JPS6236541Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6236541Y2 JPS6236541Y2 JP1985091584U JP9158485U JPS6236541Y2 JP S6236541 Y2 JPS6236541 Y2 JP S6236541Y2 JP 1985091584 U JP1985091584 U JP 1985091584U JP 9158485 U JP9158485 U JP 9158485U JP S6236541 Y2 JPS6236541 Y2 JP S6236541Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- roller
- liquid
- transfer device
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案は、平板状の基板の表面に塗布液を均一
に塗布することのできるロールコータにおいて、
基板を所定方向に移送するための移送装置に関す
るものであり、特に基板の下面側に塗布液を塗布
する形式のロールコータに使用して有用なもので
ある。
に塗布することのできるロールコータにおいて、
基板を所定方向に移送するための移送装置に関す
るものであり、特に基板の下面側に塗布液を塗布
する形式のロールコータに使用して有用なもので
ある。
[従来の技術]
例えばガラス等の基板の表面に薄膜を被着形成
させるために、基板の表面に薄膜形成液を塗布す
る装置としては、第6図に示す3本ロールによる
ロールコータが知られている。
させるために、基板の表面に薄膜形成液を塗布す
る装置としては、第6図に示す3本ロールによる
ロールコータが知られている。
従来のロールコータ1は、基板2を下面から支
えるバツクアツプローラ3と、基板2の上面に圧
着されて薄膜形成液4を該基板2の上面2aに転
写するコーテイングローラ5とを具備し、薄膜形
成液4は、ドクターローラ6上に注がれ、該ドク
ターローラ6によつて均一に伸ばされて前記コー
テイングローラ5に供給されるように構成されて
いる。
えるバツクアツプローラ3と、基板2の上面に圧
着されて薄膜形成液4を該基板2の上面2aに転
写するコーテイングローラ5とを具備し、薄膜形
成液4は、ドクターローラ6上に注がれ、該ドク
ターローラ6によつて均一に伸ばされて前記コー
テイングローラ5に供給されるように構成されて
いる。
そして、前記コーテイングローラ5をはさん
で、基板2の移動方向の前後両位置には、基板2
の移送装置が設けられている。この移送装置は、
前記基板2の下面2bに接触して基板2を移送す
るものであり、例えば第4図及び第5図に示す構
造のものが知られている。
で、基板2の移動方向の前後両位置には、基板2
の移送装置が設けられている。この移送装置は、
前記基板2の下面2bに接触して基板2を移送す
るものであり、例えば第4図及び第5図に示す構
造のものが知られている。
第4図は、ロール式移送装置7の斜視図であ
り、回転軸8aが互いに平行となるように並設さ
れた複数の送りロール8を具備し、これらの送り
ロール8が同方向に回転して、外周面8b上に支
えた基板を、前記3本ロールへ向けて送り出し、
又は3本ロールから搬出する構成とされている。
り、回転軸8aが互いに平行となるように並設さ
れた複数の送りロール8を具備し、これらの送り
ロール8が同方向に回転して、外周面8b上に支
えた基板を、前記3本ロールへ向けて送り出し、
又は3本ロールから搬出する構成とされている。
第5図は、コンベア式移送装置9の斜視図であ
り、回転軸10aが互いに平行となるように並設
された一対のプーリ10,10の外周面に移送ベ
ルト11を巻掛けてある。そして、基板2は、下
面2bを前記移送ベルト11に接触させて、前記
3本ロールへ向けて送り出され、又は3本ロール
から搬出されるように構成されている。
り、回転軸10aが互いに平行となるように並設
された一対のプーリ10,10の外周面に移送ベ
ルト11を巻掛けてある。そして、基板2は、下
面2bを前記移送ベルト11に接触させて、前記
3本ロールへ向けて送り出され、又は3本ロール
から搬出されるように構成されている。
[考案が解決しようとする問題点]
従来のロールコータ1は、塗布液である薄膜形
成液が不安定である場合には適用することができ
なかつた。
成液が不安定である場合には適用することができ
なかつた。
例えば、インジウム、スズ、チタン等を含有す
る有機金属化合物(アルコキシ化合物)を、沸点
が低く揮発しやすい有機溶剤に溶解した薄膜形成
液の場合には、液はローラ相互間及びローラと基
板との間で2回も加圧も受け、かつ、ローラ表面
