JPS6233762A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPS6233762A JPS6233762A JP17173685A JP17173685A JPS6233762A JP S6233762 A JPS6233762 A JP S6233762A JP 17173685 A JP17173685 A JP 17173685A JP 17173685 A JP17173685 A JP 17173685A JP S6233762 A JPS6233762 A JP S6233762A
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- Japan
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- molten
- vapor deposition
- crucible
- sump
- deposition material
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体製造等に利用される真空蒸着装置に係り
、特に湯だめ部から蒸着用ルツボへの溶融蒸着物質の供
給方式に関する。
、特に湯だめ部から蒸着用ルツボへの溶融蒸着物質の供
給方式に関する。
従来の真空蒸着装置は、例えば実公昭５６−２３３２９
号に記載された内容から刺断して、蒸着物質を加熱、溶
融してその溶融蒸着物質をためる湯だめ部および溶融蒸
着物質を蒸着用ルツボへ輸送する輸送管が前記ルツボと
共に同一の真空槽内に収納されていると推定される。
号に記載された内容から刺断して、蒸着物質を加熱、溶
融してその溶融蒸着物質をためる湯だめ部および溶融蒸
着物質を蒸着用ルツボへ輸送する輸送管が前記ルツボと
共に同一の真空槽内に収納されていると推定される。
しかるに、この真空蒸着装置においては、溶融蒸着物質
を連続的に供給する装置を真空槽内に組み込む必要があ
り、真空シールの問題等からメカニズムが複雑となり、
かつ真空槽もそれに伴なって大型化するという問題があ
る。
を連続的に供給する装置を真空槽内に組み込む必要があ
り、真空シールの問題等からメカニズムが複雑となり、
かつ真空槽もそれに伴なって大型化するという問題があ
る。
本発明の目的は、連続供給装置を必要とすることなく溶
融蒸着物質を連続して蒸着用ルツボへ供給できて、メカ
ニズムの簡素化および真空槽の小型化を図ることができ
る真空蒸着装置を提供することにある。
融蒸着物質を連続して蒸着用ルツボへ供給できて、メカ
ニズムの簡素化および真空槽の小型化を図ることができ
る真空蒸着装置を提供することにある。
また、本発明の目的は、溶融蒸着物質をより精度高く連
続的に供給することが可能な真空蒸着装置を提供するこ
とにある。
続的に供給することが可能な真空蒸着装置を提供するこ
とにある。
本発明は、蒸着物質を加熱、溶融してその溶融蒸着物質
をためる湯だめ部と、その湯だめ部がら輸送管を通して
輸送される溶融蒸着物質を更に加熱して蒸発させる蒸着
用ルツボとを備え、前記ルツボ内の溶融蒸着物質を真空
槽内で蒸発させて基板等に蒸着させるようにして成る真
空蒸着装置において、前記湯だめ部を大気側に設置し、
大気圧力とルツボ内圧力との差圧により湯だめ部内の溶
融蒸着物質を真空槽内のルツボへ供給するようにして、
連続供給装置を必要とすることなく溶融蒸着物質の連続
供給を可能とし、メカニズムの簡素化および真空槽の小
型化を図ったものである。
をためる湯だめ部と、その湯だめ部がら輸送管を通して
輸送される溶融蒸着物質を更に加熱して蒸発させる蒸着
用ルツボとを備え、前記ルツボ内の溶融蒸着物質を真空
槽内で蒸発させて基板等に蒸着させるようにして成る真
空蒸着装置において、前記湯だめ部を大気側に設置し、
大気圧力とルツボ内圧力との差圧により湯だめ部内の溶
融蒸着物質を真空槽内のルツボへ供給するようにして、
連続供給装置を必要とすることなく溶融蒸着物質の連続
供給を可能とし、メカニズムの簡素化および真空槽の小
