JPS6234432U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6234432U JPS6234432U JP12569885U JP12569885U JPS6234432U JP S6234432 U JPS6234432 U JP S6234432U JP 12569885 U JP12569885 U JP 12569885U JP 12569885 U JP12569885 U JP 12569885U JP S6234432 U JPS6234432 U JP S6234432U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- semiconductor
- testing
- prober
- wafer
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す構成図、第
２図は半導体検査用プローバーにおいてインクの
打点を説明するための説明図である。 図において、１はチヤツク、２はウエハー、３
はインク付着装置、５は付着したインク、１０は
掃除機、２０はプローバーの枠体、２２は支持枠
である。なお、図中、同一符号は夫々同一又は相
当部分を示す。
２図は半導体検査用プローバーにおいてインクの
打点を説明するための説明図である。 図において、１はチヤツク、２はウエハー、３
はインク付着装置、５は付着したインク、１０は
掃除機、２０はプローバーの枠体、２２は支持枠
である。なお、図中、同一符号は夫々同一又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウエハーを検査する半導体検査用プロー
バーにおいて、検査を完了した前記ウエハーをチ
ヤツクからアンロードした後チヤツクに付着した
インクを掃除する掃除機を設けたことを特徴とす
る半導体検査用プローバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12569885U JPS6234432U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12569885U JPS6234432U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234432U true JPS6234432U (ja) | 1987-02-28 |
Family
ID=31018822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12569885U Pending JPS6234432U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234432U (ja) |
-
1985
- 1985-08-19 JP JP12569885U patent/JPS6234432U/ja active Pending