JPS62287562A - Ｍｓ／ｍｓ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［産業上の利用分野］ 本発明は、２つの質量分析装置を直列に接続した所謂Ｍ
Ｓ／ＭＳ装置に関Ｊるものである。

［従来技術］ ＭＳ／ＭＳ装置では、第１の質量分析系により目的質量
のイオン（親イオン）を分離し、この親イオンを例えば
衝突室に導入、して衝突解離させることにより娘イオン
を（ｑ、この娘イオンを更に第２の質量分析系へ導入し
、この第２の質量分析系を通過した娘イＡ−ンをイオン
検出器で検出している。

このような従来のＭＳ／ＭＳ装置では、第１の質量分析
系と衝突室の間に別のイオン検出器を挿入し、親イオン
を検出することが可能な構成になっている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところが、そのように別のイオン検出器を親イオンの通
路に挿入すると、イオンはそこで遮断されてしまって第
２の質量分析系には到達し冑ない。

そのため、装置の調整にあたっては、一方の検出器を使
用して一方の質量分析系の調整を行なった後、他方の検
出器を用いて他方の質量分析系の調整を行なうという手
順が必要であり、２つの質量分析系の連動関係を両方の
検出器からの信号を用いて調整することは困難であった
。

本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、２つ
の検出器から時分割的に検出信号を得て対比させて表示
することができるＭＳ／ＭＳ装置を提供１゛ることを目
的としている。

［問題点を解決するための手段］ この目的を達成するため、本発明にかかるＭＳ／ＭＳ装
置は、イオン源と、該イオン源で生成されたイオンが導
入される第１の質量分析部と、該第１の質量分析部を通
過したイオンが入射する衝突解離手段と、該衝突解離手
段からのイオンが導入される第２の質量分析部と、該第
２の質量分析部を通過したイオンを検出するためのイオ
ン検出器と、前記第１の質ｆｆ１分析部を掃引する第１
の掃引手段と、前記第２の質量分析部を掃引する第２の
掃引手段とを備えたＭＳ／ＭＳ装置において、前記第１
及び第２の掃引手段を所定の周期で繰返し掃引すると共
に、前記第１の質量分析部と衝突解離手段の間のイオン
通路から外れた位置に配置されるイオン軌道偏向手段を
備えた第２のイオン検出器と、該イオン軌道偏向手段に
供給する時分割偏向信号を発生する手段と、前記第１及
び第２のイオン検出器から時分割的に得られる夫々の信
号に基づいて２つのスペクトルを表示する表示手段を設
けたことを特徴としている。

以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳述する。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例の構成を示す概略図である。

図において１は測定試料のイオンを生成するイオン源で
ある。イオン源１に続き、以下類に電場２、磁場３、イ
オン検出器４、衝突室５、電場６、磁場７及びイオン検
出器８が配列されている。ここで、イオン源１からイオ
ン検出器４までが第１の二重収束質量分析装置ＭＳＩを
構成し、衝突室５からイオン検出器８までが第２の二重
収束ＴｌＦ７１分析装置ＭＳ２を構成している。

９はデータ処理及び制御を行なうためのコンピュータで
あり、イオン検出器４及び８からＡ−Ｄ変換器’ｔｏ、
ｉｉを介して検出信号を取込むと共に、Ｄ−Ａ変換器１
２．１３，１４．１５を介して電場型１１６．磁場電源
１７．電場電源１８゜磁場電源１９を大々制御する。２
０はディスプレイ装置である。

第２図はイオン検出器４を説明するための拡大図である
。イオン検出器４はイオンビームの中心軌道０を挟／υ
で対向配置されるイオン−電子変換電穫２１と電子増倍
管２２から構成される。この変換電極２１に電源２３か
ら負の高電圧が供給されると、イオン軌道Ｏを通る正イ
オンは変換電極２１へ向けて偏向されて衝突する。衝突
により派生した二次電子は、入１）Ｊ端が変換電極２１
よりも低い負電圧に保たれている電子増倍管２２に引き
寄せられて入射し検出される。

そして、変換電極２１へ供給される電圧をスイッチ２４
によって遮断すると、イオンは変換電極による偏向を受
けずにイオン軌道をそのまま直進し、ＭＳ２へ入射する
。従って、スイッチ２５をＯＮにするとイオン検出器４
を用いたＭＳＩによる測定を行なうことができ、ＯＦＦ
にするとイオン検出器８を用いたＭＳ２による測定を行
なうことができる。

