JPS6230334U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6230334U JPS6230334U JP1985120959U JP12095985U JPS6230334U JP S6230334 U JPS6230334 U JP S6230334U JP 1985120959 U JP1985120959 U JP 1985120959U JP 12095985 U JP12095985 U JP 12095985U JP S6230334 U JPS6230334 U JP S6230334U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- semiconductor substrate
- mound
- crusher device
- crushing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の一実施例に使用したマウンド
クラツシヤー装置のステージと半導体基板との関
係を説明する縦断面図、第２図は従来のマウンド
クラツシヤー装置の構成を説明する縦断面図、第
３図は従来のマウンドクラツシヤー装置のステー
ジと裏面外周に突起のある半導体基板との関係を
説明する縦断面図である。 １…クラツシユ板ホルダー、２…クラツシユ板
、３…半導体基板、４…ステージ、５…ステージ
球面部、６…シリンダー、７…シリンダー台、８
…高圧空気導入口、９…半導体基板裏面外周にあ
る突起、１０…半導体基板とステージの間にでき
る空間、１１…ステージ表面に刻設した溝。
クラツシヤー装置のステージと半導体基板との関
係を説明する縦断面図、第２図は従来のマウンド
クラツシヤー装置の構成を説明する縦断面図、第
３図は従来のマウンドクラツシヤー装置のステー
ジと裏面外周に突起のある半導体基板との関係を
説明する縦断面図である。 １…クラツシユ板ホルダー、２…クラツシユ板
、３…半導体基板、４…ステージ、５…ステージ
球面部、６…シリンダー、７…シリンダー台、８
…高圧空気導入口、９…半導体基板裏面外周にあ
る突起、１０…半導体基板とステージの間にでき
る空間、１１…ステージ表面に刻設した溝。
Claims (1)
- 程導体基板を固定するためのステージと、ステ
ージと対向して設置されるクラツシユ板と、ステ
ージが移動して半導体基板をクラツシユ板に押し
つけマウンドを潰す機構とを有するマウンドクラ
ツシヤー装置において、半導体基板外周と同形状
の溝をステージ表面に刻設したことを特徴とする
マウンドクラツシヤー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985120959U JPS6230334U (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985120959U JPS6230334U (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6230334U true JPS6230334U (ja) | 1987-02-24 |
Family
ID=31009770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985120959U Pending JPS6230334U (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6230334U (ja) |
-
1985
- 1985-08-07 JP JP1985120959U patent/JPS6230334U/ja active Pending