JPS6236603A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
- Publication number
- JPS6236603A JPS6236603A JP60177153A JP17715385A JPS6236603A JP S6236603 A JPS6236603 A JP S6236603A JP 60177153 A JP60177153 A JP 60177153A JP 17715385 A JP17715385 A JP 17715385A JP S6236603 A JPS6236603 A JP S6236603A
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- Japan
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- refractive index
- antireflection film
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学レンズなどの光学要素の表面に設けられ
その透過率を向上させるための反射防止膜に関するもの
である。
その透過率を向上させるための反射防止膜に関するもの
である。
従来の技術
近年、スチルカメラ、ビデオカメラの分野において、撮
影レンズの自動焦点検出装置が各種提案されている。特
に、ビデオカメラに応用される自動焦点検出装置として
有力な方式のひとつに、撮影すべき被写体（以下、被写
体と略称する）に測距用信号として近赤外光を投射し、
前記被写体により反射した前記測距用信号を受光し、受
光した前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフォ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤外光は
撮影レンズを介して投射または受光されることが多いが
、近赤外光の光量は測距距離および測距精度に大きく影
響するため、撮影レンズには近赤外光に対する反射防止
膜を形成する必要がある。一方、従来の撮影レンズには
単層から４層程度の層数の反射防止膜が使われており、
単一波長近傍あるいは可視波長域（およそ４００〜６０
０ｎｍ、広帯域化を図ったものでおよそ４００ｎｍ〜７
００ｎｍ）において反射防止の効果をもたせたものが多
い。また、構成の詳細は明らかでは力いが、可視波長域
から近赤外波長域（およそ４００〜１０１０００ｎにわ
たって反射防止の効果をもたせるため、さらに多くの多
層膜化（１０層以上）が図られている例もある。（例え
ば、藤原史部編；「光学薄膜Ｊ（１９８５）第９８頁〜
第１１０頁、「オプトロニクスＪ （１９８４）Ｎ１６
第４４頁〜第４６頁） 発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層から４層
程度の反射防止膜では補記自動焦点検出方式に使用され
る撮影レンズに対しての反射防止膜としては有効な波長
域が不充分であり、特に多層反射防止膜のものは、有効
波長域の両側で反射率が急激に増加しており、前記の測
距用近赤外光に対する反射防止膜として適当でない。ま
た、可視波長域から近赤外波長域にわたって反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（１０層以
上）を図ったものは、コストも高く製造上の歩留りも悪
くなると予想されこれも生産性にはあまり適当ではない
という問題点を有していた。
影レンズの自動焦点検出装置が各種提案されている。特
に、ビデオカメラに応用される自動焦点検出装置として
有力な方式のひとつに、撮影すべき被写体（以下、被写
体と略称する）に測距用信号として近赤外光を投射し、
前記被写体により反射した前記測距用信号を受光し、受
光した前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフォ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤外光は
撮影レンズを介して投射または受光されることが多いが
、近赤外光の光量は測距距離および測距精度に大きく影
響するため、撮影レンズには近赤外光に対する反射防止
膜を形成する必要がある。一方、従来の撮影レンズには
単層から４層程度の層数の反射防止膜が使われており、
単一波長近傍あるいは可視波長域（およそ４００〜６０
０ｎｍ、広帯域化を図ったものでおよそ４００ｎｍ〜７
００ｎｍ）において反射防止の効果をもたせたものが多
い。また、構成の詳細は明らかでは力いが、可視波長域
から近赤外波長域（およそ４００〜１０１０００ｎにわ
たって反射防止の効果をもたせるため、さらに多くの多
層膜化（１０層以上）が図られている例もある。（例え
ば、藤原史部編；「光学薄膜Ｊ（１９８５）第９８頁〜
第１１０頁、「オプトロニクスＪ （１９８４）Ｎ１６
第４４頁〜第４６頁） 発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層から４層
程度の反射防止膜では補記自動焦点検出方式に使用され
る撮影レンズに対しての反射防止膜としては有効な波長
域が不充分であり、特に多層反射防止膜のものは、有効
波長域の両側で反射率が急激に増加しており、前記の測
距用近赤外光に対する反射防止膜として適当でない。ま
た、可視波長域から近赤外波長域にわたって反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（１０層以
