JPS6233778A - ワ−ク電位検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野） 本発明はめつき処理装置等に使用されるワーク電位検知
装置に関し、より詳細には、磁気記憶ディスクのめつき
処理Ｈ置に適したワーク電位検知装置に関づる。

（従来の技術） 一般にコンピュータ等に使用される磁気記憶ディスクは
、アルミニウム又はアルミニウム合金の環状板がディス
ク素材として使用されでおり、その表面にコバルト・ニ
ッケル・りんの無電解めっきを施して磁気媒体が形成さ
れている。又そのようなディスクでは、めっきの品質を
極めて高く維持りる必要があるので、めっき処理時間を
高精度で管理する必要がある。

（発明が解決しようとＪる問題点） どころか無”ＭＭめっきでは、処理液にワークを浸漬し
てから実際にめっきが開始されるまでの時間が種々の条
件によって変動する。従って実際のめっき処理時間の管
理が難しいという問題がある。

この対策としく、処理液にワークを浸漬した状態におい
て処理液とワークの電位差を測定し、°電位差の変動に
基づいて実際のめつき開始時期を検知するという方法が
既に提案されている。ところがそのような方法を採用し
ようとしても、従来の処理装置では、カーロセルの構造
上、ワークの電位を検知することが難しいという問題が
ある。

（問題点を解決するだめの手段） 上記問題を解決づるために、本発明は、カーロセルに７
′Ｉｆ導材製のワーク支持用棒状サポートを水平に設け
、該サポートの外周に環状の溝部（又は山部）をサポー
ト軸方向に一定間隔で平行に多数設け、ワークと接触づ
゛る上記溝部の底面と）Ａ部平打面のみ電導材を露出し
、残部を非電導材で被覆したサポートとワークを導電状
態に保１５、サポートに電位検知器を接続したことを特
徴としている。

（作用） 上記構成ににると、ワークの孔を棒状サポートに嵌めて
溝に着座さけることにより、ワークの装着が完了する。

又その装着状態において、ワークの電位は孔の内周面、
溝の底面、ナボート本体を介して検知装置により検知さ
れる。

（実施例） 第１図はワークＷを、カーロセル１（治具）に装着して
処理槽Ｔ内の無電解めっき液（図示せず）に漬けた状態
を垂直断面で示している。ワークＷは磁気記憶ディスク
の素材で、アルミニウム又はその合金からなる環状かつ
板状の部材で形成されており、中心部に孔ａを備えてい
る。

力−ロロル１は棒状（サポート２．３を備え−Ｃいる。

サポート２はワークＷの中心孔ａ内に入込んでその内周
を支持してＪ３す、ワークＷはサポート２のＩＬＩ聞に
垂直な姿勢で位置している。ワークＷは、サポート２の
長手方向に一定間隔を隔てで多数Ｈ肴されており、ナボ
ート２ははばその全長にわたってワークＷを支持してい
る。

サポート２は一端部にボス５を備えてＪ３す、ボス５の
先端のねじ孔に軸６のねじ部が固定されている。軸６は
リーボート２と間芯であり、サポート２は軸６の部分に
４３いてル−ム７のボス８により片持ら梁状態で水平に
支持されている。ボス８は厚肉の筒状部材で、フレーム
７に固定されており、その内周面にＪ、り軸受１０を介
して軸６を回転自在に支持している。又ボス８の内周面
とボス５の間には液密シール１１が介装されている。

ボス８を固定したフレーム７は中空構造で、内部に密ｆ
ｉｌ　ＭＩＪ造の室１２を婦えてＪ３す、又上下に長く
延びている。軸６の端部は室１２へ突出しており、その
突出端部にスプロケット１３が取付けである。スフ０ケ
ツト１３は室１２内に設けたチェーン１５（駆動機構）
を介して上方の駆動スプロケット１６に連結している。

スプロケット１６はｔ−タ１７の出力軸に固定されてお
り、このモータ１７もフレーム７の密閉構造の室に設け
Ｃある。

上記構造によると、処理作業中にモータ１７によりチ：
Ｌ−ン１５等を介してナボート２を回転さＵることによ
り、ワークＷも処理液中で回転する。

従ってワークＷと処理液との接触効率は高くなり、処理
時間の短縮及び品質の向上が図られる。なおモータ１７
に変えて外部に膓動軸を設け、＠軸により室１２内部の
駆動機構を介してサポート２を駆動するように構成する
こともできる。

