JPS622939B2 - - Google Patents
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- JPS622939B2 JPS622939B2 JP58088529A JP8852983A JPS622939B2 JP S622939 B2 JPS622939 B2 JP S622939B2 JP 58088529 A JP58088529 A JP 58088529A JP 8852983 A JP8852983 A JP 8852983A JP S622939 B2 JPS622939 B2 JP S622939B2
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- machining
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- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
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- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 6
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- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 4
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- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
- B23H7/265—Mounting of one or more thin electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
- B23H9/14—Making holes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
Landscapes
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は放電加工、レーザビーム加工、マイク
ロドリル加工等により微小穴加工を行う場合の、
被加工物位置決め機能を有した微小穴加工装置に
関するものである。
ロドリル加工等により微小穴加工を行う場合の、
被加工物位置決め機能を有した微小穴加工装置に
関するものである。
従来例の構成とその問題点
微小穴加工法としては、放電加工、レーザビー
ム加工、マイクロドリル加工等種々ある。これら
のうちたとえば放電加工により穴加工を行う場合
について述べるならば、直径0.3mm以下の微小穴
を放電加工により加工する場合の被加工物位置決
め方法としては以下に述べる二つの方法があつ
た。
ム加工、マイクロドリル加工等種々ある。これら
のうちたとえば放電加工により穴加工を行う場合
について述べるならば、直径0.3mm以下の微小穴
を放電加工により加工する場合の被加工物位置決
め方法としては以下に述べる二つの方法があつ
た。
一つは、接触感知法と呼ばれるものであり加工
電極と被加工物間の電気的な短絡を感知し、接触
位置をポジシヨンスケール等により読み取り、穴
あけ希望位置までポジシヨンスケール等の読みに
より移動させるものである。原理を第１図及び第
２図をもとにして説明する。
電極と被加工物間の電気的な短絡を感知し、接触
位置をポジシヨンスケール等により読み取り、穴
あけ希望位置までポジシヨンスケール等の読みに
より移動させるものである。原理を第１図及び第
２図をもとにして説明する。
第１図中、被加工物１は、XYテーブル３上に
おかれた加工槽２の絶縁性の液中におかれてい
る。４は先端が微小径の加工電極である。５はポ
ジシヨンスケール２２の表示器であり、被加工物
１の設置されている場所をポジシヨンスケール２
２からの信号により表示している。今被加工物１
と加工電極４との間に微弱電圧を加えながら加工
電極４を被加工物１に水平方向に近づけていくと
接触した瞬間に短絡電流が流れる。この時のポジ
シヨンスケールの表示器５の読みを０とセツトす
る。第２図に示すように穴をあけ希望位置６が被
加工物１の加工電極４の接触位置よりＸ方向にａ
の距離にあつたとすると加工電極径ｄを考慮し
て、Ｘ―Ｙテーブルをａ＋ｄ／２だけＸ方向へ動
かせば加工電極４の中心がＸ方向において穴加工
希望位置６と一致する。以上述べた方法を同様に