からは常に液の溶剤成分が揮発し続けている。従
つて、基板2に転写された薄膜形成液は不均一と
なつてしまう。
る有機金属化合物(アルコキシ化合物)を、沸点
が低く揮発しやすい有機溶剤に溶解した薄膜形成
液の場合には、液はローラ相互間及びローラと基
板との間で2回も加圧も受け、かつ、ローラ表面
からは常に液の溶剤成分が揮発し続けている。従
つて、基板2に転写された薄膜形成液は不均一と
なつてしまう。
そこで、本件考案者は、新たな形成のロールコ
ータを案出した。このロールコータは、回転して
いる1本の塗布ローラの外周面に常に塗布液が付
着しているように構成し、基板を該塗布ローラの
外周面上に送り出して基板の下面側に塗布液を付
着させるものである。
ータを案出した。このロールコータは、回転して
いる1本の塗布ローラの外周面に常に塗布液が付
着しているように構成し、基板を該塗布ローラの
外周面上に送り出して基板の下面側に塗布液を付
着させるものである。
従つて、このロールコータでは、基板の下面側
は、液を塗布する前後に亘つて常に清潔に保たれ
なくてはならず、他の部材等と接触することは好
ましくない。
は、液を塗布する前後に亘つて常に清潔に保たれ
なくてはならず、他の部材等と接触することは好
ましくない。
ところが、従来の移送装置は、基板の下面に接
触して、該基板を支えて移送する構成とされてい
るため、前記新形式のロールコータに適用するこ
とができないという問題点があつた。
触して、該基板を支えて移送する構成とされてい
るため、前記新形式のロールコータに適用するこ
とができないという問題点があつた。
[考案の目的]
本考案は前記の問題点を解決するためになされ
たものであり、基板の下面側に塗布液を塗布する
形式のロールコータに使用することができる、ロ
ールコータの移送装置を提供することを目的とし
ている。
たものであり、基板の下面側に塗布液を塗布する
形式のロールコータに使用することができる、ロ
ールコータの移送装置を提供することを目的とし
ている。
[問題点を解決するための手段]
前記の目的を達成するため、本考案の移送装置
は、外周面に付着した塗布液を移送されてくる基
板の下面に塗布する塗布ローラと、前記塗布ロー
ラの前後に配設されて基板を移送する移送装置と
を有するロールコータにおいて、前記移送装置は
基板の両側端部にのみ接触して基板を移送する一
対のローラ部と、このローラ部の外側に、前記基
板を移送方向に案内する一対のガイド部をそれぞ
れ一体に設けて構成したガイドローラを具備する
ことを特徴としている。
は、外周面に付着した塗布液を移送されてくる基
板の下面に塗布する塗布ローラと、前記塗布ロー
ラの前後に配設されて基板を移送する移送装置と
を有するロールコータにおいて、前記移送装置は
基板の両側端部にのみ接触して基板を移送する一
対のローラ部と、このローラ部の外側に、前記基
板を移送方向に案内する一対のガイド部をそれぞ
れ一体に設けて構成したガイドローラを具備する
ことを特徴としている。
[作用]
第1の移送装置において、基板は、両側端部の
下面側を、一対のローラ部の外周面に接触させ
て、該ローラ部上に支持される。
下面側を、一対のローラ部の外周面に接触させ
て、該ローラ部上に支持される。
ガイドローラが回転すると、前記基板は、ガイ
ド部によつて両側端部をガイドローラの回転方向
に案内されながら移送され、塗布ローラに送り込
まれる。
ド部によつて両側端部をガイドローラの回転方向
に案内されながら移送され、塗布ローラに送り込
まれる。
塗布ローラによつて下面側に塗布液を塗布され
た基板は、第2の移送装置によつて、ロールコー
タの系外に移送されていく。
た基板は、第2の移送装置によつて、ロールコー
タの系外に移送されていく。
前記の場合において、基板の下面側は、両側端
部の下面側のごく狭い範囲がローラ部に接触して
いるだけであり、下面の大部分の面積は他の部材
には全く接触していない。従つて、移送中に基板
の下面側が汚損されることはない。
部の下面側のごく狭い範囲がローラ部に接触して
いるだけであり、下面の大部分の面積は他の部材
には全く接触していない。従つて、移送中に基板
の下面側が汚損されることはない。
[実施例]
以下、本考案の一実施例について説明する。
第1図は、一実施例の移送装置を示す正面図で
あり、第2図及び第3図は、該移送装置を有する
ロールコータの平面図及び断面図である。
あり、第2図及び第3図は、該移送装置を有する
ロールコータの平面図及び断面図である。
本実施例のロールコータ12は、蛍光表示管の
陽極基板となるガラス製の基板13に不安定な薄
膜形成液を塗付した後、これを焼成して薄膜を形
成する薄膜形成装置の一部に組込まれているもの
である。