フレーム７の上端は水平に延びるフレ・−ム１８に連結
している。図示のめっき処理状態において、フレーム１
８の両端は処理槽「の上縁のシート等（図示せず）に着
座している。又フレーム１８の両端部近傍からは上方へ
アーム２０が突出している。各アーム２０は上端にフッ
ク２１を備えている。図示されていない搬送ロボット等
によりカーロセル１及びワークＷを’ｉ”？、　Ｅｉ及
び搬送づる場合、搬送ロボットがフック２１を保持して
カーロセル１を吊上げるＪ：うになっている。

前記サポート２及びボス５、軸６、スフ［１ケツト１３
はステンレス等の電導材で作られてＪ３す、互いに導通
状態で連結されている。スプロケット１３のボス８側の
端面にはカーボンブラシ２２が接触している。カーボン
ブラシ２２は図示されていない電位検知器に接続してい
る。又後述づる如く、ワークＷはサポート２に導通状態
で支持されている。一方処理槽Ｔ内には、処理液の電位
を検知するための標準電極２３が設けである。従ってサ
ポート２に装着されたワークＷの電位をサポート２やス
プロケット１３を介して電位検知器で検知り°るととも
に、処理槽１の処理液の電位を標準電極２３を介して電
位検知器で検知し、両者の電位差の変化にすづいて、実
際にめっきが開始されたことを検知１Ｊることができる
。

他方のサポート３も、直径が大きい点を除いて、サポー
ト２と同様に構成されており、スプロケット１３により
駆動されるとともに、サポート３上のワークＷ（第１図
では図示せず）の電位をサポート３に固定したスプロケ
ット１３やブラシ２２を介して検知できる。

なおサポート２は内径及び外径の小さいワークＷを装着
づる場合に使用され、サポート３は内径及び外径の大き
いワークＷを装着する場合に使用される。

第１図の一部切欠き拡大部分略図である第２図の如く、
サポート２の外周面には多数の′環状山部２５及び環状
溝部２６が長手方向に交互に設けである。各山部２５の
頂面２７はサボ・−ト２の中心線Ｓと開広の円筒面とな
ってＪ３す、両側面２８はう−−パ面となっている。各
溝部２６の底面２９はサポート中心線Ｓと開広の円筒面
であり、両側面３０はサポート中心ｍｓと概ね直角な環
状面となっている。ワークＷは溝部２６に嵌合しており
、中心孔ａの内周面は底面２９の上部に着座している。

又溝部２６の幅１はワークＷの厚さよりも僅かに人きい
程度に設定されている。従ってワークＷは溝部２６によ
りリーボート２の長手方向にほぼ移動不能に位若決めさ
れている。

上記頂面２７及び側面２８（又は頂面２７、側面２８、
側面３０）は樹脂等の絶縁材で覆われている。一方、底
面２９【よりポート２の素材表面で形成されており、ワ
ークＷとサポート２は中心孔ａの内周面と底面２９との
接触部分を介して電気的に接続している。１１確には図
示され−（いないが、第１図のサポート３にもＩｎＪ様
の山部及び溝部が設けである。なお図示のワークＷには
、あらかじめ内周面以外の表面に非磁気媒体にッケル・
りん）のめっきが施されており、図示の装置では、その
非磁気媒体の表面に磁気媒体のめっきが施される。

第１図の一部切欠きＩＩ−Ｉ［［矢視略図である第３図
の如く、サポート２はＵいに上下左右に間隔を隔てて合
計４本設番プてあり、サポート３は下側の２本のサポー
ト２０問かつ斜め上方に設けである。

上記ワークＷは、カーロセル１の装着される前の状態で
は、第４図のマガジンＭに装填されており、マガジンＭ
に装填された状態で後述づ”る装着装置により搬送され
てカーロセル１に装着される。

