JPS6230147B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6230147B2 JPS6230147B2 JP13924880A JP13924880A JPS6230147B2 JP S6230147 B2 JPS6230147 B2 JP S6230147B2 JP 13924880 A JP13924880 A JP 13924880A JP 13924880 A JP13924880 A JP 13924880A JP S6230147 B2 JPS6230147 B2 JP S6230147B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- particles
- optical fiber
- fine particles
- torch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/30—For glass precursor of non-standard type, e.g. solid SiH3F
- C03B2207/34—Liquid, e.g. mist or aerosol
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光通信に用いる光フアイバ用母材の製
造方法に関する。
造方法に関する。
光フアイバ用母材の製造方法としてVAD法が
知られている。VAD法においては、第１図に示
すような装置設定により、丸棒状の多孔質ガラス
体を製造する。
知られている。VAD法においては、第１図に示
すような装置設定により、丸棒状の多孔質ガラス
体を製造する。
第１図において、１はガラス原料および火炎用
ガスの供給装置であり、ガラス微粒子合成トーチ
２に導かれる。ガラス微粒子合成トーチ２によつ
て、加水分解反応または熱酸化反応により合成さ
れたガラス微粒子が支持棒３の一端に付着、堆積
して多孔質ガラス体４を形成する。５は付着しな
かつたガラス微粒子を含む排気ガスの処理装置で
ある。形成された多孔質ガラス体は、その後、上
部に設けた高温発熱体６によつて1500〜1700℃に
加熱、脱泡されて透明ガラス母材となる。７は回
転引き上げ装置、８は保護容器である。
ガスの供給装置であり、ガラス微粒子合成トーチ
２に導かれる。ガラス微粒子合成トーチ２によつ
て、加水分解反応または熱酸化反応により合成さ
れたガラス微粒子が支持棒３の一端に付着、堆積
して多孔質ガラス体４を形成する。５は付着しな
かつたガラス微粒子を含む排気ガスの処理装置で
ある。形成された多孔質ガラス体は、その後、上
部に設けた高温発熱体６によつて1500〜1700℃に
加熱、脱泡されて透明ガラス母材となる。７は回
転引き上げ装置、８は保護容器である。
従来、VAD法では、ガラス微粒子の多孔質ガ
ラス体成長面への付着効率がたかだか50〜70％程
度であり、時にガラス原料の供給量を増加した場
合には、効率が30〜40％程度に低下してしまう欠
点があつた。このような現象は、経済性の面で望
ましくなく、また付着しなかつたガラス微粒子が
保護容器８の内壁面に多量に付着するという欠点
にもなつた。
ラス体成長面への付着効率がたかだか50〜70％程
度であり、時にガラス原料の供給量を増加した場
合には、効率が30〜40％程度に低下してしまう欠
点があつた。このような現象は、経済性の面で望
ましくなく、また付着しなかつたガラス微粒子が
保護容器８の内壁面に多量に付着するという欠点
にもなつた。
本発明は、これらの欠点を解決するためになさ
れたもので、ガラス微粒子合成トーチに帯電した
液相微粒子を供給し、火炎中で合成されるガラス
微粒子を帯電されることにより、電気集塵作用
で、多孔質ガラス体成長面への付着効率をあげ、
光フアイバの低価格化に貢献することを目的とし
ている。
れたもので、ガラス微粒子合成トーチに帯電した
液相微粒子を供給し、火炎中で合成されるガラス
微粒子を帯電されることにより、電気集塵作用
で、多孔質ガラス体成長面への付着効率をあげ、
光フアイバの低価格化に貢献することを目的とし
ている。
第２図は本発明の一実施例の構成図であつて、
従来法に比べて液相微粒子発生装置９、高電圧印
加装置１１を備えている点を特徴としている。ま
た支持棒３′は導電体を用いている。これを動作
させるには、ガラス原料および火炎用ガスの供給
装置１より、ガラス微粒子合成トーチ２にガラス
原料および火炎用ガスを導き、反応させて、ガラ
ス微粒子を生成させる。
従来法に比べて液相微粒子発生装置９、高電圧印