型化を図ったものである。
また、本発明は、湯だめ部を大気側に設置する一方、大
気圧力Ｐ Ｏ、ルツボ内圧力Ｐ６、輸送管における溶融
蒸着物質の流動抵抗ΔＰ、ルツボと湯だめ部とのヘッド
差ΔＨ１溶融蒸着物質の密度ρとした場合、 Ｐｏ Ｐ１＝ΔＰ＋ρ・ΔＨ の関係式を常に満足させる圧力バランス手段を輸送管の
途中または湯だめ部に設けることにより、溶融蒸着物質
をより精度高く連続的に供給できるようにしたものであ
る。
気圧力Ｐ Ｏ、ルツボ内圧力Ｐ６、輸送管における溶融
蒸着物質の流動抵抗ΔＰ、ルツボと湯だめ部とのヘッド
差ΔＨ１溶融蒸着物質の密度ρとした場合、 Ｐｏ Ｐ１＝ΔＰ＋ρ・ΔＨ の関係式を常に満足させる圧力バランス手段を輸送管の
途中または湯だめ部に設けることにより、溶融蒸着物質
をより精度高く連続的に供給できるようにしたものであ
る。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。図は
本発明による真空蒸着装置の構成図を示し、１は棒状、
綿状、ペレット状あるいはボタン状の蒸着物質、２は蒸
着物質１を加熱、溶融しその溶融蒸着物質ｌＡをためる
湯だめ部、３は湯だめ部２内から輸送管４を通して輸送
される溶融蒸着物質ＩＡを更に加熱して蒸発させる蒸着
用のルツボ、５は湯だめ部２、輸送管４およびルツボ３
内の溶融蒸着物ｆｌＡを加熱する加熱体、６は蒸着を行
わすための真空槽、７は真空槽６内を真空にするための
真空排気装置、８は真空槽６内において基板９を取付け
るための基板ホルダである。
本発明による真空蒸着装置の構成図を示し、１は棒状、
綿状、ペレット状あるいはボタン状の蒸着物質、２は蒸
着物質１を加熱、溶融しその溶融蒸着物質ｌＡをためる
湯だめ部、３は湯だめ部２内から輸送管４を通して輸送
される溶融蒸着物質ＩＡを更に加熱して蒸発させる蒸着
用のルツボ、５は湯だめ部２、輸送管４およびルツボ３
内の溶融蒸着物ｆｌＡを加熱する加熱体、６は蒸着を行
わすための真空槽、７は真空槽６内を真空にするための
真空排気装置、８は真空槽６内において基板９を取付け
るための基板ホルダである。
しかして、本発明による真空蒸着装置は、前記湯だめ部
２を大気側に設置した構成となっている。
２を大気側に設置した構成となっている。
次に本実施例の作用について説明する。大気中において
湯だめ部２に連続的に供給される蒸着物質ｌは加熱体５
により加熱されて溶融状態となる。
湯だめ部２に連続的に供給される蒸着物質ｌは加熱体５
により加熱されて溶融状態となる。
この溶融蒸着物ｆｌＡは、大気圧力Ｐ０とルツボ内圧力
Ｐ＋ （ＰＩ ＜Ｐ（１）の圧力差により輸送管４を
流動して真空槽６内のルツボ３に供給される。
Ｐ＋ （ＰＩ ＜Ｐ（１）の圧力差により輸送管４を
流動して真空槽６内のルツボ３に供給される。
該ルツボ３に供給された溶融蒸着物質ＩＡは更に加熱さ
れて蒸発し、基板ホルダ８に保持されている基板９に蒸
着される。尚、図中Ｐ２は真空槽６内の圧力を示し、Ｐ
２ ＜ＰＩの関係となっている。
れて蒸発し、基板ホルダ８に保持されている基板９に蒸
着される。尚、図中Ｐ２は真空槽６内の圧力を示し、Ｐ
２ ＜ＰＩの関係となっている。
従って、本実施例においては、大気圧力Ｐ０とルツボ内
圧力Ｐ１との圧力差により溶融蒸着物質ＩＡの連続供給
を行えるので、従来のような連続供給装置を真空槽内に
組込む必要がなくなり、メカニズムの簡素化および真空
槽の小型化が可能となる。
圧力Ｐ１との圧力差により溶融蒸着物質ＩＡの連続供給
を行えるので、従来のような連続供給装置を真空槽内に
組込む必要がなくなり、メカニズムの簡素化および真空
槽の小型化が可能となる。
また、前述の蒸着作用が行われている状態において、大
気圧力ＰＯ％ルツボ内圧力Ｐ１％輸送管における溶融蒸
着物質の流動抵抗ΔＰ、ルツボと湯だめ部とのヘッド差
ΔＨ，溶融蒸着物質の密度ρとした時、 Ｐａ ＰＩ＝ΔＰ＋ρ・ΔＨ・・・・・・川・・・（
１）の関係式を常に満足させる圧力バランス手段を輸送
管４の途中または湯だめ部２側に設ければ、溶融蒸着物
質ＩＡをより精度高く連続的に供給することが可能とな
