JPS6365220U - - Google Patents

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JPS6365220U
JPS6365220U JP1986160323U JP16032386U JPS6365220U JP S6365220 U JPS6365220 U JP S6365220U JP 1986160323 U JP1986160323 U JP 1986160323U JP 16032386 U JP16032386 U JP 16032386U JP S6365220 U JPS6365220 U JP S6365220U
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crushing
mound
wafer
crushing plate
mounting table
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JP1986160323U
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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ，ｂ，ｃは本考案の実施例１のマウン
ドクラツシユ装置を示す断面図、第２図はカムモ
ーターハウジング、カムモーターを示す平面図、
第３図は本考案の実施例２のマウンドクラツシユ
装置の断面図、第４図は従来のマウンドクラツシ
ユ装置の一例の断面図である。 １…クラツシユ板、１ａ…エアー孔、１ｂ…容
量センサー検出孔、２…クラツシユ板ホルダー、
２ａ…真空吸着溝、３…ウエーハ、４…ウエーハ
載置台、５…カムモーターハウジング、６…カム
モーター、７…シリンダー、９…エアー、１３…
容量センサー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウエーハ上に形成された突起物のクラツ
    シユ板で潰すマウンドクラツシユ装置において、
    ホルダーに吸着保持されたクラツシユ板と非接触
    に該クラツシユ板に対するウエーハ載置台上のウ
    エーハの傾きを補正する機構を備えたことを特徴
    とするマウンドクラツシユ装置。
JP1986160323U 1986-10-20 1986-10-20 マウンドクラツシユ装置 Expired - Lifetime JPH062261Y2 (ja)

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JP1986160323U JPH062261Y2 (ja) 1986-10-20 1986-10-20 マウンドクラツシユ装置

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Publication Number Publication Date
JPS6365220U true JPS6365220U (ja) 1988-04-30
JPH062261Y2 JPH062261Y2 (ja) 1994-01-19

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005288550A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Tamura Seisakusho Co Ltd 精密研削装置および精密研削方法
JP2011056611A (ja) * 2009-09-09 2011-03-24 Kikukawa Tekkosho:Kk 加工材保持装置及びこれを用いた歪み材加工用テーブル
CN118122903A (zh) * 2024-05-08 2024-06-04 江天精密制造科技（苏州）有限公司 一种用于模具冲压的自锁防护机构

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2011056611A (ja) * 2009-09-09 2011-03-24 Kikukawa Tekkosho:Kk 加工材保持装置及びこれを用いた歪み材加工用テーブル
CN118122903A (zh) * 2024-05-08 2024-06-04 江天精密制造科技（苏州）有限公司 一种用于模具冲压的自锁防护机构

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JPH062261Y2 (ja) 1994-01-19

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