上）を図ったものは、コストも高く製造上の歩留りも悪
くなると予想されこれも生産性にはあまり適当ではない
という問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、可視光及び測距用近赤外光
に対しての反射防止として有効で生産性にも優れた反射
防止膜を提供するものである。
に対しての反射防止として有効で生産性にも優れた反射
防止膜を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために、ｄ線に対する屈Ｆｌ（ｎ
ｄ）が１．６６〜１．７５のガラス基板に対して本発明
の反射防止膜は６層構成からなり空気側から基板側へ順
に第１層、第３層及び第５層は屈折率１．３５〜１．４
ｏの範囲にある低屈折率物質からなり、また第２層、第
４層及び第６層は屈折率１．９０〜２．４０の範囲にあ
る高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚は以下
の条件を満足したものである。
ｄ）が１．６６〜１．７５のガラス基板に対して本発明
の反射防止膜は６層構成からなり空気側から基板側へ順
に第１層、第３層及び第５層は屈折率１．３５〜１．４
ｏの範囲にある低屈折率物質からなり、また第２層、第
４層及び第６層は屈折率１．９０〜２．４０の範囲にあ
る高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚は以下
の条件を満足したものである。
ｎ１ｄ１＝（０，２７６７±０．０１３８）λ０ｎ２ｄ
２ ＝ （０，１１０５±０．０１１１）λＧｎ３ｄ５
＝（０，０４９１±０．００４９）λ０ｎ４ｄ４ ＝
（０，５ｏ４８±０．０２６２）λ０ｎ５ｄ５ ＝ （
０，０３３７±０．００３４）λ０ｎ６ｄ６ ＝ （０
，０９１６±０．００９２）λ０但し、λ０；可視波長
域における設計波長作用 本発明は上記した構成によって、可視波長域（４ｏＯ〜
ｅｏｏｎｍ）及び近赤外波長域（８４０〜９００ｎｍ）
の光に対して有効な反射防止を行ない、波長ｓｓｏｎｍ
近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適した反射防止
膜を提供するものである。
２ ＝ （０，１１０５±０．０１１１）λＧｎ３ｄ５
＝（０，０４９１±０．００４９）λ０ｎ４ｄ４ ＝
（０，５ｏ４８±０．０２６２）λ０ｎ５ｄ５ ＝ （
０，０３３７±０．００３４）λ０ｎ６ｄ６ ＝ （０
，０９１６±０．００９２）λ０但し、λ０；可視波長
域における設計波長作用 本発明は上記した構成によって、可視波長域（４ｏＯ〜
ｅｏｏｎｍ）及び近赤外波長域（８４０〜９００ｎｍ）
の光に対して有効な反射防止を行ない、波長ｓｓｏｎｍ
近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適した反射防止
膜を提供するものである。
実施例
以下本発明の一実施例の反射防止膜について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第１図は本発明の反射防止膜の構成を示すものである。
第１図において１はガラス基板であり、反射防止膜は空
気側から基板１側へ頴に、第１層１１、第２層１２、第
３層１３、第４層１４、第５層１６、及び第６層１６の
６層構成からなり各層の構成材料及び光学的膜厚を第１
表に示す。
気側から基板１側へ頴に、第１層１１、第２層１２、第
３層１３、第４層１４、第５層１６、及び第６層１６の
６層構成からなり各層の構成材料及び光学的膜厚を第１
表に示す。
（以下 余 白）
第１表
λＱ＝５２０ｎｍ
また、第２図は分光反射率特性を示す図であり、曲線ａ
は光学的膜厚λｏ／４（λｏ＝ｓ２Ｏｎｌ！ｌ）のＭｇ
Ｆ２単層膜をガラス基板１の表面に形成したもの、曲線
すは本実施例のものである。
は光学的膜厚λｏ／４（λｏ＝ｓ２Ｏｎｌ！ｌ）のＭｇ
Ｆ２単層膜をガラス基板１の表面に形成したもの、曲線
すは本実施例のものである。
第２図から本実施例の反射防止膜はおよそ４００〜６０
０ｎ１１の可視波長域及びおよそ８２０〜９２０１Ｈの
近赤外波長域において良好な反射防止効果をもつことが
わかる。特に、可視波長域での平均反射率はＭｇＦ２単
層膜のものよりも小さくなっており良好な反射防止膜と
なっている。
０ｎ１１の可視波長域及びおよそ８２０〜９２０１Ｈの
近赤外波長域において良好な反射防止効果をもつことが
わかる。特に、可視波長域での平均反射率はＭｇＦ２単
層膜のものよりも小さくなっており良好な反射防止膜と
なっている。
なお、上記の実施例において第１層１１、第３層１３、
第５層１５を形成する高屈折率物質はＺｒＴｉＯ４とし
たが前記高屈折率物質はＺｒＯ２。
第５層１５を形成する高屈折率物質はＺｒＴｉＯ４とし
たが前記高屈折率物質はＺｒＯ２。
Ｔ工ｏ２、あるいは前記物質の少なくとも２種類の混合
物でもよい。
物でもよい。
発明の効果
以上のように本発明は、ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が
１．６６〜１．７６のガラス基板上に６層構成の反射防
止膜を設は空気側から基板側へ第１層、第３層及び第６
層は屈折率１．３５〜１．４０の範囲にある低屈折率物
質からなり、第２層、第４層及び第６層は屈折率１．９
０〜２．４０の範囲にある高屈折率物質からなり、かつ
各層の光学的膜厚は以下の条件を満足させることにより
、可視光及び近赤外光に対して良好な反射防止を行なう
ことができる。
１．６６〜１．７６のガラス基板上に６層構成の反射防
止膜を設は空気側から基板側へ第１層、第３層及び第６
層は屈折率１．３５〜１．４０の範囲にある低屈折率物