加装置１１を備えている点を特徴としている。ま
た支持棒３′は導電体を用いている。これを動作
させるには、ガラス原料および火炎用ガスの供給
装置１より、ガラス微粒子合成トーチ２にガラス
原料および火炎用ガスを導き、反応させて、ガラ
ス微粒子を生成させる。
これと同時に、超音波振動子１０を内蔵した液
相微粒子発生装置９により、たとえば水の霧状微
粒子を発生させ、供給装置１から火炎用ガス、た
とえばO2ガスの一部または全部を液相微粒子発
生装置９にパイプ９ａを経て導入させ、霧状微粒
子をパイプ９ｂを経て、ガラス微粒子合成トーチ
２へと輸送する。支持棒３′としては、導電性
で、しかも耐塩素性の棒、たとえばカーボン棒を
使用し、支持棒３′と液相微粒子発生器９の液面
との間には、リード線１２を介して高電圧印加装
置１１から、5000ボルト程度の直流電圧を印加す
る。この直流電圧により帯電した霧状微粒子は、
ガラス微粒子合成トーチ２へと導かれ、やがて火
炎内で気化する。この際、霧状微粒子上の電荷は
火炎内で生成するガラス微粒子へと移動し、ガラ
ス微粒子を帯電させる。ガラス微粒子は導電性支
持棒３′へ付着、堆積し、電荷を放出する。
相微粒子発生装置９により、たとえば水の霧状微
粒子を発生させ、供給装置１から火炎用ガス、た
とえばO2ガスの一部または全部を液相微粒子発
生装置９にパイプ９ａを経て導入させ、霧状微粒
子をパイプ９ｂを経て、ガラス微粒子合成トーチ
２へと輸送する。支持棒３′としては、導電性
で、しかも耐塩素性の棒、たとえばカーボン棒を
使用し、支持棒３′と液相微粒子発生器９の液面
との間には、リード線１２を介して高電圧印加装
置１１から、5000ボルト程度の直流電圧を印加す
る。この直流電圧により帯電した霧状微粒子は、
ガラス微粒子合成トーチ２へと導かれ、やがて火
炎内で気化する。この際、霧状微粒子上の電荷は
火炎内で生成するガラス微粒子へと移動し、ガラ
ス微粒子を帯電させる。ガラス微粒子は導電性支
持棒３′へ付着、堆積し、電荷を放出する。
この際、帯電したガラス微粒子は、電気集塵作
用を受け、効率よく支持棒３′へ付着する。支持
棒３′の端面に成長する多孔質ガラス体４には、
酸水素炎に起因する水分が多量に含まれているも
ので、導電性は維持され多孔質ガラス体４が成長
しても、電気集塵作用は保持される。
用を受け、効率よく支持棒３′へ付着する。支持
棒３′の端面に成長する多孔質ガラス体４には、
酸水素炎に起因する水分が多量に含まれているも
ので、導電性は維持され多孔質ガラス体４が成長
しても、電気集塵作用は保持される。
ガラス微粒子合成トーチ２にSiCl4とGeCl4の
10：１（モル比）の混合ガスを200c.c.／minの速
度で、300c.c.／minのキヤリア用Heガスとともに
供給し、O2：５／min、H2：３／min、Ar：
１／minの火炎用ガスで構成される火炎内で反
応させ、また同時に5000Vの直流電圧で帯電させ
た蒸留水の液相微粒子を５ｇ／minの速度で供給
したところ、約75％の付着効率が得られた。ちな
みに直流電圧の印加を中止したところ付着効率は
約55％に低下し、本発明の効果が大きいことが実
証された。
10：１（モル比）の混合ガスを200c.c.／minの速
度で、300c.c.／minのキヤリア用Heガスとともに
供給し、O2：５／min、H2：３／min、Ar：
１／minの火炎用ガスで構成される火炎内で反
応させ、また同時に5000Vの直流電圧で帯電させ
た蒸留水の液相微粒子を５ｇ／minの速度で供給
したところ、約75％の付着効率が得られた。ちな
みに直流電圧の印加を中止したところ付着効率は
約55％に低下し、本発明の効果が大きいことが実
証された。
第３図は本発明の他の実施例の構成図であり、
第２図の装置構成に加えて、成長しつつある多孔
質ガラス焼結体４の側面に、導電性ガラス膜を付
着させる補助トーチ３１および導電性ガラス原料
供給装置３２を備えている。
第２図の装置構成に加えて、成長しつつある多孔
質ガラス焼結体４の側面に、導電性ガラス膜を付
着させる補助トーチ３１および導電性ガラス原料
供給装置３２を備えている。
導電性ガラス原料としては、たとえば四塩化す
ず（SnCl4）を用いることができる。多孔質ガラ
ス体４を成長させると同時に導電性ガラス原料供
給装置３２からSnCl4ガスを20c.c.／minの速度
で、キヤリア用Heガス100c.c.／minとともに、補
助トーチ３１へ導入し、供給装置１から供給され
るO2：３／min、H2：１／min、Ar：１／
minにより構成され酸水素炎で反応させ生成した
酸化すずの蒸気を、多孔質ガラス体４の側面に付
