JPS6231922A - 螢光光源管 - Google Patents
螢光光源管Info
- Publication number
- JPS6231922A JPS6231922A JP16989385A JP16989385A JPS6231922A JP S6231922 A JPS6231922 A JP S6231922A JP 16989385 A JP16989385 A JP 16989385A JP 16989385 A JP16989385 A JP 16989385A JP S6231922 A JPS6231922 A JP S6231922A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- area
- fluorescent
- wiring
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical class [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 2
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 241000254158 Lampyridae Species 0.000 description 1
- -1 boric acid decaboric acid Chemical compound 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は螢光光源管に関し、特にファクシミリ用光源や
複写機用の光源等として用いられる螢光光源管に関する
。
複写機用の光源等として用いられる螢光光源管に関する
。
従来この種の光源としては、一端が陽極として一直線上
に配置され他端が真空容器外に引き出された陽極兼リー
ドの上記陽極上に螢光体を塗布し、−直線上に配列した
発光点を形成したものが用いられている。陽極上に螢光
体層を形成する方法としては一般に露光法や電気泳動法
(電着)があるが、このうち露光法はフォトレジストや
現像液等の影響で螢光体が劣化し、輝度が低下したシ寿
命が短くなった夛する欠点があることから、電気泳動法
が望ましい。この電気泳動法で螢光体層を形成するには
、陽極兼リードを形成した絶縁基板上に細長いスリット
状の開口部を有する絶縁膜をスクリーン印刷法で形成し
、上記開口部に露出した陽極上に電気泳動法で螢光体を
付着する。すなわち、螢光体層は絶縁膜のスリット状開
口部によって外形を規制される。
に配置され他端が真空容器外に引き出された陽極兼リー
ドの上記陽極上に螢光体を塗布し、−直線上に配列した
発光点を形成したものが用いられている。陽極上に螢光
体層を形成する方法としては一般に露光法や電気泳動法
(電着)があるが、このうち露光法はフォトレジストや
現像液等の影響で螢光体が劣化し、輝度が低下したシ寿
命が短くなった夛する欠点があることから、電気泳動法
が望ましい。この電気泳動法で螢光体層を形成するには
、陽極兼リードを形成した絶縁基板上に細長いスリット
状の開口部を有する絶縁膜をスクリーン印刷法で形成し
、上記開口部に露出した陽極上に電気泳動法で螢光体を
付着する。すなわち、螢光体層は絶縁膜のスリット状開
口部によって外形を規制される。
ところが、この種の螢光光源管では1例えば300關に
わたって85μmピッチで50μm1]の螢光体層を±
10%以下の面積精度で形成する必要があるが、スクリ
ーン印刷によってはもちろん、露光法で絶縁膜をパター
ニングした場合でもこの精度を得ることは困難である。
わたって85μmピッチで50μm1]の螢光体層を±
10%以下の面積精度で形成する必要があるが、スクリ
ーン印刷によってはもちろん、露光法で絶縁膜をパター
ニングした場合でもこの精度を得ることは困難である。
そのために従来は絶縁膜上に配置したグリッドのスリッ
ト状開口部により発光点の面積をそろえることが行なわ
れている。
ト状開口部により発光点の面積をそろえることが行なわ
れている。
しかし、このような方法では管球化工程中の加熱処理に
よってグリッドが変形した場合、結果的に発光面積が不
均一となってしまう問題があった。
よってグリッドが変形した場合、結果的に発光面積が不
均一となってしまう問題があった。
このような問題点を解決するために、本発明は、陽極リ
ードを予め陽極酸化することにより螢元体塗布部を除い
て絶縁被膜で覆い、その絶縁被膜で覆われない部分に電
気泳動法により螢九体層を形成したものである。
ードを予め陽極酸化することにより螢元体塗布部を除い
て絶縁被膜で覆い、その絶縁被膜で覆われない部分に電
気泳動法により螢九体層を形成したものである。
螢光体塗布部が陽極酸化により高精度に規定され、グリ
ッドの開口部で発光面積をコントロールすることが不要
となる。
ッドの開口部で発光面積をコントロールすることが不要
となる。
第1図は本発明の一実施例を示す要部断面図である。図
中1はガラス基板、2は陽極兼外部リードを構成するA
t配線、3はZ n Oa Z n螢光体からなる螢光
体層、4は螢光体層3塗布部以外のA7配線2の表面を
覆っているアルミナ層、5は厚膜絶縁層、6はグリッド
、1はカソードである。次にその製造方法を説明する。
中1はガラス基板、2は陽極兼外部リードを構成するA
t配線、3はZ n Oa Z n螢光体からなる螢光
体層、4は螢光体層3塗布部以外のA7配線2の表面を
覆っているアルミナ層、5は厚膜絶縁層、6はグリッド
、1はカソードである。次にその製造方法を説明する。
ガラス基板上に、露光法によ1)At配線2を、第2図
に示すように線幅W1=50μm、1〜5P1−85μ
mで多数形成する。次いで螢光体層を配列する部分に幅
W2=50μmの帯状のレジスト膜11を、ボジレジス
) 0FPR−8oO(東京応化)を用いて形成する。
に示すように線幅W1=50μm、1〜5P1−85μ
mで多数形成する。次いで螢光体層を配列する部分に幅
W2=50μmの帯状のレジスト膜11を、ボジレジス
) 0FPR−8oO(東京応化)を用いて形成する。
