JPS6231192Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は各種物品を洗浄する洗浄装置に関し、
特に、洗浄液の汚染を防止し常に良好な洗浄効果
を得ることができるような洗浄装置に関する。

〔背景技術とその問題点〕

一般に、あらゆる分野において物品を洗浄する
ために各種洗浄装置が用いられている。そして、
特に、洗浄槽に洗浄液を供給してこの洗浄槽の頂
部から洗浄液をオーバーフローさせながら、上記
洗浄槽内に被洗浄物を没して洗浄するような洗浄
装置が、安価で洗浄作業も容易であるために広く
普及している。

ところで、このように洗浄槽を有するような洗
浄装置にあつては、上記洗浄槽に供給される洗浄
液がこの洗浄槽内に滞留する時間が問題となつて
いる。すなわち、洗浄液が長時間洗浄槽内に滞留
してしまうと、被洗浄物の汚れがこの洗浄液中に
蓄積し、洗浄効果が著しく低下してしまつてい
る。

このため従来は、洗浄槽の底部に上記洗浄液を
供給する注入口を設け、上記洗浄槽の頂部から洗
浄液をオーバーフローさせて上記洗浄液の置換効
果を向上し、この洗浄液の洗浄槽内における滞留
時間を短縮するようになした洗浄装置が知られて
いる。

しかしながら、このような従来の洗浄装置にあ
つては、洗浄槽内に満たされる洗浄液の表面部分
全体を迅速に除去することが困難であり、洗浄液
の表面に浮遊する粒子や汚れが長時間滞留してし
まつている。このため、洗浄槽内から洗浄が完了
した被洗浄物を取り出す時に、洗浄液の表面付近
で再び上記浮遊する粒子や汚れが上記被洗浄物に
被着し、汚染する虞れがある。特に油やホコリ等
の汚染物質は洗浄液よりも比重が軽く、上記傾向
はいつそう顕著なものとなつている。さらに、上
記従来のものにあつては、洗浄槽底部の注入口よ
り供給される洗浄液により洗浄槽内に部分的な対
流を生じ、汚染された洗浄液が部分的に長時間滞
留して、洗浄効果が低下する虞れも生じている。

〔考案の目的〕

そこで本考案は、従来のものの有する欠点を解
消するために提案されたものであり、洗浄槽に満
たされる洗浄液の表面付近を迅速に置換し、表面
に漂う粒子や汚れを素早く除去して良好な洗浄効
果を得ることができる洗浄装置を提供することを
目的とする。

さらに本考案は、洗浄槽内の洗浄液の置換効果
に優れ、部分的な対流を生ずることのないような
洗浄装置を提供することを目的とする。

〔考案の概要〕

上述した目的を達成するために、本考案は、洗
浄液が満たされる洗浄槽と、この洗浄槽に洗浄液
を下方から供給する底部注入口と、上記洗浄槽が
洗浄液で満たされたときにこの洗浄液表面に表面
流を起こさせる側部注入口とを有してなり、上記
側部注入口と対向する洗浄槽の側面の高さを少な
くとも上記洗浄槽を形成する他の側面より低く
し、この側面より洗浄液をオーバーフローさせな
がら洗浄することを特徴とするものである。

〔実施例〕

以下、本考案の具体的な一実施例について図面
に従つて詳細に説明する。

本考案の構成による洗浄装置１は、洗浄液を満
たし図示しない例えば半導体装置等の被洗浄物を
没する洗浄槽２に上記洗浄液を供給する供給路３
を取付けてなつている。そして、この洗浄槽２の
底部付近には直径２mm程度の底部注入口４を全面
に亘つて穿設したパネル５が取付けられ、底部予
備槽６が形成されている。

また、上記洗浄槽２の一側面２Ａの頂部付近に
は、側部予備槽７が外周面に沿つて一体的に設け
られており、この側部予備槽７の洗浄槽２に臨む
一側面７Ａの上端部には、直径1.5mm程度の側部
注入口８が一列に連らなつて穿設されている。

さらに、上記側部注入口８と対向する洗浄槽２
の側面２Ｂの高さｈは、この洗浄槽２を形成する
他の各側面２Ａ，２Ｃ，２Ｄの高さＨよりも若干
低く形成され、この側面２ｂから洗浄液がオーバ
ーフローするようになされている。

