JPH075895Y2 - ロールコータ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、長尺帯状体を搬送移動させながら、その表
面にフォトレジスト等の塗布液を連続的に塗布するロー
ルコータに関し、このロールコータは、例えば、フォト
エッチング法による集積回路用リードフレームの製造工
程において、担体ベースフィルムに金属箔を積層した長
尺帯状体の金属箔表面にフォトレジストを塗布する場合
などに使用されるものである。

〔従来の技術〕

長尺帯状体の表面にフォトレジスト等の塗布液を連続し
て塗布する装置としては、例えば特公昭54−10283号公
報に開示されているようなロールコータがある。同号公
報に開示されたロールコータは、第４図に概略側面図を
示すように、回転自在に支持されたバックアップローラ
２の外周面に被塗布帯状体１を巻回して搬送移動させな
がら、その被塗布帯状体１の巻回部位の表面にバックア
ップローラ２の反対側からコーティングローラ３の外周
面を当接させ、そのコーティングローラ３の外周面に、
液溜槽４に貯溜された塗布液、例えば粘度が数十〜数百
cP程度のレジスト液５を回転自在のピックアップローラ
６を介して供給することにより、コーティングローラ３
の回転動作に伴ってその外周面から被塗布帯状体１の被
塗布材、例えば銅箔の表面に塗布液を連続的に転写して
塗布する構成となっている。

そして、コーティングローラ３の外周面の幅は、被塗布
帯状体１の被塗布材、例えば銅箔の幅とほぼ等しくさ
れ、また、コーティングローラ３の外周面はゴム材によ
って形成され、その表面には全幅にわたり溝加工が施さ
れていて、その溝内に所要量のレジスト液を保持するよ
うになっており、外周面の溝内に所要量のレジスト液を
保持した状態のコーティングローラ３を所定の回転数で
正転もしくは逆転させながら被塗布帯状体１の銅箔表面
に転接させることにより、被塗布帯状体１の銅箔表面に
所望の厚みで均一にレジスト液を塗布してゆき、それを
乾燥させることにより銅箔表面にレジスト膜が被着形成
される。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記したように、従来のロールコータにおいては、コー
ティングローラ３の外周面の幅が被塗布材の幅とほぼ等
しくされ、また、コーティングローラ３の外周面にはそ
の幅全体にわたって一定幅の溝が形成されている。この
ようなコーティングローラ３の外周面全体に、そのコー
ティングローラ３の外周面の幅より大きい幅の外周面を
有するピックアップローラ６によってレジスト液５を供
給した場合、コーティングローラ３の外周面には、第５
−１図に正面断面図を示したように、その両端部分にレ
ジスト液溜り９ができる。このように両端部分にレジス
ト液溜り９ができたコーティングローラ３によって被塗
布材にレジスト液５を塗布すると、第５−２図に縦断面
図を示したように、被塗布材、すなわち被塗布帯状体１
の担体ベースフィルム７に積層された銅箔８の表面に塗
布されたレジスト液５の膜に、その両端部分において中
央部に比べレジスト液が盛り上がった部分９′ができ、
銅箔８の表面に形成されるレジスト膜が部分的に厚くな
ってしまう。このため、続いて露光・現像処理を行なっ
たとき、銅箔上の不要な部分にレジストが残り、それを
エッチングしたときに不良が発生して、目的とするリー
ドフレーム等の良質な製品が得られない、といった問題
点があった。

この考案は、従来のロールコータにおける上記問題点を
解決するためになされたものであり、コーティングロー
ラの外周面の両端部分にレジスト液溜りなどができない
ようにすることを技術的課題とし、もって被塗布帯状体
の被塗布面に均一な厚みの塗布膜を形成できるようにし
ようとするものである。