陽極基板となるガラス製の基板13に不安定な薄
膜形成液を塗付した後、これを焼成して薄膜を形
成する薄膜形成装置の一部に組込まれているもの
である。
図示しないが、前記薄膜形成装置は、基板13
の洗浄装置と、洗浄された基板13を加熱して乾
燥させる乾燥装置と、加熱によつて温度の上昇し
た基板13を冷却する冷却装置と、基板13に薄
膜形成液を塗布するためのロールコータ12と、
液が塗布された基板13を焼成するための加熱装
置と、を具備している。
の洗浄装置と、洗浄された基板13を加熱して乾
燥させる乾燥装置と、加熱によつて温度の上昇し
た基板13を冷却する冷却装置と、基板13に薄
膜形成液を塗布するためのロールコータ12と、
液が塗布された基板13を焼成するための加熱装
置と、を具備している。
さて、図において14は、前記冷却装置の隣に
連続して配設されたロールコータ12の第1の移
送装置である。
連続して配設されたロールコータ12の第1の移
送装置である。
移送装置14のフレーム15には、複数の駆動
軸16が等間隔で回動自在に取付けられている。
フレーム15より外方の駆動軸16の一端部には
スプロケツト17がそれぞれ設けられており、こ
れらのスプロケツト17には一体のチエン18が
噛み合わされている。このチエン18は、図示し
ない駆動源に連動連結されており、各駆動軸16
は互いに同期して回転駆動されるように構成され
ている。
軸16が等間隔で回動自在に取付けられている。
フレーム15より外方の駆動軸16の一端部には
スプロケツト17がそれぞれ設けられており、こ
れらのスプロケツト17には一体のチエン18が
噛み合わされている。このチエン18は、図示し
ない駆動源に連動連結されており、各駆動軸16
は互いに同期して回転駆動されるように構成され
ている。
前記駆動軸16には、それぞれガイドローラ1
9が取付けられている。ガイドローラ19は、基
板13を移送する一対の円盤形のローラ部20,
20と、ローラ部20の外側にローラ部20と一
体に設けられた一対のガイド部21,21とによ
つて構成されている。ローラ部20の幅は、数mm
以下で狭い方が適しており基板13を有効に使用
できる。ガイド部21は、円錐台形状をしてお
り、小径端面21aが前記ローラ部20の外側の
端面に一体に固着されている。ガイド部21は、
基板13の側端部22下面に当接して、該基板1
3を移送方向に案内するものであり、本実施例で
は小径端面21aの径を前記ローラ部20の径よ
り大径に設定して、基板13の案内をより確実に
しているが、小径端面21aの径をローラ部20
の径と同一にしてもよい。また、本実施例では、
ガイド部21の形状を円錐台形とし、ガイド部2
1の外周面がテーパ面23となるようにしたが、
ガイド部21はローラ部20より大径の円盤形の
部材によつて構成してもよい。
9が取付けられている。ガイドローラ19は、基
板13を移送する一対の円盤形のローラ部20,
20と、ローラ部20の外側にローラ部20と一
体に設けられた一対のガイド部21,21とによ
つて構成されている。ローラ部20の幅は、数mm
以下で狭い方が適しており基板13を有効に使用
できる。ガイド部21は、円錐台形状をしてお
り、小径端面21aが前記ローラ部20の外側の
端面に一体に固着されている。ガイド部21は、
基板13の側端部22下面に当接して、該基板1
3を移送方向に案内するものであり、本実施例で
は小径端面21aの径を前記ローラ部20の径よ
り大径に設定して、基板13の案内をより確実に
しているが、小径端面21aの径をローラ部20
の径と同一にしてもよい。また、本実施例では、
ガイド部21の形状を円錐台形とし、ガイド部2
1の外周面がテーパ面23となるようにしたが、
ガイド部21はローラ部20より大径の円盤形の
部材によつて構成してもよい。
第1図に矢印Aで示すように、ガイドローラ1
9を構成している一方のローラ部20とガイド部
21は、駆動軸16の軸方向に自在にスライドさ
せて任意の位置で固定できるようになつており、
多様な寸法の基板13を移送できるように構成さ
れいる。
9を構成している一方のローラ部20とガイド部
21は、駆動軸16の軸方向に自在にスライドさ
せて任意の位置で固定できるようになつており、
多様な寸法の基板13を移送できるように構成さ
れいる。
また、移送装置14のフレーム15には、図示
しない高さ調節機構が設けられており、移送装置
14は、基板13の移送方向を水平状態に保ちな
がら、全体として上下方向に移送され、後述する
塗布ローラ25への基板13の送り込み位置を任
意に設定できるように構成されている。
しない高さ調節機構が設けられており、移送装置
14は、基板13の移送方向を水平状態に保ちな
がら、全体として上下方向に移送され、後述する