Ｙ方向へｂ＋ｄ／２だけ行うと加工電極４の中心
が穴加工希望位置と合致し正確に加工電極４の中
心を穴加工希望位置６に一致できる。
おかれた加工槽２の絶縁性の液中におかれてい
る。４は先端が微小径の加工電極である。５はポ
ジシヨンスケール２２の表示器であり、被加工物
１の設置されている場所をポジシヨンスケール２
２からの信号により表示している。今被加工物１
と加工電極４との間に微弱電圧を加えながら加工
電極４を被加工物１に水平方向に近づけていくと
接触した瞬間に短絡電流が流れる。この時のポジ
シヨンスケールの表示器５の読みを０とセツトす
る。第２図に示すように穴をあけ希望位置６が被
加工物１の加工電極４の接触位置よりＸ方向にａ
の距離にあつたとすると加工電極径ｄを考慮し
て、Ｘ―Ｙテーブルをａ＋ｄ／２だけＸ方向へ動
かせば加工電極４の中心がＸ方向において穴加工
希望位置６と一致する。以上述べた方法を同様に
Ｙ方向へｂ＋ｄ／２だけ行うと加工電極４の中心
が穴加工希望位置と合致し正確に加工電極４の中
心を穴加工希望位置６に一致できる。
しかしながら本方式は加工電極４の径が太い場
合には十分な精度が得られるが加工電極４の径が
数10μｍとなる電極の剛性が問題となり接触時の
電極のタワミにより十分な精度の位置決めが不可
能であつた。
合には十分な精度が得られるが加工電極４の径が
数10μｍとなる電極の剛性が問題となり接触時の
電極のタワミにより十分な精度の位置決めが不可
能であつた。
もう一つの方法は第３図に示すような実体顕微
鏡７を用い、加工電極４の先端ｅ及び被加工物１
を観察しながら位置合せを行う方法である。この
場合においては被加工物１を斜めより観察するこ
とになるため電極４が４′の位置に見える視差に
よりやはり精密な位置決めは不可能であつた。
鏡７を用い、加工電極４の先端ｅ及び被加工物１
を観察しながら位置合せを行う方法である。この
場合においては被加工物１を斜めより観察するこ
とになるため電極４が４′の位置に見える視差に
よりやはり精密な位置決めは不可能であつた。
発明の目的
本発明は以上の問題点にかんがみてなされたも
のであり、視差がなく、細径工具の場合にも高精
度な位置決めが可能な微小穴加工装置を提供する
ことを目的とするものである。
のであり、視差がなく、細径工具の場合にも高精
度な位置決めが可能な微小穴加工装置を提供する
ことを目的とするものである。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので基台上に、
微少径の加工を行う加工手段を有する加工ヘツド
部と、被加工物に対して鉛直方向より観察する如
く設けられた顕微鏡部と、被加工物を基台面に平
行で互いに直交するＸ、Ｙ方向に少なくとも移動
可能な載物台部とを具備し、前記加工ヘツド部と
顕微鏡部とは前記載物台部に対向してＸ方向に並
置されており、前記顕微鏡部は基台に対し鉛直方
向及びＸ、Ｙ方向に移動可能であり、前記載物台
部は被加工物を載置する第１のテーブルと、前記
第１のテーブルを載置する第２のテーブルと、前
記第２のテーブルを載置し基台上に設けられた第
３のテーブルとを備え、前記第１のテーブルはＸ
方向移動機能又は微小角回転調整機能の少なくと
も一方を有し、前記第２又は第３のテーブルは一
方がＸ方向に他方がＹ方向に摺動するように設け
られており、前記第２又は第３のテーブルのうち
Ｘ方向に摺動するテーブルを、被加工物と加工ヘ
ツド部とが対向する第１の状態に保持する第１の
保持手段と、被加工物と顕微鏡とが対向する第２
の状態に保持する第２の保持手段とを設けたこと
を特徴とする微小穴加工装置を提供するものであ
る。
微少径の加工を行う加工手段を有する加工ヘツド
部と、被加工物に対して鉛直方向より観察する如
く設けられた顕微鏡部と、被加工物を基台面に平
行で互いに直交するＸ、Ｙ方向に少なくとも移動
可能な載物台部とを具備し、前記加工ヘツド部と
顕微鏡部とは前記載物台部に対向してＸ方向に並
置されており、前記顕微鏡部は基台に対し鉛直方
向及びＸ、Ｙ方向に移動可能であり、前記載物台
部は被加工物を載置する第１のテーブルと、前記
第１のテーブルを載置する第２のテーブルと、前
記第２のテーブルを載置し基台上に設けられた第
３のテーブルとを備え、前記第１のテーブルはＸ
方向移動機能又は微小角回転調整機能の少なくと
も一方を有し、前記第２又は第３のテーブルは一
方がＸ方向に他方がＹ方向に摺動するように設け
られており、前記第２又は第３のテーブルのうち
Ｘ方向に摺動するテーブルを、被加工物と加工ヘ
ツド部とが対向する第１の状態に保持する第１の
保持手段と、被加工物と顕微鏡とが対向する第２