着させたところ、ガラス微粒子の付着効率はさら
に85％程度に増加した。これは多孔質ガラス体４
の導電性が導電性酸化すず膜の付着により増加
し、電気集塵作用がより有効に行なわれるためと
考えられる。なお、酸化すず膜は、多孔質ガラス
体を高温発熱体６で高温1600℃程度で透明ガラス
化する際に、すべて気化してしまい、透明ガラス
母材中に残存することはなく、得られる光フアイ
バの損失特性には何ら影響を及ぼさなかつた。
ず（SnCl4）を用いることができる。多孔質ガラ
ス体４を成長させると同時に導電性ガラス原料供
給装置３２からSnCl4ガスを20c.c.／minの速度
で、キヤリア用Heガス100c.c.／minとともに、補
助トーチ３１へ導入し、供給装置１から供給され
るO2：３／min、H2：１／min、Ar：１／
minにより構成され酸水素炎で反応させ生成した
酸化すずの蒸気を、多孔質ガラス体４の側面に付
着させたところ、ガラス微粒子の付着効率はさら
に85％程度に増加した。これは多孔質ガラス体４
の導電性が導電性酸化すず膜の付着により増加
し、電気集塵作用がより有効に行なわれるためと
考えられる。なお、酸化すず膜は、多孔質ガラス
体を高温発熱体６で高温1600℃程度で透明ガラス
化する際に、すべて気化してしまい、透明ガラス
母材中に残存することはなく、得られる光フアイ
バの損失特性には何ら影響を及ぼさなかつた。
なお液相微粒子を形成する原料として、蒸留水
の代わりに液状ガラス原料を直接用いてもよいこ
とはもち論である。
の代わりに液状ガラス原料を直接用いてもよいこ
とはもち論である。
以上、説明したように、本発明の光フアイバ用
母材の製造方法では帯電した液相微粒子を介して
ガラス微粒子を帯電させ、電気集塵作用により、
ガラス微粒子の付着効率を大幅に増大させるもの
であり、光フアイバ用原料を有効に利用でき、光
フアイバ用母材の低価格化に寄与するところが大
である。
母材の製造方法では帯電した液相微粒子を介して
ガラス微粒子を帯電させ、電気集塵作用により、
ガラス微粒子の付着効率を大幅に増大させるもの
であり、光フアイバ用原料を有効に利用でき、光
フアイバ用母材の低価格化に寄与するところが大
である。
第１図は従来のVAD法を実施する装置の構成
図、第２図は本発明の一実施例の構成図、第３図
は本発明の他の実施例の構成図である。 １……ガラス原料および火炎用ガス供給装置、
２……ガラス微粒子合成トーチ、３，３′……支
持棒、４……多孔質ガラス体、５……排ガス処理
装置、６……高温発熱体、７……回転引き上げ装
置、８……保護容器、９……液相微粒子発生装
置、９ａ，９ｂ……パイプ、１０……超音波振動
子、１１……高電圧印加装置、１２……リード
線、３１……補助トーチ、３２……導電性ガラス
原料供給装置。
図、第２図は本発明の一実施例の構成図、第３図
は本発明の他の実施例の構成図である。 １……ガラス原料および火炎用ガス供給装置、
２……ガラス微粒子合成トーチ、３，３′……支
持棒、４……多孔質ガラス体、５……排ガス処理
装置、６……高温発熱体、７……回転引き上げ装
置、８……保護容器、９……液相微粒子発生装
置、９ａ，９ｂ……パイプ、１０……超音波振動
子、１１……高電圧印加装置、１２……リード
線、３１……補助トーチ、３２……導電性ガラス
原料供給装置。
Claims (1)
- １ ガラス微粒子合成トーチにより合成したガラ
ス微粒子を、支持棒の一端に付着、堆積させて形
成した多孔質ガラス体を軸方向に成長させた後、
高温に加熱して透明ガラス化する光フアイバ用母
材の製造方法において、該ガラス微粒子合成トー
チに、帯電した液相微粒子を供給することによ
り、該ガラス微粒子を帯電させ、該多孔質ガラス
体成長面上への付着効率を電気集塵作用により増
加させることを特徴とする光フアイバ用母材の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13924880A JPS5767038A (en) | 1980-10-07 | 1980-10-07 | Manufacture of base material for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13924880A JPS5767038A (en) | 1980-10-07 | 1980-10-07 | Manufacture of base material for optical fiber |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5767038A JPS5767038A (en) | 1982-04-23 |
