分である・ 酸化物は、Ｓ ｉ ＯＨ、Ａ ｆｉ２０３ 、 Ｔ ａ
２０５等、窒化物はＴ ａ Ｍ 、 Ｔ ｉ Ｎ 、
Ｓ ｉ３ Ｎ４等・炭化物は、ｗａ 。
ＳｉＯ等、炭素はダイヤモンド状、グラファイト状、ア
モルファス状のいずれでも良く、膜厚は１ｏｏＸ〜８０
０Ｘ形成する・以上は真空蒸着法、スパッタリング法、
イオンブレーティング法、ＣＶＤ法のいずれでも形成可
能である＠ 〔作 用〕 本発明の上記の構成によれば、金属磁性体の上に防食効
果の優れた酸化物、窒化物、炭化物と炭素の少なくとも
１種からなる薄膜が形成され、金属磁性体を保護する。
モルファス状のいずれでも良く、膜厚は１ｏｏＸ〜８０
０Ｘ形成する・以上は真空蒸着法、スパッタリング法、
イオンブレーティング法、ＣＶＤ法のいずれでも形成可
能である＠ 〔作 用〕 本発明の上記の構成によれば、金属磁性体の上に防食効
果の優れた酸化物、窒化物、炭化物と炭素の少なくとも
１種からなる薄膜が形成され、金属磁性体を保護する。
又、高級アルコール、飽和及び不飽和脂肪酸、高級脂肪
酸エステル及びアミン、金属石けんなどの固体潤滑剤は
、磁気記録媒体と、磁気ヘッドとのｊｌ！耗を低減させ
るが、本発明の方式では、酸化物、窒化物、炭化物及び
炭素の保護膵表面及びその内部の奥深くに固体潤滑剤が
含浸されているため、数千〜数万回のＣ８Ｓ試験ののち
でも゛、常に初期のＷｌ擦係数を保ち、金属薄腓磁性体
にも磁気ヘッドにもゴミ、塵埃が見られず、機械的信頼
性が非常に向上した。
酸エステル及びアミン、金属石けんなどの固体潤滑剤は
、磁気記録媒体と、磁気ヘッドとのｊｌ！耗を低減させ
るが、本発明の方式では、酸化物、窒化物、炭化物及び
炭素の保護膵表面及びその内部の奥深くに固体潤滑剤が
含浸されているため、数千〜数万回のＣ８Ｓ試験ののち
でも゛、常に初期のＷｌ擦係数を保ち、金属薄腓磁性体
にも磁気ヘッドにもゴミ、塵埃が見られず、機械的信頼
性が非常に向上した。
又最近の磁気ディスク装置はモーターなど回転系の放熱
ヘッドとの摩擦などにより、ディスク表面は６０℃程
度まで温度上昇があるが、保護膜内の細孔部に含浸して
いる固体潤滑剤は、飛散、蒸発しＫ〈いため、耐熱特性
も向上している〇細孔内、保護膜のピンホール内に含浸
している固体ＩＷ滑剤は、外気と金属磁性面の直接に接
触するのを防ぐことにより、耐食性的にも向上している
Ｏ 以上この発明方式により、耐食性、摩耗特性・耐熱性の
優れた磁気記録媒体が可能となった。
ヘッドとの摩擦などにより、ディスク表面は６０℃程
度まで温度上昇があるが、保護膜内の細孔部に含浸して
いる固体潤滑剤は、飛散、蒸発しＫ〈いため、耐熱特性
も向上している〇細孔内、保護膜のピンホール内に含浸
している固体ＩＷ滑剤は、外気と金属磁性面の直接に接
触するのを防ぐことにより、耐食性的にも向上している
Ｏ 以上この発明方式により、耐食性、摩耗特性・耐熱性の
優れた磁気記録媒体が可能となった。
鏡面仕上げされたディスク状アルミニウム合金基板上に
、非磁性Ｎ１−Ｐ合金メッキを約１０μｍ厚に被覆後、
研磨により８μｍ厚、表面粗さを００３μｍ以下に加工
し、更にＯｏ −Ｐ合金を００７μｍ厚にメッキを行な
った金属磁性媒体上に以下の処理を施した。
、非磁性Ｎ１−Ｐ合金メッキを約１０μｍ厚に被覆後、
研磨により８μｍ厚、表面粗さを００３μｍ以下に加工
し、更にＯｏ −Ｐ合金を００７μｍ厚にメッキを行な
った金属磁性媒体上に以下の処理を施した。
マグネトロンスパッタ法により、Ｔα、Ｎｂ。
Ｏｒ、Ｍｏを０〜１００Ｘ、更に酸化物、窒化物、炭化
物、炭素を２００〜８００χ成膜した。更に融点７０℃
以上の固体潤滑剤を２５〜５０Ａスピンコード法により
被覆し、焼成を行なった０表−１に実施例１〜９の被膜
形成条件を示す０評価はａＳＳ試験、及び耐湿試験で行
なった。
物、炭素を２００〜８００χ成膜した。更に融点７０℃
以上の固体潤滑剤を２５〜５０Ａスピンコード法により
被覆し、焼成を行なった０表−１に実施例１〜９の被膜
形成条件を示す０評価はａＳＳ試験、及び耐湿試験で行
なった。
ａＳＳ試験は、Ｃ３Ｓ前後の外観変化、静摩擦係数の変
化を求めた。 ドライブ内では連続使用により温度が６
０℃程度に上昇するため、ａＳＳ評価は６０℃４０％Ｒ
Ｈ，クラス１００の環境下で２００００回まで行なった
〇 耐湿試験は、８０℃８０％ＲＨ，クラス１００の環境下
に２５日間放置し、ＡＤＩｌ！！ＬＰＨＹの評価機を用
いて６００ＴＰ工で録再を行ない、新しく５ビット以上
のエラー増加かいくつあったかで判断した。これらの試
験は全てクラス１００以下のクリーンルーム内でおこな
った。塵、埃、人体からの汗などによる外的要因はない
。
化を求めた。 ドライブ内では連続使用により温度が６
０℃程度に上昇するため、ａＳＳ評価は６０℃４０％Ｒ
Ｈ，クラス１００の環境下で２００００回まで行なった
〇 耐湿試験は、８０℃８０％ＲＨ，クラス１００の環境下
に２５日間放置し、ＡＤＩｌ！！ＬＰＨＹの評価機を用
いて６００ＴＰ工で録再を行ない、新しく５ビット以上
のエラー増加かいくつあったかで判断した。これらの試
験は全てクラス１００以下のクリーンルーム内でおこな