の状態に保持する第２の保持手段とを設けたこと
を特徴とする微小穴加工装置を提供するものであ
る。
実施例の説明
以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第４図は本発明の一実施例として放電加工用ヘツ
ドを用いた微小穴加工装置の全体構成図を示す。
第４図は本発明の一実施例として放電加工用ヘツ
ドを用いた微小穴加工装置の全体構成図を示す。
４は加工電極、１０は加工ヘツド部である。被
加工物１が加工槽２内の載物台１１上に置かれて
おり加工電極４を被加工物１側へ接近させていく
と両者の間で放電が始まり、加工電極４を被加工
物１側へ順次送つていくことにより穴加工が行わ
れる。
加工物１が加工槽２内の載物台１１上に置かれて
おり加工電極４を被加工物１側へ接近させていく
と両者の間で放電が始まり、加工電極４を被加工
物１側へ順次送つていくことにより穴加工が行わ
れる。
１２が位置決め用の顕微鏡であり、Ｘ、Ｙ、
Z3方向へ移動可能となつている。
Z3方向へ移動可能となつている。
また加工槽２は微調ネジ１３によりＸ方向の送
りを、微調ネジ２７により回転角の調整を行うよ
うになつている。スライドテーブル１４はＸ方向
にストツパー３１及び３２に当たるまで移動で
き、ストツパー３１に当てて固定した場合が被加
工物１が加工電極４の真下にある場合で、ストツ
パー３２に当てて固定した場合が顕微鏡直下にあ
る場合となる。スライドテーブル１４の下にさら
にＹ方向へ移動するテーブル１７があり、このテ
ーブル１７は送りネジ１８により移動する。加工
ヘツド部、顕微鏡部、載物台部は基台（図示せ
ず）上にそれぞれ設けられている。
りを、微調ネジ２７により回転角の調整を行うよ
うになつている。スライドテーブル１４はＸ方向
にストツパー３１及び３２に当たるまで移動で
き、ストツパー３１に当てて固定した場合が被加
工物１が加工電極４の真下にある場合で、ストツ
パー３２に当てて固定した場合が顕微鏡直下にあ
る場合となる。スライドテーブル１４の下にさら
にＹ方向へ移動するテーブル１７があり、このテ
ーブル１７は送りネジ１８により移動する。加工
ヘツド部、顕微鏡部、載物台部は基台（図示せ
ず）上にそれぞれ設けられている。
以下各構成要素について詳細な説明を行う。
顕微鏡１２は３個のスライド機構を有するホル
ダー２０に取り付けられている。２１ａは被加工
物１に対して鉛直方向のスライドであり、フオー
カス調整用である。２１ｂはスライドテーブル１
４と同方向（Ｘ方向）移動用スライド、２１ｃは
スライドテーブル１４移動方向に対して直角方向
（Ｙ方向）用のスライドである。顕微鏡１２の対
物レンズには十字線１５が入つており第４図に示
すように視野内に十字線１５が見えるようになつ
ている。
ダー２０に取り付けられている。２１ａは被加工
物１に対して鉛直方向のスライドであり、フオー
カス調整用である。２１ｂはスライドテーブル１
４と同方向（Ｘ方向）移動用スライド、２１ｃは
スライドテーブル１４移動方向に対して直角方向
（Ｙ方向）用のスライドである。顕微鏡１２の対
物レンズには十字線１５が入つており第４図に示
すように視野内に十字線１５が見えるようになつ
ている。
第５図に加工槽と移動テーブルの組合せ部を示
す。
す。
スライドテーブル１４に加工された穴２５に加
工槽２下部に取り付けられた回転スライド部２６
の円筒部分がはめ合い、調整ネジ２７により加工
槽２の突起２８を押すことにより加工槽が円筒は
めあい面内で摺動し微小角の回転を行う。また加
工槽２は下部のスライド部２９により矢印Ａ方向
（第４図Ｘ方向）に移動可能となつている。移動
量の調整は送りネジ３０によつて行う。
工槽２下部に取り付けられた回転スライド部２６
の円筒部分がはめ合い、調整ネジ２７により加工
槽２の突起２８を押すことにより加工槽が円筒は
めあい面内で摺動し微小角の回転を行う。また加
工槽２は下部のスライド部２９により矢印Ａ方向
（第４図Ｘ方向）に移動可能となつている。移動
量の調整は送りネジ３０によつて行う。
第６図にストツパ部を示す。スライドテーブル
１４左端のストツパ３１にはマイクロメータヘツ
ドを、右端のストツパ３２には端面を研摩した永
久磁石を用いている。左端の位置決めはスライド
テーブル１４内部にあるバネ（図示せず）により
スライドテーブル左端１４ａをストツパ（マイク
ロメータヘツド）３１に押し付けることで、右端
の位置決めはスライドテーブル右端１４ｂをスト
ツパ（マグネツト）３２端面に磁力で吸着させる
ことで行う。ストツパ（マグネツト）３２に吸着
したスライドテーブル１４は偏心カム３３をレバ
ー３４で回転させることによりワンタツチで離脱