〔課題を解決するための手段〕

この考案は、上記課題を達成するための手段として、回
転自在に支持され、外周面に被塗布帯状体が巻回される
バックアップローラと、このバックアップローラと平行
に配設されて回転自在に支持され、外周面を、バックア
ップローラに巻回され支持された被塗布帯状体の表面に
バックアップローラの反対側から当接させるコーティン
グローラと、このコーティングローラと平行に配設され
て回転自在に支持され、外周面をコーティングローラの
外周面に当接させるピックアップローラと、このピック
アップローラの外周面に塗布液を供給する塗布液供給手
段とからなるロールコータにおいて、前記コーティング
ローラの外周面の幅を前記ピックアップローラの外周面
の幅より大きくして、コーティングローラの外周面の両
端がピックアップローラの外周面の両端よりそれぞれ外
側に位置するようにそれら両ローラを配置するようにし
た。そして、従来のようにコーティングローラの外周面
に、塗布液を保持するための溝状もしくは孔状の凹部を
形成する場合においては、その両端縁には凹部を形成し
ないようにし、又はその外周面の中央部に形成される凹
部に比べて外周面上の単位面積当りの容積が小さい凹部
を形成するようにし、或いは、従来とは異なりコーティ
ングローラの外周面には凹部を形成しないでその外周面
を平滑面とし、ピックアップローラの外周面に溝状もし
くは孔状の凹部を多数形成するようにした。

〔作用〕

上記構成のロールコータにおいては、コーティングロー
ラの外周面に凹部を形成する場合、その両端縁の一定範
囲には凹部を形成しないようにされ、或いは両端縁に凹
部を形成するときでも、例えば中央部に形成される溝の
幅に比べ両端縁に形成される溝の幅を狭くするなどして
中央部に形成される凹部に比べ両端縁に形成される凹部
の単位面積当りの容積が小さくなるようにされるととも
に、コーティングローラの外周面の両端がピックアップ
ローラの外周面の両端よりそれぞれ外側に位置するよう
にされているので、ピックアップローラからコーティン
グローラの外周面に供給されて付着する塗布液の量は、
中央部に比べて両端縁が少なくなる。このため、コーテ
ィングローラの外周面の両端縁部分にレジスト液溜りな
どができたりすることがなくなり、コーティングローラ
から被塗布帯状体の被塗布面に塗布液を転写したとき、
塗布液が両端部分において盛り上がり、塗布膜が部分的
に厚くなったりすることがない。

また、コーティングローラの外周面を平滑面として、そ
の代わりにピックアップローラの外周面に凹部を形成
し、コーティングローラの外周面の両端がピックアップ
ローラの外周面の両端よりそれぞれ外側に位置するよう
にしたときも、ピックアップローラからコーティングロ
ーラの外周面に供給されて付着する塗布液の量が、中央
部に比べ両端縁において少なくなり、上記と同様、被塗
布帯状体の被塗布面に塗布された塗布液が部分的に厚く
なったりすることがない。

〔実施例」 以下、この考案の好適な実施例について第１図ないし第
３図を参照しながら説明する。

第１図は、この考案の１実施例に係るロールコータの要
部を示す斜視図である。このロールコータは、装置固定
部に回転自在に支持されたバックアップローラ10、この
バックアップローラ10と回転支軸同士が互いに平行に配
設され、回転支軸を介して装置固定部に回転自在に支持
されたコーティングローラ12、このコーティングローラ
12と回転支軸同士が互いに平行に配設され、回転支軸を
介して装置固定部に回転自在に支持されて、外周面をコ
ーティングローラ12の外周面に当接させるピックアップ
ローラ14、並びに塗布液、例えばレジスト液18が貯溜さ
れた液溜槽16により構成されている。液溜槽16に貯溜さ
れたレジスト液18には、ピックアップローラ14の外周面
の一部が浸漬しており、そのピックアップローラ14の外
周面を介して液溜槽16内のレジスト液18がコーティング
ローラ12の外周面に供給されるようになっている。尚、
ピックアップローラは、第４図に示したロールコータの
ように、複数個配設するようにしてもよい。

