JPS6231302A

JPS6231302A - 磁気浮上走行装置

Info

Publication number: JPS6231302A
Application number: JP16645585A
Authority: JP
Inventors: Yukio Masako; 真子　幸夫; Shoji Yamazaki; 山崎　章二
Original assignee: Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 1985-07-27
Filing date: 1985-07-27
Publication date: 1987-02-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、半導体製造工場や生命工学関連の工場等にお
ける搬送設備等に用いて好適な磁気浮上走行装置に関す
る。

「従来の技術」走行体を磁気を用いて空中に浮かして軌道に沿って走行
させる磁気浮上走行装置は、走行体と軌道との接触がな
いため、塵埃が発生することがなく、しかも振動や騒音
もほとんどない。そこで、近年、この種の走行装置を、
塵埃を極端に嫌う半導体製造工場や生命工学関連の工場
等における搬送装置として利用することが試みられてい
る。第７図は半導体製造工場においてウェハーケースＷ
を搬送する搬送装置として上記の磁気浮上走行装置を用
いた例を示すもので、図中１は吊具２によって懸吊され
た鉄製の軌道、３はウェハーケースＷの支持体となる走
行体である。上記軌道１には複数のＩＪ　ニアモータの
一次側固定子４が該軌道１の長手方向に所定の間隔で付
設されている。また、上記走行体３は、下面にウェハー
ケースＷを係止するフック５を備えた底板部３ＩＬと、
該底板部３ａの左右に鉛直に連設された左右の側板部３
ｂ２、該左右の側板部３ｂの上部に内方に突出して設け
られた左右の上板部３ｃと、上記底板部３ａより若干上
方に水平に設けられた下板部３ｄとから成かつ、下板部
３ｄの上面の四方の隅部には、上記制御器７に連絡され
た電磁石８とセンサ９とがそれぞれ設けられると共に、
下板部３ｄの上面中央にはＩＪ　ニアモータの二次側可
動子（図示せず）が取付けられている。そして、各電磁
石８が軌道１を吸引して、走行体３がその自重とウエノ
）−ケースＷの重量に抗して上方に浮上させられると同
時に、各センサ９が走行体３と軌道１との間隙を検知し
、その検知信号が制御器７に送られて各電磁石８の吸引
力が制御され、これにより、走行体３と軌道１との間隙
が一定に保たれる一方、リニアモータが作動して走行体
３が浮上状態のまま軌道ｌに沿って走行させられるよう
になっている。

「発明が解決しようとする問題点」ところで、上記磁気浮上走行装置を用いて半導体製造工
場等の搬送設備を構成する場合、他の設備との取合いや
スペースの有効利用等のために、例えば第８図に示すよ
うに軌道ｌの一部を傾斜させる必要があることがあった
。ところが、従来の磁気浮上走行装置では軌道工の勾配
は１０度程度までならば支障がないが、それ以上になる
と走行が困難になって１．まうという問題があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、勾配が１
０度以上の急な傾斜軌道でも走行体を容易に走行させる
ことができる磁気浮上走行装置を提供することを目的と
する。

「問題点を解決するための手段」上記目的を達成するために、本発明の磁気浮上走行装置
は、傾斜軌道に走行体を磁気的に無接触状態で移動自在
に支持し、かつ、上記走行体に被案内体を設けると共に
、上記傾斜軌道の側傍に、上記被案内体を吸引して上記
走行体を傾斜軌道に沿って走行させる案内装置を配設し
て構成したものである。

「作　用」本発明の磁気浮上走行装置においては、案内装置が作動
して走行体の被案内体を傾斜軌道に沿って吸引すること
により、走行体が傾斜軌道に沿って走行する。

「実施例Ｊ以下、本発明の一実施例を第１図ないし第３図を参照し
て説明する。

図中１０は水平部１０ａと傾斜部（傾斜軌道）１０ｂと
から成る軌道で、第３図に示すように断面丁字形をして
おり（第１図及び第２図においては簡略化されている）
、その水平部１０ＩＬ上にはその長手方向に所定の間隔
で複数のリニアモータの一次側固定子４が付設されてい
る。また、１１は走行体で、第３図忙示すように、従来
例の走行体３とは上下が逆になった形状をなしており、
上面部がウェハーケースＷ、Ｓの荷台となっている。