可能となる。離脱されたスライドテーブル１４
は、前記バネの張力により左端１４ａのストツパ
（マイクロメータヘツド）３１に押し付けられ、
加工ヘツド部１０の加工電極４が被加工物１と対
向する状態に保たれる。
１４左端のストツパ３１にはマイクロメータヘツ
ドを、右端のストツパ３２には端面を研摩した永
久磁石を用いている。左端の位置決めはスライド
テーブル１４内部にあるバネ（図示せず）により
スライドテーブル左端１４ａをストツパ（マイク
ロメータヘツド）３１に押し付けることで、右端
の位置決めはスライドテーブル右端１４ｂをスト
ツパ（マグネツト）３２端面に磁力で吸着させる
ことで行う。ストツパ（マグネツト）３２に吸着
したスライドテーブル１４は偏心カム３３をレバ
ー３４で回転させることによりワンタツチで離脱
可能となる。離脱されたスライドテーブル１４
は、前記バネの張力により左端１４ａのストツパ
（マイクロメータヘツド）３１に押し付けられ、
加工ヘツド部１０の加工電極４が被加工物１と対
向する状態に保たれる。
続いて実際の加工と対応して使用法を第４図を
用いて説明する。
用いて説明する。
まず被加工物１を絶縁性加工液で満たされた加
工槽２内に設置し（位置決めは概略で可）スライ
ドテーブル１４を左端のストツパ３１に当たるま
で移動し固定する。この状態では被加工物１は略
加工電極４の下に位置することになる。本状態で
一度穴加工を行う。次に加工電極４を引き上げ、
スライドテーブル１４を右端ストツパ３２に当た
るまで移動し磁力により固定する。本状態では被
加工物は略顕微鏡１２の下にある。本状態におい
て顕微鏡１２をホルダー２０に付いている３方向
のスライド２１ａ，２１ｂ，２１ｃにより移動さ
せフオーカス調整を行い顕微鏡視野の十字線中心
を加工された穴の中心と一致させる。本調整によ
り加工電極位置Ｈと顕微鏡１２の十字線の中心Ｉ
がスライドテーブル１４の移動を介して共役の関
係となつた。ここでいう共役の関係とは、スライ
ドテーブル１４を左右ストツパ３１，３２にあた
るまで移動させた時、顕微鏡１２下における被加
工物１上の穴加工希望位置と、実際に加工電極４
により穴加工される位置とが常に一致している状
態のことを云う。従つて共役関係が達成されれば
次回の穴加工からは、顕微鏡１２下において被加
工物１の穴加工希望位置を十字線中心と一致させ
（以下に詳細に述べる）、スライドテーブル１４を
ストツパ３１に当たるまで移動し固定することに
より被加工物１の穴加工希望位置が加工電極の直
下に位置することとなる。
工槽２内に設置し（位置決めは概略で可）スライ
ドテーブル１４を左端のストツパ３１に当たるま
で移動し固定する。この状態では被加工物１は略
加工電極４の下に位置することになる。本状態で
一度穴加工を行う。次に加工電極４を引き上げ、
スライドテーブル１４を右端ストツパ３２に当た
るまで移動し磁力により固定する。本状態では被
加工物は略顕微鏡１２の下にある。本状態におい
て顕微鏡１２をホルダー２０に付いている３方向
のスライド２１ａ，２１ｂ，２１ｃにより移動さ
せフオーカス調整を行い顕微鏡視野の十字線中心
を加工された穴の中心と一致させる。本調整によ
り加工電極位置Ｈと顕微鏡１２の十字線の中心Ｉ
がスライドテーブル１４の移動を介して共役の関
係となつた。ここでいう共役の関係とは、スライ
ドテーブル１４を左右ストツパ３１，３２にあた
るまで移動させた時、顕微鏡１２下における被加
工物１上の穴加工希望位置と、実際に加工電極４
により穴加工される位置とが常に一致している状
態のことを云う。従つて共役関係が達成されれば
次回の穴加工からは、顕微鏡１２下において被加
工物１の穴加工希望位置を十字線中心と一致させ
（以下に詳細に述べる）、スライドテーブル１４を
ストツパ３１に当たるまで移動し固定することに
より被加工物１の穴加工希望位置が加工電極の直
下に位置することとなる。
続いて被加工物１の穴加工希望位置を顕微鏡視
野の十字線に合せる方法について述べる。
野の十字線に合せる方法について述べる。
加工電極位置Ｈと顕微鏡十字線位置Ｉの共役関
係をとつた上でスライドテーブル１４をストツパ
３２に固定する。次に顕微鏡１２をのぞきながら
十字線１５の中心に穴加工希望位置が来るように
送りネジ１８と１３を用いスライド１７、スライ
ド２９を動かし被加工物１を移動する。本実施例
では送りネジ１８及び１３にリード0.5mmのマイ
クロメータヘツドを用いているため本調整は容易
かつ高精度に行うことができる。本調整において
スライドテーブル１４下のスライド１７を動かし
ているため、スライドテーブル１４もＹ方向に移
動するが、スライドテーブル１４の動きとスライ