質からなり、第２層、第４層及び第６層は屈折率１．９
０〜２．４０の範囲にある高屈折率物質からなり、かつ
各層の光学的膜厚は以下の条件を満足させることにより
、可視光及び近赤外光に対して良好な反射防止を行なう
ことができる。
ｎ１ａ＋ ＝ （０，２７６７±０．０１３８）λ０ｎ
２ａ２ ＝ （０，１１０Ｓ±ｏ、ｏｌｌｌ）λ０ｎ３
ｄ３＝（０，０４９１±０．００４９）λ０ｎ４ｄ４＝
（０，５０４８±０．０２５２）λ０ｎ５ｄ５＝ （
０，０３３７±０．００３４）λ０ｎ６ｄｂ＝ （０，
０９１６±０．００９２）λ０λ０；可視波長域におけ
る設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れたものであ
るのでその実用的価値はきわめて犬である。
２ａ２ ＝ （０，１１０Ｓ±ｏ、ｏｌｌｌ）λ０ｎ３
ｄ３＝（０，０４９１±０．００４９）λ０ｎ４ｄ４＝
（０，５０４８±０．０２５２）λ０ｎ５ｄ５＝ （
０，０３３７±０．００３４）λ０ｎ６ｄｂ＝ （０，
０９１６±０．００９２）λ０λ０；可視波長域におけ
る設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れたものであ
るのでその実用的価値はきわめて犬である。
第１図は本発明の反射防止膜の構成を示す図、第２図は
分光反射率特性を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、１１・・・・・・第１層、
１２・・・・・・第２層、１３・・・・・・第３層、１
４・・・・・・第４層、１６・・・・・・第６層、１６
・・・・・・第６層、ａ・・・・・・ＭｇＦ２単層膜の
分光反射率特性を示す曲線、ｂ・・・・・・本発明の実
施例の分光反射率特性を示す曲線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 第２図 浚 ＋ Ｃ帽す
分光反射率特性を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、１１・・・・・・第１層、
１２・・・・・・第２層、１３・・・・・・第３層、１
４・・・・・・第４層、１６・・・・・・第６層、１６
・・・・・・第６層、ａ・・・・・・ＭｇＦ２単層膜の
分光反射率特性を示す曲線、ｂ・・・・・・本発明の実
施例の分光反射率特性を示す曲線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 第２図 浚 ＋ Ｃ帽す
Claims (3)
- （１）ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．６６〜１．７
５の範囲にあるガラス基板の表面に形成された反射防止
膜であって、前記反射防止膜は６層構成からなり空気側
から基板側へ第１層、第３層及び第５層は屈折率１．３
５〜１．４０の範囲にある低屈折率物質からなり、第２
層、第４層及び第６層は屈折率１．９０〜２．４０の範
囲にある高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚
は以下の条件 ｎ＿１ｄ＿１＝（０．２７６７±０．０１３８）λ＿０
ｎ＿２ｄ＿２＝（０．１１０５±０．０１１１）λ＿０
ｎ＿３ｄ＿３＝（０．０４９１±０．００４９）λ＿０
ｎ＿４ｄ＿４＝（０．５０４８±０．０２５２）λ＿０
ｎ＿５ｄ＿５＝（０．０３３７±０．００３４）λ＿０
ｎ＿６ｄ＿６＝（０．０９１６±０．００９２）λ＿０
但し、ここで、 ｎｉ；第ｉ層の構成物質の屈折率 （ｉ＝１、２、・・・、６） ｎｉｄｉ；第ｉ層の構成物質の光学的膜厚 （ｉ＝１、２、・・・、６） λ＿０；可視波長域における設計波長 を満足することを特徴とする反射防止膜。 - （２）第１層、第３層及び第５層を構成する低屈折率物
質がＭｇＦ＿２であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の反射防止膜。 - （３）第２層、第４層及び第６層を構成する高屈折率物
質がＺｒＴｉＯ＿４、ＺｒＯ＿２、ＴｉＯ＿２あるいは
前記物質の少なくとも２種類の混合物であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177153A JPS6236603A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177153A JPS6236603A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236603A true JPS6236603A (ja) | 1987-02-17 |
| JPH0261003B2 JPH0261003B2 (ja) | 1990-12-18 |
Family
ID=16026115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60177153A Granted JPS6236603A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236603A (ja) |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP60177153A patent/JPS6236603A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0261003B2 (ja) | 1990-12-18 |
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