そして、該走行体１１には、従来同様、ＩＪ　ニアモー
タの二次側可動子が取付けられると共に、蓄電池６と該
蓄電池６に連絡された制御器７及び該制御器７に連絡さ
れた電磁石８とセンサ９とが設けられている。

さらに、上記走行体３の側面の後方寄りには取付は板１
２が、走行体３が軌道１０の傾斜部１０ｂに位置すると
きに鉛直になるように傾げられて側方に突出して固着さ
れ、該取付は板１２の前面に、μズー牛１１斑ジ唖７屋
）Ｆ斂９躬梁−４１ζ敞πｒン由安１カル）１りとセン
サ１４とが取付けられている。

一方、上記軌道１０の傾斜部１０ｂの側傍には支持台１
５が設置され、該支持台１５上に無塵エアシリンダ１６
が、そのロッド１６ａを後方（第２図中左方）に向けて
軌道１０の長手方向に治って水平に固定して取付けられ
ており、該無塵エアシリンダ１６のロッド１６ａは軌道
１０の傾斜部１０ｂの始端から終端の間において軌道１
０に沿って伸縮するようになっている。そして、上記ロ
ッド１６ａの先端に、軟鋼から成り、上下方向に展開す
る板状の吸引体１７が、（支）着されており、該吸引体
１７、無塵エアシリンダ１６が電磁石１３を吸引して走
行体１１を軌道１０の傾斜部１０ｂに涜って走行させる
案内装置１８を構成している。

しかして、上記構成の磁気浮上走行装置においては、走
行体１１は、従来同様、電磁石８とセンサ９によって軌
道１０上に無接触状態で支持され、軌道１０の水平部１
０ａではＩＪ　ニアモータの推力により該水平部ｔＯａ
上を走行する。一方、走行体１１が軌道１０の傾斜部１
０ｂの始端に至ると、走行体１１の移動に同期して無塵
エアシリンダ１６のロッド１６ａが伸長状態となり、走
行体１１の電磁石１３が吸引体１７を吸引すると同時に
、センサ１４が走行体１１と吸引体１７との間隙を検知
し、その検知信号カ惰：］御器７に送られて電磁石１３
の吸引力が制御され、これにより、走行体１１と吸引体
１７との間隙が一定に保たれろ。次いで、無塵エアシリ
ンダ１６のロッド１６ａが収縮作動して吸引体１７が＃
ＬＬｉ２Ｏ傾斜部１０ｂの始端から終端に向って移動１
−１被吸引体１７に一定の間隙を保ちながら走行体１１
が追従して傾斜部１０ｂを昇る。そして、舟行体１１が
傾斜部１０ｂの終端に至ると、ロッド１６ａが収縮端に
至るが、このとき、電磁石１３が吸引体１７の上端から
上方に離間して吸引体１７による案内が解かれ、走行体
３．１に’！上方の水平部１０ａ上をリニアモータの推
力により走行する。

このように、上記構成の磁気浮上走行装置では、無血エ
アシリンダ１６によって軌道１０の傾斜部ｌＯｂに沿っ
て移動させられる吸引体１７により、走行体１１が無接
触状態を保って吸引され、傾斜部１０ｂを上昇させられ
る。したがって、傾斜部１０ｂの勾配が急で１０度以上
であっても、走行体１１は容易にかつ確実に傾斜部１０
ｂを走行し、また、走行体１１は吸引体１７とは無接触
状態を保つので、塵埃が発生することがなく、振動や騒
音もない。

