JPH02304714A - 磁気記憶媒体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は非磁性基板上に強磁性金属薄膜を設けて成る磁
気記憶媒体及びその製造方法に関する。

〔従来の技術〕

金属媒体を有する磁気記憶媒体では、磁気ヘッドとの接
触に十分耐えうる機械的信頼性を有することが必要不可
欠である。磁気記憶媒体はドライブ構成の簡略化により
、コンタクト・スタート・ストップ（以下Ｃ８Ｓ方式と
略す）が採用され、更に磁気記録面の保護のため、磁気
記録面以外のシツピングゾーンの同一トラックでｃ　ｓ
　ｓ　−ｂ；行われる場合が多い。

また、磁気記録の高密度化にともない磁気ヘッドもフェ
ライトミニモノリシックヘッドから、コンポジットヘッ
ド、薄膜ヘッドと変わり、スライダー材の硬度が増加し
磁気記憶媒体の保護膜の耐久性の向上が求められている
。

従来、金属磁性媒体の表面に飽和脂肪酸等の有機潤滑層
を設ける方法（特公昭５６−３０６０９号）脂肪酸アミ
ドとリン系化合物の混合潤滑層を設ける方法（特公昭５
９−１６５２３８）高級脂肪酸と脂肪酸金属塩の混合潤
滑層を設ける方法（特公昭５９−１７７７２８）等があ
るが、硬度の高いスライダーを有する磁気ヘッドでのＣ
８Ｓでは摩擦係数の上昇、クラッシュの問題がある。

潤滑層と保護膜層との両方の特性を示す炭素質膜（特公
昭５４−３３５２１）（特開昭５３−１４３２０６）（
特開昭５６−４１５２４）は、Ｃ８Ｓ時に傷が入らず磁
気ヘッドの衝撃を緩衝するため、磁気特性の劣化も見ら
れないが、硬度の高いスライダーを有する磁気ヘッドで
のＣ８Ｓでは、Ｃ８Ｓ回数の増加につれ炭素質膜が削れ
摩楠係数が増大するという問題を有していた。

〔発明が解決しようとする課題及び目的〕上述のごと〈
従来技術では硬度の高いスライダーを有する磁気ヘッド
とのＣ８Ｓでは十分な機械的信頼性が得られず摩擦係数
の上昇を押さえることができなかった。

そこで本発明はこの様な問題点を解決するもので、その
目的とするところは硬度の高いスライダーを有する磁気
ヘッドでのＣ８Ｓでも強磁性金属媒体に機械的ダメージ
を与えず、かつ摩擦係数も増加しない磁気記憶媒体を提
供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の磁気記憶媒体は、非磁性基板上に形成された強
磁性金属媒体上に、酸化物、窒化物、炭化物あるいは炭
素から選ばれる少なくとも１種の物質より成る薄膜が被
覆され、その中に超音波を用いて、液体潤滑剤あるいは
固体潤滑剤の少なくとも１種を含浸せしめたことを特徴
とする。

酸化物は、５ｉｆ２、ＴｉＣ２、Ｃｒ、０３等、窒化物
は、ＴｉＮ、ＴａｚＮ、ＡＩＮ、Ｓ　１ｓＮｔ等、炭化
物は、ＳｉＣ，ＴｉＣ等、炭素は、ダイ、ヤモンド状、
グラファイト状、アモルフオス状の何れでもよく、膜厚
は、１５０人〜８００人形成する。

以上は真空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーテ
ィング法やＣＶＤ法の何れの方法でも形成可能である。

潤滑の含浸方法は、超音波法のほかに、高圧ジェットス
プレー法、バブルジェット法、ＨＩＰ法等で可能である
。

液体潤滑剤は、パーフロロポリエーテル、固体潤滑剤は
、高級アルコール、飽和、不飽和脂肪酸等を用いる。何
れも可溶性溶媒に希釈され、上記含浸方法を行い、ディ
ッピングで形成する。

〔作用〕

強磁性金属媒体上に形成された酸化物、窒化物、炭化物
、炭素は磁気ヘッドの衝撃を緩衝する機能があるが硬度
の高いスライダーを有する磁気ヘッドとのＣ８Ｓでは削
れてしまう。そこで潤滑性に優れた液体潤滑剤、固体潤
滑剤を単層、混合又は積層する。

酸化物、窒化物、炭化物、炭素のＮ膜は、多孔質膜とし
て形成されており、単純に潤滑剤を被、覆するだけでは
硬質磁気ヘッドでのＣ８Ｓをクリアすることはできない
。

本発明では、潤滑塗布工程において、液体潤滑、固体潤
滑の希釈溶媒に超音波をかけて、酸化物、窒化物、炭化
物、炭素の薄膜中に潤滑剤を拡散、浸透させる。

この含浸された潤滑剤の効果が持続することにより、長
期のＣ８Ｓ耐久性を確保することが可能となった。

次に実施例で具体的に説明する。

〔実施例−１〕 鏡面仕上げされたディスク状アルミニウム合金基板状に
非磁性合金めっきとしてＮ１−Ｐ合金めっきを約１５μ
ｍの厚さにめっき後、研磨により１０μｍの厚さ、表面
粗さ０．０３μｍ以下にし、更に金属磁性薄膜としてＣ
ｏ−Ｎ１−Ｐ合金を約０．０６μｍ厚にめっきした。