塗布ローラ25への基板13の送り込み位置を任
意に設定できるように構成されている。
次に、前記移送装置14の移送方向隣部には、
受け皿24と塗布ローラ25が設けられている。
受け皿24と塗布ローラ25が設けられている。
受皿24は、円筒を軸線方向に半分割した形状
をしており、基板13の移送方向と該軸線(長手
方向)とが直交する向きで、かつ、前記移送装置
14が基板13を移送してくる移送平面より下方
の位置に設けられている。図示しないが、受皿2
4には、駆動機構が取付けられており、清掃等の
際には、前記位置から下方へ移動できるようにな
つている。
をしており、基板13の移送方向と該軸線(長手
方向)とが直交する向きで、かつ、前記移送装置
14が基板13を移送してくる移送平面より下方
の位置に設けられている。図示しないが、受皿2
4には、駆動機構が取付けられており、清掃等の
際には、前記位置から下方へ移動できるようにな
つている。
また、受皿24の内部には、塗布液として薄膜
形成液26(以下、液26と略称する。)が溜め
られている。本実施例では、特に液26は、薄膜
形成成分を揮発性の有機溶剤に含有させた変質し
やすい液であつても問題はない。
形成液26(以下、液26と略称する。)が溜め
られている。本実施例では、特に液26は、薄膜
形成成分を揮発性の有機溶剤に含有させた変質し
やすい液であつても問題はない。
図示はしないが、受皿24の下部には、液26
の自動供給装置が供給管を介して接続されてお
り、受皿24内の液量が必要最小限の一定量に維
持されるように構成されている。また、受皿24
の開口部の両側縁には、液の揮発をおさえるため
に、つば状の覆い24aが内側に向けて設けられ
ている。
の自動供給装置が供給管を介して接続されてお
り、受皿24内の液量が必要最小限の一定量に維
持されるように構成されている。また、受皿24
の開口部の両側縁には、液の揮発をおさえるため
に、つば状の覆い24aが内側に向けて設けられ
ている。
塗布ローラ25は、前記受皿24の開口部から
一部分が内方に入りこむと共に、受皿24の周壁
内面からはやや離れた位置に配設されており、塗
布ローラ25の一部分は、常に受皿24の内部に
収納されている液26に浸されるようになつてい
る。そして、塗布ローラ25の外周面最上部の位
置は、前記移送装置14によつて移送されてくる
基板13の下面よりも、やや上方となるように構
成されている。
一部分が内方に入りこむと共に、受皿24の周壁
内面からはやや離れた位置に配設されており、塗
布ローラ25の一部分は、常に受皿24の内部に
収納されている液26に浸されるようになつてい
る。そして、塗布ローラ25の外周面最上部の位
置は、前記移送装置14によつて移送されてくる
基板13の下面よりも、やや上方となるように構
成されている。
また、塗布ローラ25は、駆動源27に連結さ
れ、作業順序に従つて自在に運転される構成とな
つている。
れ、作業順序に従つて自在に運転される構成とな
つている。
また、塗布ローラ25の材質は、本実施例では
寿命の長い金属製とされているが、セラミツクス
等を用いてもよく、液26に侵されない材質であ
れば樹脂等を使用してもよい。
寿命の長い金属製とされているが、セラミツクス
等を用いてもよく、液26に侵されない材質であ
れば樹脂等を使用してもよい。
次に、前記塗布ローラ25の上方には、押えロ
ーラ28が設けられている。押えローラ28は、
図示しない駆動手段によつて下方に移動させるこ
とができ、塗布ローラ25上を移送されていく基
板13の上面を自重によつて押え、基板13の浮
き上りを防止するように構成さている。
ーラ28が設けられている。押えローラ28は、
図示しない駆動手段によつて下方に移動させるこ
とができ、塗布ローラ25上を移送されていく基
板13の上面を自重によつて押え、基板13の浮
き上りを防止するように構成さている。
次に、前記塗布ローラ25の回転方向隣部に
は、基板13を塗布ローラ25上から搬出するた
めの第2の移送装置29が設けられている。
は、基板13を塗布ローラ25上から搬出するた
めの第2の移送装置29が設けられている。
第2の移送装置29は、前記第1の移送装置1
4と略同一の構成とされ、下面に液26の薄膜3
0が塗布された基板13を、両側端部22,22
のみを支えて案内・搬送できるように構成されて
いる。そして、前述したように、第2の移送装置
29の移送方向隣部には、加熱装置が連続して配
設されており、下面に液26が塗布された基板1
3は、移送装置29によつて加熱装置に送り込ま
れるように構成されている。
4と略同一の構成とされ、下面に液26の薄膜3
0が塗布された基板13を、両側端部22,22
のみを支えて案内・搬送できるように構成されて
