JPS6232532U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6232532U JPS6232532U JP12431385U JP12431385U JPS6232532U JP S6232532 U JPS6232532 U JP S6232532U JP 12431385 U JP12431385 U JP 12431385U JP 12431385 U JP12431385 U JP 12431385U JP S6232532 U JPS6232532 U JP S6232532U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- rod
- rotating shaft
- ventilation hole
- piston
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例であるジエツトスクラブ装置と半導体ウエーハ
を示す平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図
、第３図は従来のジエツトスクラブ装置の側面図
である。 １……半導体ウエーハ、７……ターンテーブル
、８……吸着孔、９……シリンダ孔、１０……ア
ース棒、１０ａ……ピストン、１０ｂ……アース
棒の他端側部、１１……回転軸、１１ａ……通気
孔、Ｃ……中心軸。
例であるジエツトスクラブ装置と半導体ウエーハ
を示す平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図
、第３図は従来のジエツトスクラブ装置の側面図
である。 １……半導体ウエーハ、７……ターンテーブル
、８……吸着孔、９……シリンダ孔、１０……ア
ース棒、１０ａ……ピストン、１０ｂ……アース
棒の他端側部、１１……回転軸、１１ａ……通気
孔、Ｃ……中心軸。
Claims (1)
- 導電材からなり、中心軸に沿つて通気孔を形成
している回転軸が下面に突設されたターンテーブ
ルと、該ターンテーブル内に形成され、上記回転
軸の通気孔から分岐してターンテーブル上面まで
連通する真空引き用の複数の吸着孔と、上記ター
ンテーブル内に形成され、上記回転軸の通気孔か
ら分岐してターンテーブル側面まで連通する真空
引き用の複数のシリンダ孔と、略Ｌ字状の導電棒
からなり、棒の一端に上記各シリンダ孔内を往復
動するピストンを有すると共にピストンの往復動
によつて棒の他端側部が上記ターンテーブル上面
に真空吸着される半導体ウエーハの側周に当接し
て電気的接触するアース棒とを具備したことを特
徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12431385U JPS6232532U (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12431385U JPS6232532U (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232532U true JPS6232532U (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=31016211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12431385U Pending JPS6232532U (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232532U (ja) |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP12431385U patent/JPS6232532U/ja active Pending