第３図は本発明装置の動作を説明するｌ〔めの各部波形
図である。第３図（ａ）はスイッチ２４ヘコンピユータ
９から供給される時分割信号を示し、この時分割信号に
よりＭＳＩによる測定とＭＳ２による測定が時分割的、
に行なわれる。第３図（ｂ）は着目した質望数を中心に
して磁場３及び７を微小幅で掃引するための掃引信号で
あり、掃引時間は時分割の繰返し周期に比べ十分に長く
設定されている。

この掃引に伴う時分割により、イオン検出器４からは第
３図（Ｃ）に示すような着目ピークのスベクトル信号が
得られ、イオン検出器８からは同じく第３図（ｄ）に示
すような着目ピークのスペクトル信号が得られる。コン
ピュータ９は、Ａ−〇変換器１０．１１を介してこの２
つの信号を取込み、例えばスムージング処理を施した後
、第４図に示すように２つの信号に基づくスペクトルを
画面に表示する。これらのスペクトル波形は、実質的に
同一の条件には得られたもので、同一の表示画面上で直
接比較することが可能である。

従って、２つの質量分析系の運動関係を双方の検出器か
らの信号を用いて調整することができ、例えば、横軸（
質Ｂ数）のキャリプレーシコン等を行うことができ、Ｍ
Ｓ２のＥ、Ｂ、Ｂ／Ｅ、Ｂ２　／Ｅ′８、分析系の各種
スキャンモードでのキャリブレーション操作が簡単とな
る。

尚、上記説明では同−質り数を中心にしてＭＳｌ及びＭ
Ｓ２を掃引するため、衝突室に衝突ガスを供給せず、イ
オンをそのまま通過させる必要がある。一方、衝突室に
衝突ガスを供給し、特定の親イオンの質ｍ数を中心にし
てＭＳＩを掃引し、〜ｔｓ２は衝突室で派生した特定の
娘イオンの質り数を中心にして掃引するというように、
Ｍ　Ｓ　１とＭＳ２で１°ｄ引の中心質量数を異ならせ
るようにしても良い。

［効果］ 以上詳述の如く、本発明によれば、２つの検出器から時
分割的に検出信号を得、その検出信号に基づいてスペク
トルを対比さけて表示することができるＭＳ／Ｍβ装置
が実現されるため、２つの質量分析系の連動関係を双方
の検出器からの信号を用いて同時に調整することができ
る。

【図面の簡単な説明】

°　第１図は本発明の一実施例の構成を示す概略図、第
２図はイオン検出器を説明するための拡大図、第３図は
本発明装置の動作を説明するための各部波形図、第４図
はスペクトルの表示状態を説明する図である。 １：イオン’ｌｔＡ　　　　２，６：電場３．７：ｌ場
　　　４，８＝イオン検出器９：コンピュータ １０．１１　：Ａ−Ｄ変換器 １２〜１５　：　ｆ）−Ａ変１１Ｊ！器１６．１８：電
場電源 １７．１９：磁１２電源 ２０：ディスプレイ装置 ２１：イオン−電子変換電極 ２２：電子増倍管　２３：電源 ２４：スイッチ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. イオン源と、該イオン源で生成されたイオンが導入され
   る第１の質量分析部と、該第１の質量分析部を通過した
   イオンが入射する衝突解離手段と、該衝突解離手段から
   のイオンが導入される第２の質問分析部と、該第２の質
   量分析部を通過したイオンを検出するためのイオン検出
   器と、前記第１の質量分析部を掃引する第１の掃引手段
   と、前記第２の質量分析部を掃引する第２の掃引手段と
   を備えたＭＳ／ＭＳ装置において、前記第１及び第２の
   掃引手段を所定の周期で繰返し掃引すると共に、前記第
   １の質量分析部と衝突解離手段の間のイオン通路から外
   れた位置に配置されるイオン軌道偏向手段を備えた第２
   のイオン検出器と、該イオン軌道偏向手段に供給する時
   分割偏向信号を発生する手段と、前記第１及び第２のイ
   オン検出器から時分割的に得られる夫々の信号に基づい
   て２つのスペクトルを表示する表示手段を設けたことを
   特徴とするＭＳ／ＭＳ装置。