いる。そして、前述したように、第2の移送装置
29の移送方向隣部には、加熱装置が連続して配
設されており、下面に液26が塗布された基板1
3は、移送装置29によつて加熱装置に送り込ま
れるように構成されている。
本実施例では、基板13に塗布する液26が不
安定で変質しやすい場合でも良質の薄膜が形成で
きるようにすると共に、薄膜形成作業には大気中
のちり等が障害になる場合が多いので、基板13
及び液26は、外気に直接さらされないようにす
ることが好ましい。例えば、ロールコータ12を
始め洗浄装置や乾燥装置等の基板13が移送され
る部分をカバー等で覆い、カバー内部の温度・湿
度等を自在に調節できるように構成すれば、外気
中の塵埃や水分を工程から排除して最適の環境条
件で一貫した薄膜形成作業を行なうことができ
る。
安定で変質しやすい場合でも良質の薄膜が形成で
きるようにすると共に、薄膜形成作業には大気中
のちり等が障害になる場合が多いので、基板13
及び液26は、外気に直接さらされないようにす
ることが好ましい。例えば、ロールコータ12を
始め洗浄装置や乾燥装置等の基板13が移送され
る部分をカバー等で覆い、カバー内部の温度・湿
度等を自在に調節できるように構成すれば、外気
中の塵埃や水分を工程から排除して最適の環境条
件で一貫した薄膜形成作業を行なうことができ
る。
次に、以上説明した構成における作用について
説明する。
説明する。
基板13は洗浄装置によつて洗浄された後、乾
燥装置によつて加熱され水分を除去される。加熱
によつて温度の上昇した基板13は、冷却装置に
よつて冷却されながら搬送され、ロールコータ1
2の第1の移送装置14に送り込まれる。
燥装置によつて加熱され水分を除去される。加熱
によつて温度の上昇した基板13は、冷却装置に
よつて冷却されながら搬送され、ロールコータ1
2の第1の移送装置14に送り込まれる。
送り込まれた基板13は、両側端部22,22
の下面側を一対のローラ部20,20の外周面に
接触させて、該ローラ部20上に支持される。そ
して、駆動源の駆動力がチエン18及びスプロケ
ツト17を介して各駆動軸16に伝達され、各ガ
イドローラ19が回転すると、前記基板13は、
ガイド部21の小径端面21aに両側端部22,
22の端面を当接させて、塗布ローラ25の方向
に案内・移送されていく。
の下面側を一対のローラ部20,20の外周面に
接触させて、該ローラ部20上に支持される。そ
して、駆動源の駆動力がチエン18及びスプロケ
ツト17を介して各駆動軸16に伝達され、各ガ
イドローラ19が回転すると、前記基板13は、
ガイド部21の小径端面21aに両側端部22,
22の端面を当接させて、塗布ローラ25の方向
に案内・移送されていく。
前記基板13の下面13bの内、両側端部2
2,22の下面側というごく狭い範囲だけがロー
ラ部20に接触しており、下面13bの大部分の
面積は他の部材には全く接触していない。従つ
て、洗浄装置によつて清潔になつた基板13の表
面が再び汚損されることはない。
2,22の下面側というごく狭い範囲だけがロー
ラ部20に接触しており、下面13bの大部分の
面積は他の部材には全く接触していない。従つ
て、洗浄装置によつて清潔になつた基板13の表
面が再び汚損されることはない。
また、基板13の移送中に、基板13が何らか
の原因でローラ部20から外れても、基板13の
側端部22は、前記テーパ面23をすべり、ロー
ラ部20の外周面上に容易に復帰することができ
る。
の原因でローラ部20から外れても、基板13の
側端部22は、前記テーパ面23をすべり、ロー
ラ部20の外周面上に容易に復帰することができ
る。
次に、前記基板13は、塗布ローラ25の外周
面上部よりもやや低い位置から、塗布ローラ25
に送り込まれてくる。該基板13は、塗布ローラ
25の外周面31に対し、先端部の下縁辺で接触
し、移送装置14の駆動力によつて、塗布ローラ
25との接触を保ちつつやや傾きながら塗布ロー
ラ25にのり上げていく。
面上部よりもやや低い位置から、塗布ローラ25
に送り込まれてくる。該基板13は、塗布ローラ
25の外周面31に対し、先端部の下縁辺で接触
し、移送装置14の駆動力によつて、塗布ローラ
25との接触を保ちつつやや傾きながら塗布ロー
ラ25にのり上げていく。
基板13が塗布ローラ25と接触した時点から
は、第3図に示すように、基板13は、移送装置
14のあるガイドローラ19と塗布ローラ25と
によつて、板の前後両端部のみで支えられるよう
になる。従つて、基板13が歪んでいたり、塗布
ローラ25の回転軸が水平に保たれていない場合
でも、基板13の先端部と塗布ローラ25とは確
実に接触することになる。また、基板13の後端