バックアップローラ10の外周面には、被塗布帯状体20が
巻回され、被塗布帯状体20は、図示しない搬送ローラに
よって矢印方向に搬送されるようになっている。この被
塗布帯状体20は、例えば幅が35mm程度の長尺帯状をなす
プラスチックフィルムの両側縁部に送り用孔24がそれぞ
れ１列に形設された担体ベース22の片面側に、銅等の金
属箔26を積層し接着して形成されている。また、コーテ
ィングローラ12は、その外周面を被塗布帯状体20の金属
箔26の表面に当接させている。

そして、コーティングローラ12の外周面には、塗布液を
保持するための溝28が円周方向に多数本形成されてい
る。この場合、溝28は、コーティングローラ12の外周面
のうち、中央の所定幅の区域内に一定幅で形成されてい
て、外周面の両端部の一定範囲内には溝が形成されてい
ない。例えば、コーティングローラ12の外周面の全幅寸
法を26mmとした場合に、中央の22mmの幅寸法の区域内に
溝28を形成し、外周面の両端部のそれぞれ2mmの幅寸法
の範囲内は、溝を形成せずに平滑面とする。そして、コ
ーティングローラ12の外周面の幅はピックアップローラ
14の外周面の幅より大きくされている。この実施例で
は、ピックアップローラ14の外周面は、コーティングロ
ーラ12の外周面の、溝28が形成された区域の幅に相当す
る幅寸法（もしくはその幅より僅かに大きい幅寸法）に
形成されており、コーティングローラ12の外周面の、溝
が形成されていない両端縁部分がピックアップローラ14
の両端位置よりそれぞれ外側に食み出るように配置され
ている。

尚、第１図に示したロールコータでは、コーティングロ
ーラ12の外周面の両端縁は、溝を形成せずに平滑面とし
ているが、その外周面の両端縁にも溝を形成するように
してもよい。その場合には、両端縁に形成される溝は、
中央部に形成される溝に比べ、幅を狭くしたり、深さを
浅くしたり、或いは溝と溝との間隔を大きくしたりし
て、外周面上の単位面積当りに溝の占める容積が小さく
なるように刻設する必要がある。また、コーティングロ
ーラ12の外周面に形成される溝28は、螺旋状に連続して
刻設するようにしてもよいし、また、コーティングロー
ラの外周面に軸線と平行な多数本の溝を形成するように
してもよい。さらにまた、溝を形成する代わりに、コー
ティングローラの外周面に多数個の小孔を分散して穿設
するようにしてもよい。

上記したロールコータを使用して、搬送移動する被塗布
帯状体20の金属箔26の表面にレジスト液18を塗布すると
きは、ピックアップローラ14からコーティングローラ12
の外周面に供給されて付着するレジスト液18の量が、中
央部に比べて両端縁で少なくなるため、コーティングロ
ーラ12の外周面の両端縁部分にレジスト液溜りなどがで
きたりすることがなく、コーティングローラ12から被塗
布帯状体20の金属箔26の表面に転写されたレジスト液18
の厚みは、金属箔26の幅方向全体にわたって均一にな
る。

次に、第２図に示したロールコータは、コーティングロ
ーラ32の外周面に溝を形成せずにその外周面を平滑面と
し、他方、ピックアップローラ34の外周面に、その幅全
体にわたって一定は幅の溝38を多数形成した例であり、
それ以外の構成については、第１図に示したものと同じ
である。そして、このロールコータにおいても、コーテ
ィングローラ32の外周面の幅がピックアップローラ34の
外周面の幅より大きくなるように形成されており、コー
ティングローラ32の外周面の両端縁部分がピックアップ
ローラ34の外周面の両端位置よりそれぞれ側に食み出る
ように配置されている。このロールコータを使用してレ
ジスト液18の塗布を行なうときも、ピックアップローラ
34からコーティングローラ32の外周面に供給されて付着
するレジスト液18の量は、中央部に比べて両端縁におい
て少なくなり、コーティングローラ12から被塗布帯状体
20の金属箔26の表面に転写されたレジスト液18の厚み
は、金属箔26の幅方向全体にわたって均一になる。