一方、上記底部予備槽６及び側部予備槽７には
図示しない洗浄液供給源から洗浄液を移送する供
給路３の分岐管９，１０がそれぞれ接続されてい
る。そして、上記側部予備槽７に接続される分岐
管１０の中途部には、流量調整弁１１が設けられ
ている。

このように構成される洗浄装置１には、供給路
３を通して洗浄液が供給され、この洗浄液の大部
分が分岐管９より底部予備槽６に導入される。そ
して、この洗浄液は底部予備槽６内で分散し、各
底部注入口４より洗浄槽２内に導入され、側面２
Ｂの上縁部２Ｅよりオーバーフローするようにな
つている。このとき、洗浄槽２の底部から供給さ
れる洗浄液の流れは、この洗浄液が各底部注入口
４から分散されて注入されるために、いわゆる層
流状態となつて上昇し、局部的な対流が生ずるこ
とがなく、洗浄槽２内の汚染された洗浄液は円滑
に新しい洗浄液に置換される。

また、供給路３より供給される洗浄液の一部
は、流量調整弁１１により流量を調整され分岐管
１０より側部予備槽７に導入される。この側部予
備槽７に導入された洗浄液は各側部注入口８より
洗浄槽２内に横方向から注がれ、上記洗浄槽２に
満たされる洗浄液の表面に、強制的に側部注入口
８から側面２Ｂの上縁部２Ｅに向かう方向、すな
わち第１図中Ｘ方向の表面流を起こさせる。

したがつて、上記洗浄槽２の表面付近の洗浄液
を次々に上記側面２Ｂの上縁部２Ｅから上記洗浄
槽２外へ迅速に排除し、上記洗浄液の表面に浮遊
するホコリ等の粒子や汚れを１秒以下程度の瞬時
に取除くことができる。

上述した洗浄槽２内に図示しない被洗浄物を沈
め、洗浄液をオーバーフローさせながら洗浄す
る。

上記実施例においては、洗浄槽２に満たされる
洗浄液の表面付近に浮遊する汚れ等を側部注入口
８から注入される洗浄液により強制的に排除する
ことができ、被洗浄物を取り出すときに汚れが再
び付着する虞れがなくなつている。

さらに、洗浄槽２内の洗浄液は、底部注入口４
より層流状態で供給される洗浄液によりすみやか
に置換され、局部的な対流等が生じて汚染した洗
浄液が滞留することがないため、良好な洗浄効果
を得ることが可能となつている。

なお、本考案は上記実施例に限定されるもので
はなく、例えば、側部注入口８や底部注入口４の
大きさや形状は、洗浄装置１に応じて適宜変更す
ることが可能である。

〔考案の効果〕

上述した実施例の説明からも明らかなように、
本考案の洗浄装置においては、洗浄槽に満たされ
る洗浄液表面に側部注入口より洗浄液を注入して
表面流が生ずるようになしているため、上記洗浄
液表面に浮遊する粒子や汚れを素早く除去してこ
れら粒子や汚れが再び被洗浄物に付着することを
防止することが可能となつている。

さらに本考案においては、洗浄槽内の汚染され
た洗浄液を対流等を起こすことなくすみやかに新
しい洗浄液と置換することができ、良好な洗浄効
果を得ることが可能となつている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案を適用した洗浄装置の一実施例
を示す外観斜視図、第２図は同じく縦断面図であ
る。 １……洗浄装置、２……洗浄槽、２Ａ，２Ｂ，
２Ｃ，２Ｄ……洗浄槽の側面、４……底部注入
口、８……側部注入口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 洗浄液が満たされる洗浄槽と、この洗浄槽に洗
   浄液を下方から供給する複数の底部注入口と、上
   記洗浄槽が洗浄液で満たされたときの洗浄液表面
   近傍に設けられた側部注入口とを有してなり、上
   記側部注入口と対向する洗浄槽の側面の高さを少
   なくとも上記洗浄槽を形成する他の側面より低く
   なし、この側面より洗浄液を上記側部注入口によ
   つて起こる洗浄液表面の表面流によつてオーバー
   フローさせながら洗浄することを特徴とする洗浄
   装置。