部は一つのガイドローラ19のみによつて支えら
れているので、移送装置14から基板13(及び
塗布ローラ25との接触部)に伝えられる振動は
最小限におさえられている。
は、第3図に示すように、基板13は、移送装置
14のあるガイドローラ19と塗布ローラ25と
によつて、板の前後両端部のみで支えられるよう
になる。従つて、基板13が歪んでいたり、塗布
ローラ25の回転軸が水平に保たれていない場合
でも、基板13の先端部と塗布ローラ25とは確
実に接触することになる。また、基板13の後端
部は一つのガイドローラ19のみによつて支えら
れているので、移送装置14から基板13(及び
塗布ローラ25との接触部)に伝えられる振動は
最小限におさえられている。
基板13の先端部が塗布ローラ25の最上部に
きたところで、移送装置14の運転は一時停止さ
れるが、塗布ローラ25は回転を続けている。受
け皿24に溜められた液26から上がつてくる塗
布ローラ25の外周面31には、常に液26が付
着しており、この付着した液26は、第2図及び
第3図に示すように、基板13との接触部で回転
方向前方にせき止められる。そして、塗布ローラ
25の回転につれて、前記接触部より前方(塗布
ローラ25の回転方向前方)の、基板13と塗布
ローラ25との隙間には、毛管現象によつて液2
6の溜り32が生じてくる。
きたところで、移送装置14の運転は一時停止さ
れるが、塗布ローラ25は回転を続けている。受
け皿24に溜められた液26から上がつてくる塗
布ローラ25の外周面31には、常に液26が付
着しており、この付着した液26は、第2図及び
第3図に示すように、基板13との接触部で回転
方向前方にせき止められる。そして、塗布ローラ
25の回転につれて、前記接触部より前方(塗布
ローラ25の回転方向前方)の、基板13と塗布
ローラ25との隙間には、毛管現象によつて液2
6の溜り32が生じてくる。
また、基板13が何らかの原因で塗布ローラ2
5から離れて浮き上つてしまうと。基板13と塗
布ローラ25との間には隙間ができてしまうの
で、溜り32は一定の形状をとれなくなり不安定
になつてしまうが、前述したように、本実施例に
おいては、基板13と塗布ローラ25との接触が
確保されていることや、基板13及び塗布ローラ
25との接触部に伝えられる振動が少いこと等の
ため、塗布ローラ25の回転につれて、溜り32
は円滑かつ安定的に成長し、基板13の移送方向
についての幅が一定な規則的形状となるもので
あ。
5から離れて浮き上つてしまうと。基板13と塗
布ローラ25との間には隙間ができてしまうの
で、溜り32は一定の形状をとれなくなり不安定
になつてしまうが、前述したように、本実施例に
おいては、基板13と塗布ローラ25との接触が
確保されていることや、基板13及び塗布ローラ
25との接触部に伝えられる振動が少いこと等の
ため、塗布ローラ25の回転につれて、溜り32
は円滑かつ安定的に成長し、基板13の移送方向
についての幅が一定な規則的形状となるもので
あ。
さて、前記溜り32の液量が所定量に達したと
ころで、押えローラ28が下方に移動して基板1
3の上面13aに接し、自重によつて基板13の
歪等による浮き上りを防止する。そして、移送装
置14は再び基板13を移送しはじめる。基板1
3の下面13bは、前記液26の溜り32に触れ
て液26が付着するが、付着した液26の一部
は、基板13と塗布ローラ25との接触部におい
て、塗布ローラ25の回転方向と逆方向に押し返
されるので、基板13の下面には液26が均一に
塗布されていくことになる。
ころで、押えローラ28が下方に移動して基板1
3の上面13aに接し、自重によつて基板13の
歪等による浮き上りを防止する。そして、移送装
置14は再び基板13を移送しはじめる。基板1
3の下面13bは、前記液26の溜り32に触れ
て液26が付着するが、付着した液26の一部
は、基板13と塗布ローラ25との接触部におい
て、塗布ローラ25の回転方向と逆方向に押し返
されるので、基板13の下面には液26が均一に
塗布されていくことになる。
次に、前記基板13は、第2の移送装置29に
よつて前方に送られ、塗布ローラ25から取出さ
れる。第2の移送装置29は、基板13の両側端
部22,22の下面にのみ接触しているが、この
部分は、基板13から蛍光表示管の陽極基板を多
数個取りする際の取り代となる部分であり、元々
薄膜30を形成する必要のない部分である。そし
て、これ以外の下面13bには、ローラ部20は
接触していないので、液26が塗布されたばかり
の基板13の下面13bが汚損するおそれはな
い。また、本実施例の液26は揮発成分を含んで
いるので、移送装置29によつて次工程へ運ばれ
ていく間に、基板13に塗布された液26はある
程度乾燥することになる。