ところで、上記実施例において、吸引体１７に電磁石１
３とセンサ１４を取付げ、取付は板１２を該電磁石１３
により吸引される材料により形成して被案内体として構
成することもできる。また、吸引体１７と走行体１１は
上記の如く無接触状態を保つのが好ましいが、必ずしも
そのようにする必要がなく、接触させてもよい。さらに
、軌道１０の傾斜部１０ｂにもリニアモータの一次側固
定子４を設け、リニアモータによる推力を併用して走行
体１１を傾斜部１０’ｂに沿って走行させるようにして
もよいし、他の空気圧等による駆動力を併用してもよい
。またさらに、走行体１１を浮上させるための電磁石８
及び上記電磁石１３に永久磁石を併用してもよい。

また、第４図は本発明の第２実施例を示すもので、該実
施例においては軌道ｌＯの傾斜部１０ｂの側傍には、駆
動装置１９によって回転させられる軸２０に軟鋼層のレ
バー２１が取付げられて成る案内装置２２が配設されて
いる。そし７て、駆動装置１９の作動でレバー２１が軸
２０を中心として軌道１０の傾斜部１０ｂに沿って回動
すると、該レバー２１に走行体１１が無？＃状態で追従
し、軌道１０の傾斜部１０ｂを置市に昇るようになって
いる。

さらに、第５図は第３実施例を示すもので、該実施例で
は軌道１００句斜部１０ｂの側傍には、　４゜一端に駆
動装置２３が他端に磁気軸受２４がそれぞれ取付けられ
た軸２５に、軟鋼層の螺旋スクリュ２６が固着されて成
る案内装置２７が、傾斜部ＩＱｂの傾斜に合せて傾斜さ
れて配設されている。

そして、駆動装置２３が作動して螺旋スクリュ２６が回
転すると、該螺旋スクリュ２６に走行体１１σ）竹ずＰ
ｌＥＩＱ　　清−々手本Ｚ会市＄←宜Ｆ１１；自宕ｔ１
　　　　柔り千什　１１が軌道１０の傾斜部１０ｂを昇
るようになっている。

「発明の効果」以上説明したよう！（、本発明の磁気浮上走行装置は、
傾斜軌道の側傍に案内装置を配設し、ＰＩ斜軌道に磁気
的に無接触状態で支持された舟行体を、該案内装置によ
り吸引して傾斜軌道に沿って走行させるようにしたもの
であるから、傾府軌道の勾配が急でも走行体を該傾斜軌
道に沿って容易にかつ確実に走行させることができ、し
たがって、半導体製造工場等における搬送装置等として
幅広く有効に利用することができろ。

１面の簡単な説明第１図ないし篤３図は本発明の磁気浮上走行装置の一実
施例を示すもので、第１図は斜視図、第２図は側面図、
第３図は走行体と軌道を示す−・部切欠ぎの斜′ｔＪ１
図、また、第４図及び第５ズは第２実施例を示すもので
、′ＦＡ４図は斜視図、第５図は電磁石とレバーの位置
ｒＡ係を示す９Ｉす面図、第６０は第３実施例を示す斜
視図、第７図は従来例を示す一部切欠きの斜視図、第８
図は搬送設備の一例を示す斜視図である。

１０ｂ・・・・・・傾斜部（傾斜軌道）、１１・・・・
・・走行体、１３・・・・・・電磁石〔被案内体〕、１
８．　２２．　２７・・・・・・案内装置。

出願人　石川島播磨重工業株式会社代理人　弁理士　志　賀　正　武、ノｌｌ

Claims

【特許請求の範囲】

傾斜軌道に走行体が磁気的に無接触状態で移動自在に支
持され、かつ、上記走行体に被案内体が設けられると共
に、上記傾斜軌道の側傍には、上記被案内体を吸引して
上記走行体を傾斜軌道に沿って走行させる案内装置が配
設されて成ることを特徴とする磁気浮上走行装置。