JPS6230229U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6230229U JPS6230229U JP1985121848U JP12184885U JPS6230229U JP S6230229 U JPS6230229 U JP S6230229U JP 1985121848 U JP1985121848 U JP 1985121848U JP 12184885 U JP12184885 U JP 12184885U JP S6230229 U JPS6230229 U JP S6230229U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- mirror
- switching mirror
- workpiece
- marking device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Description
第１図は本考案によるレーザマーキング装置の
一実施例を示す構成図である。 １，２，３…入力部光軸調整ミラー、４…ビー
ムエキスパンダ、５…調整ミラー、６…固定ミラ
ー、７…走査ミラー（Ｘ軸）、８…走査ミラー（
Ｙ軸）、９…集光レンズ、１０…光路切換えミラ
ー、１１，１２…上部折返しミラー、１３，１４
…下部折返しミラー、１５…ウエハ、１６…駆動
モータ、１７…レーザ発振器。
一実施例を示す構成図である。 １，２，３…入力部光軸調整ミラー、４…ビー
ムエキスパンダ、５…調整ミラー、６…固定ミラ
ー、７…走査ミラー（Ｘ軸）、８…走査ミラー（
Ｙ軸）、９…集光レンズ、１０…光路切換えミラ
ー、１１，１２…上部折返しミラー、１３，１４
…下部折返しミラー、１５…ウエハ、１６…駆動
モータ、１７…レーザ発振器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被加工物の表面または覆面にレーザ光を走査し
て文字や図形を刻み込むレーザマーキング装置に
おいて、 走査ミラーと集光レンズの後に設けられ、レー
ザ光の光路を切換える光路切換ミラーと、 光路切換ミラーを電気信号により駆動する駆動
手段と、 光路切換ミラーの後に設けられ、光路切換ミラ
ーにより切換えられ、入射したレーザ光をそれぞ
れ被加工物の表面と裏面に導くための相互に独立
した２系統の光路を有することを特徴とするレー
ザマーキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985121848U JPS6230229U (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985121848U JPS6230229U (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6230229U true JPS6230229U (ja) | 1987-02-23 |
Family
ID=31011492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985121848U Pending JPS6230229U (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6230229U (ja) |
-
1985
- 1985-08-07 JP JP1985121848U patent/JPS6230229U/ja active Pending