よつて前方に送られ、塗布ローラ25から取出さ
れる。第2の移送装置29は、基板13の両側端
部22,22の下面にのみ接触しているが、この
部分は、基板13から蛍光表示管の陽極基板を多
数個取りする際の取り代となる部分であり、元々
薄膜30を形成する必要のない部分である。そし
て、これ以外の下面13bには、ローラ部20は
接触していないので、液26が塗布されたばかり
の基板13の下面13bが汚損するおそれはな
い。また、本実施例の液26は揮発成分を含んで
いるので、移送装置29によつて次工程へ運ばれ
ていく間に、基板13に塗布された液26はある
程度乾燥することになる。
次に、前記基板13は、第2の移送装置29に
よつて加熱装置に送り込まれる。そして、基板1
3の下面13bに付着している液26は加熱・乾
燥され、均一な薄膜が形成されていく。
よつて加熱装置に送り込まれる。そして、基板1
3の下面13bに付着している液26は加熱・乾
燥され、均一な薄膜が形成されていく。
また、以上の実施例では、塗布液として変質し
やすい薄膜形成液を例にあげたが、この他安定し
た薄膜形成液はもちろん、各種の液体についても
本考案の移送装置を備えたロールコータを使用で
きることは言うまでもない。
やすい薄膜形成液を例にあげたが、この他安定し
た薄膜形成液はもちろん、各種の液体についても
本考案の移送装置を備えたロールコータを使用で
きることは言うまでもない。
また、本実施例では、各ガイドローラ19は各
1本の駆動軸16に取付けたが、各ローラ部20
及びガイド部21ごとに駆動軸を設けて、各ロー
ラ部20及びガイド部21ごとに、それぞれ独立
して回転駆動されるように構成してもよい。
1本の駆動軸16に取付けたが、各ローラ部20
及びガイド部21ごとに駆動軸を設けて、各ロー
ラ部20及びガイド部21ごとに、それぞれ独立
して回転駆動されるように構成してもよい。
[考案の効果]
以上説明したように、本考案に係るロールコー
タの移送装置は、ガイドローラによつて基板の両
側端部のみを支持し、該基板を案内・移送するよ
うに構成したので、基板の下面側に塗布液を塗布
する形式のロールコータにおいて、基板の下面側
をほとんど汚損することなく、該基板を移送する
ことができるという効果がある。
タの移送装置は、ガイドローラによつて基板の両
側端部のみを支持し、該基板を案内・移送するよ
うに構成したので、基板の下面側に塗布液を塗布
する形式のロールコータにおいて、基板の下面側
をほとんど汚損することなく、該基板を移送する
ことができるという効果がある。
第1図は、本考案の一実施例である移送装置の
正面図、第2図は、実施例の移送装置を有するロ
ールコータの平面図、第3図は、第2図における
−線断面図、第4図は、従来の移送装置の一
例であるロール式移送装置の斜視図、第5図は、
従来の移送装置の一例であるコンベア式移送装置
の斜視図、第6図は、従来のロールコータの一構
成例を示す側面図である。 12……ロールコータ、13……基板、13b
……基板の下面、14……第1の移送装置、19
……ガイドローラ、20……ローラ部、21……
ガイド部、22……基板の側端部、25……塗布
ローラ、26……塗布液としての薄膜形成液
(液)、29……第2の移送装置、31……塗布ロ
ーラ25の外周面。
正面図、第2図は、実施例の移送装置を有するロ
ールコータの平面図、第3図は、第2図における
−線断面図、第4図は、従来の移送装置の一
例であるロール式移送装置の斜視図、第5図は、
従来の移送装置の一例であるコンベア式移送装置
の斜視図、第6図は、従来のロールコータの一構
成例を示す側面図である。 12……ロールコータ、13……基板、13b
……基板の下面、14……第1の移送装置、19
……ガイドローラ、20……ローラ部、21……
ガイド部、22……基板の側端部、25……塗布
ローラ、26……塗布液としての薄膜形成液
(液)、29……第2の移送装置、31……塗布ロ
ーラ25の外周面。
Claims (1)
- 外周面に付着した塗布液を移送されてくる基板
の下面に塗布する塗布ローラと、前記塗布ローラ
の前後に配設されて基板を移送する移送装置とを
有するロールコータにおいて、前記移送装置は基
板の両側端部にのみ接触して基板を移送する一対
のローラ部と、このローラ部の外側に、前記基板
を移送方向に案内する一対のガイド部をそれぞれ
一体に設けて構成したガイドローラを具備するこ
とを特徴とするロールコータの移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985091584U JPS6236541Y2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985091584U JPS6236541Y2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621780U JPS621780U (ja) | 1987-01-08 |