った。塵、埃、人体からの汗などによる外的要因はない
。
表 １
表 ２
η中７Ｓμ麗また。
結果を表−２に表す。
保護膜、潤滑層の厚みが１０００Ａ以上になると磁気ヘ
ッドと金属磁性簿膜媒体との間隔が大きくなり、出力が
低下するため、高密度記録化には不利である。又、固体
潤滑剤被覆後の焼成を２３０℃以上の温度でおこなうと
、非磁性Ｎ ｉ −Ｐ合金が磁性をもち、良好な録再特
性を得ることができないため、固体潤滑剤の融点、焼成
温度は２５０℃以下に限定される。
ッドと金属磁性簿膜媒体との間隔が大きくなり、出力が
低下するため、高密度記録化には不利である。又、固体
潤滑剤被覆後の焼成を２３０℃以上の温度でおこなうと
、非磁性Ｎ ｉ −Ｐ合金が磁性をもち、良好な録再特
性を得ることができないため、固体潤滑剤の融点、焼成
温度は２５０℃以下に限定される。
以上述べたように本発明によれば、高融点固体潤滑剤を
含浸した薄膜を有することにより、機械的信頼性が大巾
に向上かつ持続し、耐湿特性も充分に向上することが可
能となった。
含浸した薄膜を有することにより、機械的信頼性が大巾
に向上かつ持続し、耐湿特性も充分に向上することが可
能となった。
実際のドライブでの特性向上を評価するため、アルミダ
イキャスト製のフレーム内に、該保護膜を有するディス
クと、Ｍ ｎ −Ｚ ｎ ７ ニライト製のヘッドの組
み合わせで、５ｏｏｏｏ回のａＳＳ試験をおこない、起
動不良、ダスト発生のないことを確認した◇この試験時
でフレーム温度は、６０以 上
イキャスト製のフレーム内に、該保護膜を有するディス
クと、Ｍ ｎ −Ｚ ｎ ７ ニライト製のヘッドの組
み合わせで、５ｏｏｏｏ回のａＳＳ試験をおこない、起
動不良、ダスト発生のないことを確認した◇この試験時
でフレーム温度は、６０以 上
Claims (3)
- （１）金属磁性薄膜媒体上に、酸化物、窒化物、炭化物
及び炭素の少なくとも１種の物質と、融点７０℃以上の
高級アルコール、飽和及び不飽和脂肪酸、高級脂肪酸エ
ステル及びアミン、金属セッケンの少なくとも１種の固
体潤滑剤から成る薄膜が形成されたことを特徴とする磁
気記録媒体。 - （２）金属磁性薄膜媒体と、酸化物、窒化物、炭化物及
び炭素より選ばれる少なくとも１種の物質より成る薄膜
との間に、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｌｏ、Ｗか
ら選ばれる少なくとも１種の物質より成る被膜が形成さ
れたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気
記録媒体。 - （３）金属磁性薄膜上に、酸化物、窒化物、炭化物及び
炭素の少なくとも１種の物質より成る薄膜を形成し、前
記固体潤滑剤を塗布、融点以上に加熱したことを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12895786A JPS62285219A (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12895786A JPS62285219A (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62285219A true JPS62285219A (ja) | 1987-12-11 |
Family
ID=14997593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12895786A Pending JPS62285219A (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62285219A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01294217A (ja) * | 1988-05-21 | 1989-11-28 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH02159387A (ja) * | 1988-12-13 | 1990-06-19 | Mazda Motor Corp | タングステンカーバイド層が形成された摺動部材 |
-
1986
- 1986-06-03 JP JP12895786A patent/JPS62285219A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01294217A (ja) * | 1988-05-21 | 1989-11-28 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH02159387A (ja) * | 1988-12-13 | 1990-06-19 | Mazda Motor Corp | タングステンカーバイド層が形成された摺動部材 |
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