る。
気圧力ＰＯ％ルツボ内圧力Ｐ１％輸送管における溶融蒸
着物質の流動抵抗ΔＰ、ルツボと湯だめ部とのヘッド差
ΔＨ，溶融蒸着物質の密度ρとした時、 Ｐａ ＰＩ＝ΔＰ＋ρ・ΔＨ・・・・・・川・・・（
１）の関係式を常に満足させる圧力バランス手段を輸送
管４の途中または湯だめ部２側に設ければ、溶融蒸着物
質ＩＡをより精度高く連続的に供給することが可能とな
る。
次に前記圧力バランス手段を設けた実施例を第２図、第
３図により説明する。
３図により説明する。
第２図は圧力バランス手段を輸送管の途中に設けた場合
の真空蒸着装置の構成図を示し、輸送管４の途中に圧力
コントロール室１０を設け、かつ圧力コントロール室１
０内の圧力をコントロールする、圧力コントローラ１１
を設けた構成となっている。
の真空蒸着装置の構成図を示し、輸送管４の途中に圧力
コントロール室１０を設け、かつ圧力コントロール室１
０内の圧力をコントロールする、圧力コントローラ１１
を設けた構成となっている。
尚、図中第１図と同一符号のものは同じものを示してい
る。 ・ この実施例において、前記圧力コントロール室１０内の
圧力Ｐ１、圧力コントロール室１０の湯面と湯だめ部２
内の場面とのヘッド差ΔＨ′、ルツボ３内の場面と圧力
コントロール室１０の場面とのヘッド差ΔＨ″、湯だめ
部２と圧力コントロール室１０との間の輸送管４におけ
る溶融蒸着物質の流動抵抗ΔＰ′、圧力コントロール室
１０とルツボ３との間の輸送管４における溶融蒸着物質
の流動抵抗ΔＰ＃とした場合、これらの圧力関係は（２
）式、（３）式で示される。
る。 ・ この実施例において、前記圧力コントロール室１０内の
圧力Ｐ１、圧力コントロール室１０の湯面と湯だめ部２
内の場面とのヘッド差ΔＨ′、ルツボ３内の場面と圧力
コントロール室１０の場面とのヘッド差ΔＨ″、湯だめ
部２と圧力コントロール室１０との間の輸送管４におけ
る溶融蒸着物質の流動抵抗ΔＰ′、圧力コントロール室
１０とルツボ３との間の輸送管４における溶融蒸着物質
の流動抵抗ΔＰ＃とした場合、これらの圧力関係は（２
）式、（３）式で示される。
Ｐａ Ｐ３＝Δｐ’＋ｐ・ΔＨ’ −９８，−＋
２）Ｐｓ Ｐ１＝ΔＰ＃＋ρ・ΔＨ“ ・・・・・
・（３）従って、圧力コントロール室１０内の圧力Ｐ、
を制御することにより、溶融蒸着物質の連続供給をより
精度高く行うことが可能となる。
２）Ｐｓ Ｐ１＝ΔＰ＃＋ρ・ΔＨ“ ・・・・・
・（３）従って、圧力コントロール室１０内の圧力Ｐ、
を制御することにより、溶融蒸着物質の連続供給をより
精度高く行うことが可能となる。
第３図は圧力バランス手段を湯だめ部側に設けた場合の
真空蒸着装置の構成図を示し、１２は湯だめ部２の周り
に設けた圧力コントロール室、１３は圧力コントロール
室１２内の圧力Ｐ４を変化させることなく該圧力コント
ロール室１２内に蒸着物質１を装填するためのロードロ
ツタ室、１４は圧力コントロール室１２とロードロック
室１３との間に設けられた仕切弁、１５はロードロック
室１３を大気と連通、遮断する仕切弁、１６は圧力コン
トロール室１２の圧力Ｐ４をコントロールする圧力コン
トローラ、１７はロードロック室１３内の圧力Ｐ５をコ
ントロールする圧力コントローラである。
真空蒸着装置の構成図を示し、１２は湯だめ部２の周り
に設けた圧力コントロール室、１３は圧力コントロール
室１２内の圧力Ｐ４を変化させることなく該圧力コント
ロール室１２内に蒸着物質１を装填するためのロードロ
ツタ室、１４は圧力コントロール室１２とロードロック
室１３との間に設けられた仕切弁、１５はロードロック
室１３を大気と連通、遮断する仕切弁、１６は圧力コン
トロール室１２の圧力Ｐ４をコントロールする圧力コン
トローラ、１７はロードロック室１３内の圧力Ｐ５をコ
ントロールする圧力コントローラである。
この真空蒸着装置において、蒸着物質ｌは大気状態にあ
るロードロック室１３内へ仕切弁１５を介して挿入され
る。そして、ロードロック室１３内の圧力Ｐ、が圧カコ
ントロール室１２内の圧力Ｐ４と等しくされ、圧力コン
トロール室１２内の、前工程にて使用した蒸着物質ｌが