| JPS6236541Y2 true JPS6236541Y2 (ja) | 1987-09-17 |
Family
ID=30647604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985091584U Expired JPS6236541Y2 (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236541Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5063028B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2012-10-31 | 富士フイルム株式会社 | 塗布方法及び装置並びに塗布ライン用ローラ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5224505A (en) * | 1975-08-19 | 1977-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Tape guide |
| JPS5954563U (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-10 | 株式会社東芝 | 現像およびエツチング装置 |
| JPS60103352A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | フオトレジスト形成用積層板製造装置 |
-
1985
- 1985-06-19 JP JP1985091584U patent/JPS6236541Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS621780U (ja) | 1987-01-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0810686B2 (ja) | 半導体基板エッチング処理装置 | |
| JP3114692B2 (ja) | 被処理物取扱方法及び被処理物取扱装置 | |
| JPS6236541Y2 (ja) | ||
| JP4443393B2 (ja) | 塗布装置、塗布方法および被膜形成装置 | |
| JPS6310837Y2 (ja) | ||
| CN211509444U (zh) | 印刷电路板匀液处理装置 | |
| JP2760189B2 (ja) | チップ部品の電極形成装置 | |
| CN112251754B (zh) | 印刷电路板的处理方法 | |
| JPS638439Y2 (ja) | ||
| JP2004043119A (ja) | 基板用コンベア | |
| JP2000286320A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2004298775A (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
| KR102201410B1 (ko) | 세정롤러 표면에 붙어있는 이물질 자동 세정 장치 | |
| JP7258913B2 (ja) | プリント回路基板の液体均一化処理装置 | |
| JPH0538476A (ja) | ワツクス塗布方法およびその塗布装置 | |
| JP2006245125A (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
| JPH08236415A (ja) | ロールコータ | |
| JPH0510985B2 (ja) | ||
| JP2562815Y2 (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2003010749A (ja) | 塗布乾燥システム | |
| KR102936727B1 (ko) | 초박형 유리 기판의 기판 세정 장치 및 이에 사용되는 기판 캐리어 | |
| JP2557289B2 (ja) | ロールコータ | |
| JPH05337431A (ja) | ロールコータによる基板表面への塗液塗布方法 | |
| JP3859370B2 (ja) | 塗布装置 | |
| JPH075895Y2 (ja) | ロールコータ |