ド１７の動きは移動方向が互に直交にしてあるた
め、前段階でセツトした顕微鏡１２の十字線位置
Ｉと加工電極４の電極位置Ｈの共役関係を何ら損
うものではない。
係をとつた上でスライドテーブル１４をストツパ
３２に固定する。次に顕微鏡１２をのぞきながら
十字線１５の中心に穴加工希望位置が来るように
送りネジ１８と１３を用いスライド１７、スライ
ド２９を動かし被加工物１を移動する。本実施例
では送りネジ１８及び１３にリード0.5mmのマイ
クロメータヘツドを用いているため本調整は容易
かつ高精度に行うことができる。本調整において
スライドテーブル１４下のスライド１７を動かし
ているため、スライドテーブル１４もＹ方向に移
動するが、スライドテーブル１４の動きとスライ
ド１７の動きは移動方向が互に直交にしてあるた
め、前段階でセツトした顕微鏡１２の十字線位置
Ｉと加工電極４の電極位置Ｈの共役関係を何ら損
うものではない。
本調整を行つた後再びスライドテーブル１４を
ストツパー３１に当る位置まで動かし穴加工を行
うこととなる。共役関係は一度セツトすれば以降
の操作では調整不要である。
ストツパー３１に当る位置まで動かし穴加工を行
うこととなる。共役関係は一度セツトすれば以降
の操作では調整不要である。
以上述べた調整は被加工物１に対して加工する
穴が１個の場合であるが以下に多数個の穴を加工
する場合について述べる。第７図ａは多数個の穴
加工を行つた被加工物１を示している。多数個の
穴加工を行う場合は一般的に基準面Ａに対する穴
Ｋの中心を結んだ線Ｂの平行度ＡＢが問題とさ
れる。すなわち第７図ｂに示した基準面Ａに対す
る線Ｂのなす角度θを極力小さくする必要があ
る。
穴が１個の場合であるが以下に多数個の穴を加工
する場合について述べる。第７図ａは多数個の穴
加工を行つた被加工物１を示している。多数個の
穴加工を行う場合は一般的に基準面Ａに対する穴
Ｋの中心を結んだ線Ｂの平行度ＡＢが問題とさ
れる。すなわち第７図ｂに示した基準面Ａに対す
る線Ｂのなす角度θを極力小さくする必要があ
る。
まず、すでに述べた調整すなわち加工電極位置
Ｈと顕微鏡位置Ｉとの共役関係をもたせた上で第
８図ａに示すように加工穴希望位置B1の中心を
顕微鏡視野４０の十字線４１に一致させてあるも
のとする。本状態において送りネジ１８によりス
ライド１７をＹ方向に移動させ穴加工希望位置
B2〜ＢNまでを順次顕微鏡１２により観察する。
被加工物１の設置角度がスライド１７の送り方向
Ｙと一致していない場合には、スライド１７の移
動に伴いB2〜ＢNが顕微鏡の十字線４１中心より
ずれてくる。
Ｈと顕微鏡位置Ｉとの共役関係をもたせた上で第
８図ａに示すように加工穴希望位置B1の中心を
顕微鏡視野４０の十字線４１に一致させてあるも
のとする。本状態において送りネジ１８によりス
ライド１７をＹ方向に移動させ穴加工希望位置
B2〜ＢNまでを順次顕微鏡１２により観察する。
被加工物１の設置角度がスライド１７の送り方向
Ｙと一致していない場合には、スライド１７の移
動に伴いB2〜ＢNが顕微鏡の十字線４１中心より
ずれてくる。
この場合には調整ネジ２７により回転スライド
２６（第５図に示す）をθ゜回転させて第８図ｂ
に示すように被加工物１の設置角度をＹと一致さ
せ、スライド１７を動かしながら顕微鏡１２で穴
加工希望位置B1〜ＢNを観察しても十字線４０の
中心からずれないようにする。
２６（第５図に示す）をθ゜回転させて第８図ｂ
に示すように被加工物１の設置角度をＹと一致さ
せ、スライド１７を動かしながら顕微鏡１２で穴
加工希望位置B1〜ＢNを観察しても十字線４０の
中心からずれないようにする。
以上述べた張整を行つた上でスライドテーブル
１４を加工電極４側へ移動し、送りネジ１８でピ
ツチ送りを行い、加工を行えば多穴加工時におい
て穴の並びの角度誤差のない加工が可能となる。
１４を加工電極４側へ移動し、送りネジ１８でピ
ツチ送りを行い、加工を行えば多穴加工時におい
て穴の並びの角度誤差のない加工が可能となる。
本実施例では回転スライド２６に円筒のはめあ
いを用いているが、ボールベアリングを用いても
同様な機能を持たせることは可能である。
いを用いているが、ボールベアリングを用いても
同様な機能を持たせることは可能である。
また本実施例では加工ヘツドが放電加工用ヘツ
ドであつたが本位置決め機能は微小穴放電加工に
のみ限定されるのではなく加工ヘツドをマイクロ
ドリリング、レーザ加工用、その他のものを用い
れば他の方式による微小穴加工の場合にも使用可
能である。
ドであつたが本位置決め機能は微小穴放電加工に
のみ限定されるのではなく加工ヘツドをマイクロ
ドリリング、レーザ加工用、その他のものを用い