全て溶融された時、ロードロック室１３内に挿入した前
記蒸着物質を仕切弁１４を介して圧力コントロール室１
２内へ装填する。
るロードロック室１３内へ仕切弁１５を介して挿入され
る。そして、ロードロック室１３内の圧力Ｐ、が圧カコ
ントロール室１２内の圧力Ｐ４と等しくされ、圧力コン
トロール室１２内の、前工程にて使用した蒸着物質ｌが
全て溶融された時、ロードロック室１３内に挿入した前
記蒸着物質を仕切弁１４を介して圧力コントロール室１
２内へ装填する。
従って、本実施例においても、湯だめ部２周りの圧力Ｐ
４を制御することにより、溶融蒸着物質の連続供給をよ
り精度高く行うことができる。
４を制御することにより、溶融蒸着物質の連続供給をよ
り精度高く行うことができる。
以上説明したように、本発明によれば、連続供給装置を
必要とすることなく溶融蒸着物質を蒸着用ルツボへ連続
して供給できるので、メカニズムの簡素化および真空槽
の小型化を図ることができる。また、本発明によれば、
溶融蒸着物質をより精度高く連続的に供給することがで
きる。
必要とすることなく溶融蒸着物質を蒸着用ルツボへ連続
して供給できるので、メカニズムの簡素化および真空槽
の小型化を図ることができる。また、本発明によれば、
溶融蒸着物質をより精度高く連続的に供給することがで
きる。
第１図は本発明の真空蒸着装置の一実施例を示す構成図
、第２図および第３図は他の発明の真空蒸着装置の実施
例を示す構成図である。 １・・・蒸着物質、ＩＡ・・・溶融蒸着物質、２・・・
湯だめ部、３・・・蒸着用ルツボ、４・・・輸送管、５
・・・加熱体、６・・・真空槽、１０．１２・・・圧力
コントロール室、１１、１６．１７・・・圧力コントロ
ーラ、１３・・・ロードロック室 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第７図 第２図
、第２図および第３図は他の発明の真空蒸着装置の実施
例を示す構成図である。 １・・・蒸着物質、ＩＡ・・・溶融蒸着物質、２・・・
湯だめ部、３・・・蒸着用ルツボ、４・・・輸送管、５
・・・加熱体、６・・・真空槽、１０．１２・・・圧力
コントロール室、１１、１６．１７・・・圧力コントロ
ーラ、１３・・・ロードロック室 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第７図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、蒸着物質を加熱、溶融してその溶融蒸着物質をため
る湯だめ部と、その湯だめ部から輸送管を通して輸送さ
れる溶融蒸着物質を更に加熱して蒸発させる蒸着用ルツ
ボとを備え、前記ルツボ内の溶融蒸着物質を真空槽内で
蒸発させて基板等に蒸着させるようにして成る真空蒸着
装置において、前記湯だめ部を大気側に設置し、大気圧
力とルツボ内圧力との差圧により湯だめ部内の溶融蒸着
物質を真空槽内のルツボへ連続的に供給するようにした
ことを特徴とする真空蒸着装置。 ２、蒸着物質を加熱、溶融してその溶融蒸着物質をため
る湯だめ部と、その湯だめ部から輸送管を通して輸送さ
れる溶融蒸着物質を更に加熱して蒸発させる蒸着用ルツ
ボとを備え、前記ルツボ内の溶融蒸着物質を真空槽内で
蒸発させて基板等に蒸着させるようにして成る真空蒸着
装置において、前記湯だめ部を大気側に設置し、大気圧
力Ｐ＿０、ルツボ内圧力Ｐ１、輸送管における溶融蒸着
物質の流動抵抗ΔＰ、ルツボと湯だめ部とのヘッド差Δ
Ｈ、溶融蒸着物質の密度ρとした場合、 Ｐ＿０−Ｐ＿１＝ΔＰ＋ρ・ΔＨ の関係式を常に満足させる圧力バランス手段を輸送管の
途中または湯だめ部に設け、湯だめ部内の溶融蒸着物質
を真空槽内のルツボへ連続的に供給するようにしたこと
を特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17173685A JPS6233762A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17173685A JPS6233762A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233762A true JPS6233762A (ja) | 1987-02-13 |
