JPS6236601Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (1) 考案の技術分野 本考案は、平面又は球面研摩に用いられる揺動
式研摩機のカンザシに関し、特にワークの研摩時
にワークホルダの上面のピボツト部を押圧する接
触子をそれより上方部分の固定軸部に対して回転
可能とした揺動研摩機のカンザシに関する。

(2) 従来技術と問題点 従来の揺動式研摩機のカンザシ１は、第１図に
示すように、回転運動するラツプ定盤２の上方の
一側方から該ラツプ定盤２の中心部に向けて延び
た揺動アーム３の先端部に固定用ネジ４で下向き
に固定されていた。そして上記カンザシ１の下端
部には、上記ラツプ定盤２の上面に載置されたワ
ーク５を保持するワークホルダ６の上面に設けら
れた凹皿状のピボツト部７を押圧する球状先端８
を有する接触子９が形成されていた。このような
揺動式研摩機でワーク５を研摩するには、上記ラ
ツプ定盤２の上面にワーク５を載置し、このワー
ク５の上面にワークホルダ６をセツトし、このワ
ークホルダ６のピボツト部７にカンザシ１の接触
子９を押圧した後、上記ラツプ定盤２を例えば矢
印Ａ方向に回転して上記揺動アーム３を矢印Ｂ，
Ｃ方向に揺動させて行う。このとき、上記ワーク
５はラツプ定盤２の矢印Ａ方向の回転に伴つて自
転運動をし、その上面のワークホルダ６も矢印
A′方向に自転運動をする。したがつて、上記接
触子９の球状先端８と上記回転するワークホルダ
６のピボツト部７との間には摩擦力が働くことと
なる。しかし、この摩擦力は、ワークホルダ６及
びワーク５の回転を阻止する方向に働くもので、
上記球状先端８のピボツト部７への押圧力及びそ
の接触部分の摩擦係数等の変化によりワーク５の
ラツプ定盤２に対する回転速度を不安定とするも
のであつた。このようにワーク５がラツプ定盤２
に対して不安定な回転速度で回転することによ
り、該ワーク５の研摩速度が部分的に差を生ずる
こととなり、その研摩面の平面度又は球面度が悪
化することがあつた。

(3) 考案の目的 本考案は上記の問題点を解消するためになされ
たもので、ワークの研摩時にワークホルダの上面
のピボツト部を押圧する接触子をそれより上方部
分の固定軸部に対して回転可能としワークの研摩
速度を均一化することができる揺動式研摩機のカ
ンザシを提供することを目的とする。

(4) 考案の構成と作用 カンザシとワークワルダとの摩擦を減少するた
めに、本考案は球状先端と、アームによる支持さ
れる支持部との間に回転連結部を設け、この回転
結合部はカンザシのアームに支持された固定軸部
に対して、球状先端が同じ軸上で回転可能に連結
する機能を有する。

したがつて、カンザシはワークホルダ即ちワー
クを所定の位置に保持するとともに、カンザシと
ワークホルダ間の摩擦を減少することができ、ワ
ークの回転速度を安定にすることができる。

(5) 考案の実施例 以下、本考案の実施例を添付図面に基いて詳細
に説明する。

第２図は本考案によるカンザシ１１を揺動式研
摩機の揺動アーム３に取り付けた状態を示す斜視
図である。上記揺動アーム３は回転運動するラツ
プ定盤２の上方の一側方から該ラツプ定盤２の中
心部に向けて延びており、適宜の駆動源により上
記ラツプ定盤２の上面に対して略平行な面内で矢
印Ｂ，Ｃ方向に揺動可能とされている。そして、
上記揺動アーム３の先端部には、カンザシ１１が
固定用ネジ４で下向きに固定されている。このカ
ンザシ１１は、上記ラツプ定盤２でガラス板、水
晶基板及びIC（集積回路）のウエハ等のワーク
５を研摩するときに、該ワーク５をラツプ定盤２
の上面に保持するワークホルダ６を押圧するもの
である。