第４図及びそのｖ−■断面略図である第５図においで、
マガジンＭは１対の側板３５と、それらの下部両端をつ
なぐ連結部材３６と、両端が側板３５に支持される３本
のロッド３７とを備えχいる。ロッド３７は側板３５の
上部両側部と下部中間部に取付けてあり、連結部材３６
と平行に延びている。各ロッド３７の外周面には、その
全長にわたって、多数の環状溝３８が所定間隔毎に設番
プてあり、溝３８にワークＷの外周が［１ツド３７の長
手方向に移動不能の状態で入込んでいる。第５図におい
て左右両側のロッド３７はワ〜りＷを両側から支持して
おり、下部のａラド３フはワークＷを下方から支持して
いる。従ってマガジンＭにＷｔ填された状態では、多数
のワークＷが所定間隔を隔てて開広に並んでおり、ワー
クＷ全体の中心線Ａはロッド３７と平行に延びている。

又第４図の如く、各側板３５の上部にはワークＷと反対
の側に張出したフック３９が設けである。

平面略図である第６図の如く、前記装着装置は、ワーク
供給用のコンペＸ７４０とハンドロボット４１、移送装
置’１２、ターンデープル装＠４３、マガジン排出用の
ハンドロボット４４とコンベＡ７４５を備えＣいる。

コンベヤ４０はチェーンコンベ鬼１で構成されており、
ワークＷを装填したマガジンＭを水平方向に搬送するよ
うになっている。又図示されていない機構により、マガ
ジンＭはワーク中心１ｉｉＡがコンベヤ４０の幅方向と
平ｆｊになる姿勢でコンベヤ４０の人口に乗せられるよ
うになっている。

ハンドロボット４１は１対のレール４６と、レール４６
に沿って移動りる【」ボット本体４７と、ロボット本体
４７を駆動するエアーシリンダ機構４８とを備えている
。レール４６はコンベヤ４０の出口４９の上方から移送
装置４２の上方まで二１ンベヤ４０と平行に延びている
。ロボット本体４７は、後述する如く、マガジンＭを保
持づるように構成されてＪ５す、出［１４９上のマガジ
ンＭはロボット本体４７により移送Ｓｉｔ＆４２の台１
Ｉ５０上まで運ばれる。シリンダ機構４８は例えば３木
のエアー−シリンダを組合せて構成されており、移送装
置４２上でのロボット本体４７の停止位置を変更し、台
車５０上の３種類の位置Δ１、Ａ２、Ａ３　（ワーク中
心線のみ図示）のいずれにもマガジンＭを乗せることが
できるようになっている。

移送装置４２はコンベヤ４０に対してその搬送方向前方
に位置しており、コンベ１７４０と直交り゛る１対の水
平レール５１を備えＣいる。前記台車５０はシリンダ５
２により駆動されてレール５１上を移動ザるようになっ
′Ｃいる。

ターンテーブル装置４３は移送装￥ｉ４２の出！」に隣
接しで設けてあり、図示されていない機構により、空の
カーロセル１がテーブル５５の上面に乗けられるように
なっτいる。

ハンド［コボット４４及びコンベＡ７４５は航記コンベ
ヤ４０及びハンドロボット４１と同様の構造を備えて４
３す、それぞれコンペＡ７４０及びハンドロボット４１
の側方近傍にそれらと平行に設けである。

第６図のＶｌ−Ｖｌ断面拡大部分略図である第７図の如
く、前記ロボット本体４７にはシリンダ６０及びガイド
［１ツド６１を利用してン１降部６２が冑降自在に取付
（プである。！１降部６２の両側部には下方へ突出した
ア−〕、６３が設（）てあり、アーム６３の下部にマガ
ジンＭの前記フック３９に下方から係合づるフック６５
が設けである。又昇降部６２には両アーム６３の間隔を
変えるためのシリンダ機構（図示せず）が設けである。

従って、コンペＡ７４０上のマガジンＭを移送ザる場合
、両アーム６３の間隔を広げた状態でシリンダ６０によ
りＹｌｌ郡部６２下降させ、続いて両アーム６３の間隔
を狭めてフック６５をフック３５）の下方に位置さ１１
次に昇降部６２を上界させることによりマガジンＭをア
ーム６３℃゛保持して引−Ｌげることができる。又これ
とは逆の手順で各部を作動させることにより、アーム６
３で保持したマガジンＭを台車５０の９１降台７０の上
面に下すことができる。