次に、このAt配線2の露出部(図中格子模様 i
を付した範囲)を陽極酸化し、その表面を緻密なアルミ
ナ層4で被覆する。はじめシュウ酸水溶液中で1次化成
を行なってポーラス形アルミナ膜を形成した後、ホウ酸
十ホウ酸ンーダ水溶液中において定電流で化成電圧が少
なくとも螢光体電着電圧以上になるまで2次化成を行な
い、ポーラス層の封孔処理を行なう。この結果ピンホー
ルの少ない、非常に緻密な電着電圧に対して充分な耐圧
を有するアルミナ層4が形成される。
を付した範囲)を陽極酸化し、その表面を緻密なアルミ
ナ層4で被覆する。はじめシュウ酸水溶液中で1次化成
を行なってポーラス形アルミナ膜を形成した後、ホウ酸
十ホウ酸ンーダ水溶液中において定電流で化成電圧が少
なくとも螢光体電着電圧以上になるまで2次化成を行な
い、ポーラス層の封孔処理を行なう。この結果ピンホー
ルの少ない、非常に緻密な電着電圧に対して充分な耐圧
を有するアルミナ層4が形成される。
レジスト膜11を剥離後、絶縁ペーストのスクリーン印
刷および焼成により約20μmの厚みの厚膜絶縁層5を
形成した後、電気泳動法により螢光体をレジスト膜11
を剥離したあとのAt配線2表面に付着させ、螢光体層
3を形成する。次いで第1図と第3図に示すようにスリ
ット幅W3=200μmのスリン)6Aを有するグリッ
ド6を厚膜絶縁層5上に配置し、さらにその上方にフィ
ラメントタイプのカソード7を架設した。この種の螢光
光源管は10,000ft−L前後の高輝度が要求され
るため、螢光体層への入射電流は100 m A/Cm
Ic近い高電流密度が必要である。このような高電
流密度を得るために、カン−ドアと螢光体層3との間隔
は0.5〜1.0朋と非常に狭く、グリッド6は厚膜絶
縁層5上に直接置かれる。
刷および焼成により約20μmの厚みの厚膜絶縁層5を
形成した後、電気泳動法により螢光体をレジスト膜11
を剥離したあとのAt配線2表面に付着させ、螢光体層
3を形成する。次いで第1図と第3図に示すようにスリ
ット幅W3=200μmのスリン)6Aを有するグリッ
ド6を厚膜絶縁層5上に配置し、さらにその上方にフィ
ラメントタイプのカソード7を架設した。この種の螢光
光源管は10,000ft−L前後の高輝度が要求され
るため、螢光体層への入射電流は100 m A/Cm
Ic近い高電流密度が必要である。このような高電
流密度を得るために、カン−ドアと螢光体層3との間隔
は0.5〜1.0朋と非常に狭く、グリッド6は厚膜絶
縁層5上に直接置かれる。
厚膜絶縁層5は、グリッド6と陽極2との距離を十分と
少両者の電気的短絡を防止すると同時に、カン−ドアか
らの放射電子を効果的に螢光体層3へ入射させ高輝度に
する働きをする。
少両者の電気的短絡を防止すると同時に、カン−ドアか
らの放射電子を効果的に螢光体層3へ入射させ高輝度に
する働きをする。
その後、ガラス基板1に図示しないフェースガラスを封
着し、真空容器を形成し念。このとき、At配線2の一
端、つまシ外部す−ド部は真空容器外部まで延在する。
着し、真空容器を形成し念。このとき、At配線2の一
端、つまシ外部す−ド部は真空容器外部まで延在する。
このように形成した螢光光源管は、発光特性および寿命
4!性ともに歳好であるとともに、発光点の面積精度も
10%以内のばらつきできわめて良好であった。
4!性ともに歳好であるとともに、発光点の面積精度も
10%以内のばらつきできわめて良好であった。
〔発明の効果〕
以上説明し友ように、本発明によれば、陽極兼リードの
螢光体並布部以外の表面を陽極酸化絶縁被膜で覆ったこ
とにより、電気泳動法で螢光体層を精度良く形成するこ
とができ、露光法のようにフォトレジストや現像液で螢
光体が劣化するととがなく、高輝度・長寿命の螢光体層
が得られるとともに、グリッド開口部で発光面積をコン
トロールする必要がないためグリッドの変形による発光
点の面積のばらつきも防ぐことができ、すぐれた光源管
が実現できる。
螢光体並布部以外の表面を陽極酸化絶縁被膜で覆ったこ
とにより、電気泳動法で螢光体層を精度良く形成するこ
とができ、露光法のようにフォトレジストや現像液で螢
光体が劣化するととがなく、高輝度・長寿命の螢光体層
が得られるとともに、グリッド開口部で発光面積をコン
トロールする必要がないためグリッドの変形による発光
点の面積のばらつきも防ぐことができ、すぐれた光源管
が実現できる。
第1図ないし第3図は本発明の一実施例を示し、第1図
は要部断面図、第2図および第3図は製造途中の平面図
である。 1・・・・ガラス基板、2・・・・At配線、3・・・
・螢光体層、4・・・・アルミナ層。 特許出願人 伊勢電子工業株式会社 代 理 人 山 川 政 樹(ほか2名)第1図 171□ 第2図 υvI
は要部断面図、第2図および第3図は製造途中の平面図
である。 1・・・・ガラス基板、2・・・・At配線、3・・・
・螢光体層、4・・・・アルミナ層。 特許出願人 伊勢電子工業株式会社 代 理 人 山 川 政 樹(ほか2名)第1図 171□ 第2図 υvI
Claims (1)
- 絶縁基板上に形成された陽極上に塗布された螢光体によ
り発光点が形成され、この発光点が一方向に複数個並ん
で発光点列を形成しており、上記絶縁基板上の真空容器
外に引き出された任意の陽極リードを選択することによ
り陽極リード延長上の陽極に塗布された螢光体がカソー
ドルミネセンスにより発光する螢光光源管において、陽
極および陽極リードは絶縁基板上に形成されたアルミニ
ウム薄膜からなり、このアルミニウム薄膜は、螢光体を
塗布する部分を残してその表面が当該アルミニウムを陽
極酸化してなる絶縁被膜で覆われるとともにこの絶縁被
膜で覆われないアルミニウム薄膜表面に電気泳動法によ