また、第３図に示したロールコータは、上記したロール
コータのように液溜槽16に貯溜されたレジスト液18にピ
ックアップローラ14の外周面の一部を浸漬させてそのピ
ックアップローラ14の外周面を介し液溜槽16内のレジス
ト液18をコーティングローラ12の外周面に供給する代わ
りに、コーティングローラ12とピックアップローラ14と
の当接部の上方位置にレジスト液供給ノズル40の供給口
を配置し、ピックアップローラ14の下方にレジスト液の
受け皿36を配設して、ノズル40によりレジスト液を供給
するようにした例である。それ以外の構成については、
第１図に示したロールコータと同じであり、またその作
用も同様である。

〔考案の効果〕

この考案は以上説明したように構成されかつ作用するの
で、この考案に係るロールコータを用いて搬送移動する
長尺帯状体の表面にフォトレジスト等の塗布液を連続的
に塗布するときは、帯状体の被塗布面の幅方向全体にわ
たって均一な厚みの塗布膜を形成することができ、続い
て行なわれる露光・現像、エッチングの各工程を経て得
られるリードフレーム等の製品の品質を高く維持するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の１実施例に係るロールコータの要
部を示す斜視図、第２図及び第３図はそれぞれ、別の構
成例を示すロールコータの要部斜視図、第４図は、従来
のロールコータの概略側面図、第５−１図及び第５−２
図はそれぞれ、従来のロールコータにおける問題点を説
明するための図である。 10…バックアップローラ、12、32…コーティングロー
ラ、14、34…ピックアップローラ、16…液溜槽、18…レ
ジスト液、20…被塗布帯状体、26…金属箔、28…コーテ
ィングローラ外周面の溝（凹部）、38…ピックアップロ
ーラ外周面の溝（凹部）、40…レジスト液供給ノズル。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】回転自在に支持され、外周面に被塗布帯状
   体が巻回されるバックアップローラと、このバックアッ
   プローラと平行に配設されて回転自在に支持され、外周
   面に、塗布液を保持するための溝状もしくは孔状の凹部
   が多数形成され、その外周面を、バックアップローラに
   巻回され支持された被塗布帯状体の表面にバックアップ
   ローラの反対側から当接させるコーティングローラと、
   このコーティングローラと平行に配設されて回転自在に
   支持され、外周面をコーティングローラの外周面に当接
   させるピックアップローラと、このピックアップローラ
   の外周面に塗布液を供給する塗布液供給手段とからなる
   ロールコータにおいて、前記コーティングローラの外周
   面の幅を前記ピックアップローラの外周面の幅より大き
   くして、コーティングローラの外周面の両端がピックア
   ップローラの外周面の両端よりそれぞれ外側に位置する
   ようにそれら両ローラを配置するとともに、前記コーテ
   ィングローラの外周面の両端縁には凹部を形成しないよ
   うにし、又はその外周面の中央部に形成される凹部に比
   べて外周面上の単位面積当りの容積が小さい凹部を形成
   するようにしたことを特徴とするロールコータ。
2. 【請求項２】回転自在に支持され、外周面に被塗布帯状
   体が巻回されるバックアップローラと、このバックアッ
   プローラと平行に配設されて回転自在に支持され、外周
   面を、バックアップローラに巻回され支持された被塗布
   帯状体の表面にバックアップローラの反対側から当接さ
   せるコーティングローラと、このコーティングローラと
   平行に配設されて回転自在に支持され、外周面をコーテ
   ィングローラの外周面に当接させるピックアップローラ
   と、このピックアップローラの外周面に塗布液を供給す
   る塗布液供給手段とからなるロールコータにおいて、前
   記コーティングローラの外周面を平滑面とし、かつ前記
   ピックアップローラの外周面に溝状もしくは孔状の凹部
   を多数形成するとともに、前記コーティングローラの外
   周面の幅を前記ピックアップローラの外周面の幅より大
   きくして、コーティングローラの外周面の両端がピック
   アップローラの外周面の両端よりそれぞれ外側に位置す
   るようにそれら両ローラを配置したことを特徴とするロ
   ールコータ。