JPS6235741U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１〜３図は本考案の搬送装置の実施例を示し
ており、第１図は縦断側面図、第２図は平面図、
第３図は第２図のＡ―Ａ断面図、第４図は搬送装
置の設置状態の１例を示す略平面図、第５〜６図
は従来の搬送装置の１例を示しており、第５図は
平面図、第６図は側面図である。 １：加工機、２：搬送機、３：第一腕、４：第
二腕、５：半導体ウエハ、６：置台、７：基台、
８：フレーム、９：円筒体、１０：ベアリング、
１１：大径歯車、１２：モータ、１３：小径歯車
、１４：円筒軸、１５：ベアリング、１６：駆動
軸、１７：段付プーリ、１８：連結具、１９：駆
動用モータ、２０：ブラケツト、２１：ベアリン
グ、２２：回転腕、２３：連結腕、２４：第一連
結軸、２５：ベアリング、２６：段付プーリ、２
７：段付ベルト、２８：第二連結軸、２９：ベア
リング、３０：搬送腕、３１：載置部、３２：ス
ライダ、３３：ガイドレール、３４：ブラケツト
、３５，３６：センサ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基台に対し鉛直線を中心として回転自在な円筒
   軸の内側に、回転自在な駆動軸を挿通し、この駆
   動軸の上端部に駆動車を固定するとともに、回転
   腕の基端部を枢着し、回転腕の先端部には、この
   回転腕と同長の連結腕の基端部下面に垂下固定し
   た第一連結軸を枢支し、この第一連結軸に固定し
   た従動車と前記駆動車とに、無端連結材を掛け渡
   し、上記連結腕の先端部上面に第二連結軸を植立
   し、この第二連結軸に、先端に被搬送物を載置自
   在な搬送腕の基端部を枢支し、駆動軸の中心と第
   一連結軸の中心との距離と、第一連結軸の中心と
   第二連結軸の中心との距離とは等しくし、搬送腕
   は、水平方向に配設された直線ガイドに沿つて長
   さ方向の平行移動のみ自在として成る搬送装置。