前記台車５０には垂直なガイド７１が没けてあり、ガイ
ド７１により昇降台７０が昇降自在に支持されている。

又、図示されていないが、台車５０にはｙ？降台７０を
昇降させるための駆動灘構（シリンダ機構）が設（プで
ある。

ターンテーブル！［４３にはテーブル５５を支持する垂
直＠７２や、垂直軸７２を回転させるモータ機構（図示
せず）が設けである。テーブル５５上において、空のカ
ーロセル１はそのサポート２．３がレール５１と平行に
、すなわち台車５０上のワークＷの中心線へと平行に延
びている。従って台車５０によりワークＷを適当な高さ
に保持し、そのままの状態で台車５０を前進させると、
ワークＷの中心孔ａにサポート２又は３）が挿入され、
挿入後に昇降台７０を下降させることにより、ワークＷ
が前述の如くナポート２又は３に装着され、マガジンＭ
はワークＷから下方へ分離される。このようにして分離
されたマガジンＭは台車５０によりハンドロボット４４
の近傍まで戻さ゛れ、ハンドロボット／１４及びコンベ
レ４５により排出される。

なお第３図の如く、畳ナボート２は４箇所に設けである
が、上記装６作業において、ンガジンＭ毎に、台車５０
上のマガジン設置位置（Ａ１、Ａ３　：第６図）及び昇
降台７０の上Ｆ位置を変更づることにより、４回の装着
動作で全てのサポート２にワークＷが装着される。又ワ
ークＷが大径で、サポート３を使用ジる場合も、マガジ
ンＭの１装置位置（Ａ２）や昇降台７０の上下位置が適
当に設定される。

上述の如くカーロセル１へのワークＷの装着が完了する
と、デープル５５は９０°回転し、１ナボート２．３や
ワーク中心線Ａはレール５１と直交りる姿勢となる。続
いて前記搬送ロボット（図示Ｕず）がカーロはル１７２
引上げ、種々の前処１！ｌ！椿（図示せず）、めっき処
理槽Ｔ（第１図）、後処理槽に順々にワークＷを漬ける
。

このようにして処理が完了すると、前屈装着装置と同様
の構造を有する取外装置く図示せず）により、ワークＷ
がカー０１？／し１から前記マガジンＭと同様のマガジ
ンに回収される。なａ３取外装置の作業手順は装着装置
の作業手順と逆になる。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によると、ワークＷ支持用の
トナボート２を電位検出用の端子に使用したので、カー
ロセル１に専用の電位検出端子を設りる必要【まなく、
椛造の簡ｊ算化を図ることができる。

又、ワークＷ（７）電位検出が確実かつ簡単に行えるの
で、処Ｆｌｌ液とワークの電位差を測定して実際のめつ
き開始時期を正確に検知し、めっき処理時間の制御粘度
を高めてめっきの品質を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例のカーロレルの垂直断面略図、第
２図は第１図の一部切欠き拡大部分略図、第３図は第１
図の一部切欠き■−■矢視略図、第４図はマガジンの正
面略図、第５図は第４図の■−Ｖ所而略面、第６図は装
着装置の平面略図、第７図は第６図のＶｌ　−Ｖｌ断面
拡人略図工・ある。１・・・カーロセル、２．３・・・
棒状サポート、２５・・・山部、２（３・・・渦部、２
９・・渦の底面、ａ・・・孔、Ｗ・・・ワーク

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. カーロセルに電導材製のワーク支持用棒状サポートを水
   平に設け、該サポートの外周に環状の溝部（又は山部）
   をサポート軸方向に一定間隔で平行に多数設け、ワーク
   と接触する上記溝部の底面と溝部平行面のみ電導材を露
   出し、残部を非電導材で被覆したサポートとワークを導
   電状態に保ち、サポートに電位検知器を接続したことを
   特徴とするワーク電位検知装置。