ここで、本考案においては、上記カンザシ１１
は、その下端部の接触子１２が上部の固定軸部１
３と切り離され、該固定軸部１３に対して同一軸
線上でその軸まわりに回転可能に連結されてい
る。すなわち、第３図に示すように、固定軸部１
３と接触子１２とを回転結合部１４で連結してい
る。この回転結合部１４は、上部ハウジング１５
と下部ハウジング１６とを組み合わせてなり、上
部ハウジング１５は固定軸部１３の下端部に溶接
又はネジ止め等されており、この上部ハウジング
１５に対してネジ止めされた下部ハウジング１６
の内部にはベアリング１７が介装されており、こ
のベアリング１７の中心孔部に上記接触子１２が
回転可能に嵌着されている。その取り付け方は、
上記接触子１２の中間部に設けられた円周方向の
突条１８を上記ベアリング１７の下面につき当
て、該ベアリング１７の上面に突出した上端部に
形成されたネジ溝にナツト１９を螺合してとめて
いる。

このような揺動式研摩機でワーク５を研摩する
には、ラツプ定盤２の上面にワーク５を載置し、
このワーク５の上面にワークホルダ６をセツト
し、このワークホルダ６の凹皿状のピボツト部７
にカンザシ１１の先端部の回転可能の接触子１２
を押圧した後、上記ラツプ定盤２を例えば矢印Ａ
方向に回転して揺動アーム３を矢印Ｂ，Ｃ方向に
揺動させればよい。このとき、上記ワーク５はラ
ツプ定盤２の矢印Ａ方向の回転に伴つて自転運動
をし、その上面のワークホルダ６も矢印A′方向
に自転運動をする。ここで、上記接触子１２の球
状先端２０と上記回転するワークホルダ６のピボ
ツト部７との間には摩擦力が働くこととなるが、
上記接触子１２は回転結合部１４によつてその軸
まわりに回転可能となつているので、上記摩擦力
によつて接触子１２自身も矢印A″方向に回転す
ることとなる。したがつて上記摩擦力は上記接触
子１２の回転運動として吸収され、何らワークホ
ルダ６及びワーク５の回転を阻止することはな
い。このことによりワーク５のラツプ定盤２に対
する回転速度を安定化することができる。なお、
使用時間の経過により回転結合部１４内のベアリ
ング１７が不良となつたときは、下部ハウジング
１６を取り外すことにより上記ベアリング１７を
良品と交換することができる。なお、第３図にお
いては、回転結合部１４を上部ハウジング１５と
下部ハウジング１６とを組み合わせたものとして
示したが、本考案はこれに限られず、接触子１２
が固定軸部１３に対して回転可能であるならば上
下一体物として形成してもよいし、その内部構造
も図示以外のものでもよい。また、使用時間の経
過によりラツプ定盤２自身の平面度が悪化したと
きに、ワーク５の代わりにラツプ皿（砥石からな
る）を載置して上記ラツプ定盤２を研摩する場合
にも本考案は適用できる。

(6) 考案の効果 本考案は以上のように構成されたので、ワーク
ホルダ６の自転運動を伴つてカンザシ１１下端部
の接触子１２が回転するようにしたことにより、
ワークホルダ６及びワーク５の回転を阻止する力
は働かなくなりワーク５のラツプ定盤２に対する
回転速度を安定化することができる。したがつ
て、ワーク５の研摩速度を均一化することがで
き、その研摩面の平面度又は球面度を向上するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の揺動式研摩機のカンザシを示す
斜視図、第２図は本考案による揺動式研摩機のカ
ンザシを示す斜視図、第３図は固定軸部と接触子
との連結部分を示す断面図である。 ２……ラツプ定盤、３……揺動アーム、４……
固定用ネジ、５……ワーク、６……ワークホル
ダ、７……ピボツト部、１１……カンザシ、１２
……接触子、１３……固定軸部、１４……回転結
合部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 回転されるラツプ定盤２と、 該ラツプ定盤２上のワークを保持するワークホ
   ルダ６と、 上記ラツプ定盤２の回転中心に向けて延びるア
   ーム３と、 該アーム３に支持されたカンザシ１とよりな
   り、 上記カンザシ１の先端は球状に形成され、該球
   状先端２０が、上記ワークホルダ６の上面に形成
   されたピボツト部７に当接する揺動式研磨機のカ
   ンザシであつて、 上記カンザシ１は、球状先端２０と上記アーム
   ３による支持部との間に回転結合部１４を備え、 該回転結合部１４はアーム３に支持される固定
   軸部１３に対して、上記球状先端２０が同一の軸
   上で回転可能に連結したことを特徴とする揺動式
   研摩機のカンザシ。