り螢光体層が形成されたことを特徴とする螢光光源管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16989385A JPS6231922A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 螢光光源管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16989385A JPS6231922A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 螢光光源管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231922A true JPS6231922A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15894913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16989385A Pending JPS6231922A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 螢光光源管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231922A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6933041B2 (en) * | 1998-03-03 | 2005-08-23 | Acktar Ltd. | Method for producing high surface area foil electrodes |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5763753A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-17 | Ise Electronics Corp | Positive subatrate of fluorescent display tube andits manufacturing method |
| JPS58108642A (ja) * | 1981-12-22 | 1983-06-28 | Ise Electronics Corp | 螢光光源管 |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP16989385A patent/JPS6231922A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5763753A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-17 | Ise Electronics Corp | Positive subatrate of fluorescent display tube andits manufacturing method |
| JPS58108642A (ja) * | 1981-12-22 | 1983-06-28 | Ise Electronics Corp | 螢光光源管 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6933041B2 (en) * | 1998-03-03 | 2005-08-23 | Acktar Ltd. | Method for producing high surface area foil electrodes |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4780395A (en) | Microchannel plate and a method for manufacturing the same | |
| JP2001234385A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| US7594841B2 (en) | Carbon nanotube field emitter array and method for fabricating the same | |
| JPH05211029A (ja) | 電子放出素子及びその製造方法 | |
| JP2001237072A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JP2001237071A (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JPS6231922A (ja) | 螢光光源管 | |
| KR100274865B1 (ko) | 전계방사형 음극 및 그 제조방법 | |
| JP3062637B2 (ja) | 蛍光表示管の製造方法 | |
| JPS61203555A (ja) | 螢光光源管 | |
| KR910007733B1 (ko) | 형광표시관의 제조방법 | |
| JP2699809B2 (ja) | 蛍光表示管 | |
| JPH02106861A (ja) | 蛍光表示管 | |
| KR950003102B1 (ko) | 형광프린터헤드 및 그 제조방법 | |
| KR950003650B1 (ko) | 형광표시관의 전극구조 | |
| KR950003101B1 (ko) | 기체방전 표시소자 및 그 제조방법 | |
| JP2758866B2 (ja) | 蛍光表示管の製造方法 | |
| JPS587219B2 (ja) | 螢光表示管の製造方法 | |
| JP3024651U (ja) | 蛍光表示管 | |
| JP2833925B2 (ja) | 蛍光表示管 | |
| JPH0417246A (ja) | 蛍光体ドットアレイ管及び蛍光面形成方法 | |
| JPS6313293B2 (ja) | ||
| JPS62254348A (ja) | 螢光表示管およびその製造方法 | |
| KR101070922B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널과, 플라즈마 디스플레이 패널용방전시트의 제조방법 | |
| JPH0318291B2 (ja) |