Family
ID=15928728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17173685A Pending JPS6233762A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233762A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01234560A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 | Ulvac Corp | 蒸着装置における低融点蒸発材の供給方法及び装置 |
| JP2008500454A (ja) * | 2004-05-27 | 2008-01-10 | ズィードラーベ インコーポレイテッド | 金属及び合金の蒸発による真空蒸着方法及び真空蒸着装置 |
| JP2012525499A (ja) * | 2009-04-27 | 2012-10-22 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド | 原料供給ユニットと、薄膜蒸着装置および薄膜蒸着方法 |
| WO2019234398A1 (en) * | 2018-06-04 | 2019-12-12 | Dyson Technology Limited | A vapour deposition evaporator device |
| WO2019234395A1 (en) * | 2018-06-04 | 2019-12-12 | Dyson Technology Limited | A vapour deposition evaporator device |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP17173685A patent/JPS6233762A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01234560A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 | Ulvac Corp | 蒸着装置における低融点蒸発材の供給方法及び装置 |
| JP2008500454A (ja) * | 2004-05-27 | 2008-01-10 | ズィードラーベ インコーポレイテッド | 金属及び合金の蒸発による真空蒸着方法及び真空蒸着装置 |
| JP2012525499A (ja) * | 2009-04-27 | 2012-10-22 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド | 原料供給ユニットと、薄膜蒸着装置および薄膜蒸着方法 |
| WO2019234398A1 (en) * | 2018-06-04 | 2019-12-12 | Dyson Technology Limited | A vapour deposition evaporator device |
| WO2019234395A1 (en) * | 2018-06-04 | 2019-12-12 | Dyson Technology Limited | A vapour deposition evaporator device |
| US11613804B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-03-28 | Dyson Technology Limited | Vapour deposition evaporator device |
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