れば他の方式による微小穴加工の場合にも使用可
能である。
発明の効果
以上のように本発明は保持手段により移動範囲
及び固定位置を決定されたスライドテーブル（摺
動テーブル）を介して加工工具位置と共役位置に
おかれた顕微鏡下において被加工物を鉛直方向よ
り観察しながら、具備した微調機構を用いて被加
工物を直進あるいは回転させ、穴加工希望場所を
位置決めし、その後スライドテーブルを加工工具
側へ移動し、被加工物の穴加工を行うようにした
もので、非接触でかつ視差のない高精度に位置決
めされた微小穴放電加工が可能となる。
及び固定位置を決定されたスライドテーブル（摺
動テーブル）を介して加工工具位置と共役位置に
おかれた顕微鏡下において被加工物を鉛直方向よ
り観察しながら、具備した微調機構を用いて被加
工物を直進あるいは回転させ、穴加工希望場所を
位置決めし、その後スライドテーブルを加工工具
側へ移動し、被加工物の穴加工を行うようにした
もので、非接触でかつ視差のない高精度に位置決
めされた微小穴放電加工が可能となる。
第１図は従来の接触感知法による位置決め方法
の原理図、第２図は第１図の詳細を示す断面図、
第３図は実体顕微鏡を用いた従来の位置決め法の
説明図、第４図は本発明の一実施例である微小穴
放電加工装置の全体構成を示す斜視図、第５図は
本発明の被加工物位置決め用の微調機構を説明す
る分解斜視図、第６図は本発明の装置におけるス
トツパーの斜視図、第７図ａ，ｂは本発明の一実
施例である微小穴放電加工装置で多穴加工をする
場合の角度誤差の説明図、第８図ａ，ｂは本発明
の多穴加工時の被加工物の位置決め方法の説明図
である。 １…被加工物、２…加工槽、３…Ｘ―Ｙテーブ
ル、４…加工電極、５…ポジシヨンスケール表示
器、６…穴加工希望位置、７…実体顕微鏡、１０
…加工ヘツド部、１１…載物台、１２…顕微鏡、
１３…微調ネジ、１４…スライドテーブル（摺動
テーブル）、１５…十字線、２０…ホルダー、２
１ａ，ｂ，ｃ…Ｚ、Ｘ、Ｙ方向スライド、２５…
穴、２６…回転スライド、２７…角度調整用ネ
ジ、２８…突起、２９…スライド、３０…送りネ
ジ、３１…左端ストツパ、３２…右端ストツパ、
３３…偏心カム、３４…レバー、４０…顕微鏡視
野、４１…十字線。
の原理図、第２図は第１図の詳細を示す断面図、
第３図は実体顕微鏡を用いた従来の位置決め法の
説明図、第４図は本発明の一実施例である微小穴
放電加工装置の全体構成を示す斜視図、第５図は
本発明の被加工物位置決め用の微調機構を説明す
る分解斜視図、第６図は本発明の装置におけるス
トツパーの斜視図、第７図ａ，ｂは本発明の一実
施例である微小穴放電加工装置で多穴加工をする
場合の角度誤差の説明図、第８図ａ，ｂは本発明
の多穴加工時の被加工物の位置決め方法の説明図
である。 １…被加工物、２…加工槽、３…Ｘ―Ｙテーブ
ル、４…加工電極、５…ポジシヨンスケール表示
器、６…穴加工希望位置、７…実体顕微鏡、１０
…加工ヘツド部、１１…載物台、１２…顕微鏡、
１３…微調ネジ、１４…スライドテーブル（摺動
テーブル）、１５…十字線、２０…ホルダー、２
１ａ，ｂ，ｃ…Ｚ、Ｘ、Ｙ方向スライド、２５…
穴、２６…回転スライド、２７…角度調整用ネ
ジ、２８…突起、２９…スライド、３０…送りネ
ジ、３１…左端ストツパ、３２…右端ストツパ、
３３…偏心カム、３４…レバー、４０…顕微鏡視
野、４１…十字線。
Claims (1)
- １ 基台上に、微少径の加工を行う加工手段を有
する加工ヘツド部と、被加工物に対して鉛直方向
より観察する如く設けられた顕微鏡部と、被加工
物を基台面に平行で互いに直交するＸ、Ｙ方向に
少なくとも移動可能な載物台部とを具備し、前記
加工ヘツド部と顕微鏡部とは前記載物台部に対し
てＸ方向に並置されており、前記顕微鏡部は基台
に対し鉛直方向及びＸ、Ｙ方向に移動可能な直線
スライドを有し、前記載物台部は被加工物を設置
する第１のテーブルと、前記第１のテーブルを載
置する第２のテーブルと前記第２のテーブルを載
置し基台上に設けられた第３のテーブルとを備
え、前記第１のテーブルはＸ方向移動機能又は微
小角回転調整機能の少なくとも一方を有し、前記
第２又は第３のテーブルは一方がＸ方向に他方が
Ｙ方向に摺動するように設けられており、前記第
２又は第３のテーブルのうちＸ方向に摺動するテ
ーブルを、被加工物と加工ヘツド部とが対向する
第１の状態に保持する第１の保持手段と、被加工
物と顕微鏡とが対向する第２の状態に保持する第
２の保持手段とを設け、第１及び第２の保持手段
のいずれか一方が、バネによる張力によりテーブ
ルをストツパに押しつける構成から成り、他方が
磁石による吸着力によりテーブルを保持する構成