次にマグネトロンスパッタ法で、アモルフォス状炭素質
膜を３００人形成した。

次にフォンブリンＡＭ２００１（液体潤滑剤）をダイフ
ロンＳ−３溶媒にＯ，０ＯＩＷ／Ｖ％酒度で溶解し、６
０秒間超音波（３０ｋＨｚ、　１．６Ｗ／ｃｍ）をかけ
たのち、ディッピング法（１０ｃｍ　／Ｉ！１ｉｎ）で
塗布した。

〔実施例−２〕 実施例１と同様にして金属媒体を有するディスクを作成
した。

次にマグネトロンスパッタ装置でＴａ２Ｎ膜を７００人
形成した。次にリグノセリン酸（固体潤滑剤）をダイフ
ロンＳ−３とメタノールの混合溶媒（体積比８０対２０
）に０．００２Ｗ／Ｖ％濃度で溶解し、３０秒間超音波
（２５ｋＨｚ、０．８Ｗ／ｃ＋１）をかけたのちディッ
ピング法（１０ｃｔａ　／ｍｉｎ　）で塗布した。

〔実施例−３〕 実施例１と同様にして金属媒体を有するディスクを作成
した。

次にマグネトロンスパッタ装置でグラファイト状の炭素
質膜を８００人形成した。次にステアリンＭ（固体潤滑
剤）をダイフロンＳ−３とメタノールの混合溶媒（体積
比６０対４０）に０．０．ＯＩＷ／Ｖ％濃度で溶解し、
１２０秒間超音波（３０ｋＨｚ、　１　、２Ｗ／ｃｊ　
）をかけたのちディッピング法（１００ｍ／ｍ１ｎ）で
塗布した。

〔実施例−４〕 実施例１と同様にして金属媒体を有するディスクを作成
した。

次にマグネトロンスパッタ装置でグラファイト状の炭素
質膜を５００人形成した。次にステアリン酸カリウム（
固体潤滑剤）をダイフロンＳ−３とメタノールの混合溶
媒（体積比７５対２５）に０゜００２Ｗ／Ｖ％濃度で溶
解し、３０秒間超音波（１５ｋＨｚ、　０　、８ｗ／ｃ
＋ａ　）をかけたのちディッピング法（ＬｏＣｍ／ｍ１
ｎ）で塗布した。

〔比較例−１〕 実施例１に於いて超音波をかけずに潤滑を塗布して、サ
ンプルを作成した。

〔比較例−２〕 実施例２に於いて超音波をかけずに潤滑を塗布して、サ
ンプルを作成した。

〔比較例−３〕 実施例３に於いて超音波をかけずに潤滑を塗布して、サ
ンプルを作成した。

〔比較例−４〕 実施例４に於いて超音波をかけずに潤滑を塗布して、サ
ンプルを作成した。

〔比較例−５〕 実施例４に於いて潤滑剤を塗布せずにサンプルを作成し
た。

以上の実施例、比較例のディスクをＣ８Ｓ試験した。Ｃ
ＳＳ試験は、浮上量０．２０μｍ、Ｈｖ１２００のスラ
イダー材質アルミナチタンカーバイドの薄膜ヘッドを用
いてＣＳＳ前とＣ３Ｓ２００ｏｏ回後の静摩擦係数の測
定を行った。その結果を第１表に示す。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、酸化物、窒化物、
炭化物、炭素中に超音波を用いて強制的に、液体潤滑剤
、固体潤滑剤を含浸、拡散させることによりＣＳＳの耐
久性が向上した。

また硬質磁気ヘッドでの耐久特性が向上したことにより
、高記録密度の磁気ディスクを提供す、ることが可能と
なった。

第１表 社

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基板上に形成された強磁性金属薄膜媒体上
   に、酸化物、窒化物、炭化物あるいは炭素から選ばれる
   少なくとも１種の物質より成る薄膜が被覆され、その中
   に液体潤滑剤あるいは固体潤滑剤の少なくとも１種を含
   浸せしめたことを特徴とする磁気記憶媒体。
2. （２）酸化物、窒化物、炭化物あるいは炭素から選ばれ
   る少なくとも１種の物質よりなる薄膜に、超音波を用い
   て、液体潤滑剤あるいは固体潤滑剤の少なくとも１種を
   を含浸せしめたことを特徴とする第１項記載の磁気記憶
   媒体。
3. （３）非磁性基板上に形成された強磁性金属薄膜媒体上
   に、酸化物、窒化物、炭化物あるいは炭素から選ばれる
   少なくとも１種の物質よりなる薄膜が被覆され、その中
   に液体潤滑剤あるいは固体潤滑剤の少なくとも１種を含
   浸する工程からなることを特徴とする磁気記憶媒体の製
   造方法。
4. （４）酸化物、窒化物、炭化物あるいは炭素から選ばれ
   る少なくとも１種の物質からなる薄膜に、超音波を用い
   て、液体潤滑剤あるいは固体潤滑剤の少なくとも１種を
   含浸する工程からなることを特徴とする第３項記載の磁
   気記憶媒体の製造方法。