| JPS6230147B2 true JPS6230147B2 (ja) | 1987-06-30 |
Family
ID=15240892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13924880A Granted JPS5767038A (en) | 1980-10-07 | 1980-10-07 | Manufacture of base material for optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5767038A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6003342A (en) * | 1991-10-25 | 1999-12-21 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for production of optical fiber preform |
| GB9725878D0 (en) | 1997-12-05 | 1998-02-04 | Imperial College | Vapour deposition |
-
1980
- 1980-10-07 JP JP13924880A patent/JPS5767038A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5767038A (en) | 1982-04-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4089922B2 (ja) | 液状反応物の燃焼により溶融シリカを作成する方法および装置 | |
| CN101193820B (zh) | 由卤代硅烷制备硅的方法 | |
| JP2001517597A (ja) | 溶融ＳｉＯ２−ＴｉＯ２ガラスの製造法 | |
| JPS6230147B2 (ja) | ||
| CN108862281A (zh) | 一种棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法 | |
| JPH0694365B2 (ja) | ケイ素の製造方法および製造装置 | |
| JP3026099B2 (ja) | 非晶質球状シリカ微粉末の製造方法及びその装置 | |
| JPH0570166A (ja) | 光フアイバ用多孔質母材の製造装置 | |
| JPS605030A (ja) | 高純度ガラス粉末およびこの粉末からガラス製品を製造する装置および方法 | |
| WO2001025148A1 (fr) | Procede de fabrication de silicium si-28 a isotope unique | |
| JP4089019B2 (ja) | 多孔質石英ガラス母材合成用多重管バーナ | |
| JP3169409B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP3417962B2 (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法 | |
| JPH0832573B2 (ja) | 光ファイバー母材の製造方法 | |
| JPH061632A (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法及び光ファイバ用多孔質母材の合成装置 | |
| JPH02184514A (ja) | 棒状石英ガラス粉末およびその製造方法 | |
| JPS59128225A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS63382B2 (ja) | ||
| JPH07206418A (ja) | トリシラアルカン化合物の熱分解によるβ型炭化ケイ素微細粉末の製造方法 | |
| JPS5825045B2 (ja) | ＳｉＣ超微粒子の製造方法 | |
| JPS5945637B2 (ja) | 炭化珪素ウイスカ−の製造方法 | |
| JP3221059B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JPH0343205B2 (ja) | ||
| JPS6259059B2 (ja) | ||
| JPH07100614B2 (ja) | 多孔質石英ガラス母材の製造方法 |