からなることを特徴とする微小穴加工装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58088529A JPS59214544A (ja) | 1983-05-19 | 1983-05-19 | 微小穴加工装置 |
| DE8484303406T DE3475172D1 (en) | 1983-05-19 | 1984-05-18 | Electrical discharge machining apparatus for forming minute holes in a workpiece |
| US06/612,012 US4771157A (en) | 1983-05-19 | 1984-05-18 | Electrical discharge machining apparatus for forming minute holes in a workpiece |
| EP84303406A EP0129340B1 (en) | 1983-05-19 | 1984-05-18 | Electrical discharge machining apparatus for forming minute holes in a workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58088529A JPS59214544A (ja) | 1983-05-19 | 1983-05-19 | 微小穴加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59214544A JPS59214544A (ja) | 1984-12-04 |
| JPS622939B2 true JPS622939B2 (ja) | 1987-01-22 |
Family
ID=13945361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58088529A Granted JPS59214544A (ja) | 1983-05-19 | 1983-05-19 | 微小穴加工装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4771157A (ja) |
| JP (1) | JPS59214544A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02272244A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-07 | Matsushita Seiko Co Ltd | 換気扇 |
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| RU204285U1 (ru) * | 2020-12-28 | 2021-05-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Федеральный исследовательский центр "Казанский научный центр Российской академии наук" | Устройство для прошивания прецизионных отверстий в гаскетах ячеек с алмазными наковальнями |
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-
1983
- 1983-05-19 JP JP58088529A patent/JPS59214544A/ja active Granted
-
1984
- 1984-05-18 US US06/612,012 patent/US4771157A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02272244A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-07 | Matsushita Seiko Co Ltd | 換気扇 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4771157A (en) | 1988-09-13 |
| JPS59214544A (ja) | 1984-12-04 |
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