JPS6236601A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
- Publication number
- JPS6236601A JPS6236601A JP60176604A JP17660485A JPS6236601A JP S6236601 A JPS6236601 A JP S6236601A JP 60176604 A JP60176604 A JP 60176604A JP 17660485 A JP17660485 A JP 17660485A JP S6236601 A JPS6236601 A JP S6236601A
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- Japan
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- antireflection film
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学レンズなどの光学要素の表面に設けられ
その透過率を向上させるための反射防止膜に関するもの
である。
その透過率を向上させるための反射防止膜に関するもの
である。
従来の技術
近年、スチルカメラ、ビデオカメラの分野において、撮
影レンズの自動焦点検出装置が各種提案されている。特
に、ビデオカメラに応用される自動焦点検出装置として
有力な方式のひとつに、撮影すべき被写体（以下、被写
体と略称する）に測距角信号として近赤外光を投射し、
前記被写体によシ反射した前記測距用信号を受光し、受
光した前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフォ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤外光は
撮影レンズを介して投射または受光されることが多いが
、近赤外光の光量は測距距離および測距精度に大きく影
響するため、撮影レンズには近赤外光に対する反射防止
膜を形成する必要がある。一方、従来の撮影レンズには
単層から４層程度の層数の反射防止膜が使われており、
単一波長近傍あるいは可視波長域（およそ４００〜６０
０ｎｍ。
影レンズの自動焦点検出装置が各種提案されている。特
に、ビデオカメラに応用される自動焦点検出装置として
有力な方式のひとつに、撮影すべき被写体（以下、被写
体と略称する）に測距角信号として近赤外光を投射し、
前記被写体によシ反射した前記測距用信号を受光し、受
光した前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフォ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤外光は
撮影レンズを介して投射または受光されることが多いが
、近赤外光の光量は測距距離および測距精度に大きく影
響するため、撮影レンズには近赤外光に対する反射防止
膜を形成する必要がある。一方、従来の撮影レンズには
単層から４層程度の層数の反射防止膜が使われており、
単一波長近傍あるいは可視波長域（およそ４００〜６０
０ｎｍ。
広帯域化を図ったものでおよそ４００ｎｍ〜７００ｎｍ
）において反射防止の効果をもたせたものが多い。
）において反射防止の効果をもたせたものが多い。
また、構成の詳細は明らかではないが、可視波長域から
近赤外波長域（およそ４００〜１０ｏＯｎｍ）にわたっ
て反射防止の効果をもたせるため、さらに多くの多層膜
化（１０層以上）が図られている例もある。（例えば、
藤原史部編；「光学薄膜」（１ｓｓｓ）第９８頁〜第１
１０貫、［オプトロニクスＪ（１９８４）克６．第４４
頁〜第４５頁）発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層から４層
程度の反射防止膜では前記自動焦点検出方式に使用され
る撮影レンズに対しての反射防止膜としては有効な波長
域が不充分であシ、特に多層反射防止膜のものは、有効
波長域の両側で反射率が急激に増加しておシ、前記の測
距用近赤外光に対する反射防止膜として適当でない。ま
た、可視波長域から近赤外波長域にわたって反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（１０層以
上）を図ったものは、コストも高く製造上の歩留シも悪
くなると予想されこれも生産的にはあまシ適当ではない
という問題点を有していた。
近赤外波長域（およそ４００〜１０ｏＯｎｍ）にわたっ
て反射防止の効果をもたせるため、さらに多くの多層膜
化（１０層以上）が図られている例もある。（例えば、
藤原史部編；「光学薄膜」（１ｓｓｓ）第９８頁〜第１
１０貫、［オプトロニクスＪ（１９８４）克６．第４４
頁〜第４５頁）発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層から４層
程度の反射防止膜では前記自動焦点検出方式に使用され
る撮影レンズに対しての反射防止膜としては有効な波長
域が不充分であシ、特に多層反射防止膜のものは、有効
波長域の両側で反射率が急激に増加しておシ、前記の測
距用近赤外光に対する反射防止膜として適当でない。ま
た、可視波長域から近赤外波長域にわたって反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（１０層以
上）を図ったものは、コストも高く製造上の歩留シも悪
くなると予想されこれも生産的にはあまシ適当ではない
という問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、可視光及び測距用近赤外光
に対しての反射防止として有効で生産性にも優れた反射
防止膜を提供するものである。
に対しての反射防止として有効で生産性にも優れた反射
防止膜を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために、ｄ線に対する屈折率（ｎ
ｄ）が１．７６〜１．８６のガラス基板に対して本発明
の反射防止膜は６層構成からなり空気側から基板側へ順
に第１層、第３層及び第６層は屈折率１．３５〜１．４
０の範囲にある低屈折率物質からなり、また第２層、第
４層及び第６層は屈折率１．９０〜２．４０の範囲にあ
る高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚は以下
の条件を満足したものである。
ｄ）が１．７６〜１．８６のガラス基板に対して本発明
の反射防止膜は６層構成からなり空気側から基板側へ順
に第１層、第３層及び第６層は屈折率１．３５〜１．４
０の範囲にある低屈折率物質からなり、また第２層、第
４層及び第６層は屈折率１．９０〜２．４０の範囲にあ
る高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚は以下
の条件を満足したものである。
ｎ１ａ、 ＝ （０，２８７Ｂ±α０１４４）λ０ｎ２
ｄ２＝ （ｏ、１１２７±０．０１１３）λ０ｎｓｄｓ
＝（０，０５４２±０．００５４）λ０ｎ４ｄ４＝ （
０，４７１４±０．０２３６）λ０ｎ５ｄ５ ＝ （０
，０１７８±０．００１８）λ０ｎ６ｄ６＝（０，１０
４１±０．０１０４）λ０但し、λ０；可視波長域にお
ける設計波長作用 本発明は上記した構成によって、可視波長域（４ｏｏ
〜６００ｎｍ）及び近赤外波長域（８４０〜９００ｎｍ
）の光に対して有効な反射防止を行ない、波長８８０
ｎｍ近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適した反射
防止膜を提供するものである。
ｄ２＝ （ｏ、１１２７±０．０１１３）λ０ｎｓｄｓ
＝（０，０５４２±０．００５４）λ０ｎ４ｄ４＝ （
０，４７１４±０．０２３６）λ０ｎ５ｄ５ ＝ （０
，０１７８±０．００１８）λ０ｎ６ｄ６＝（０，１０
４１±０．０１０４）λ０但し、λ０；可視波長域にお
ける設計波長作用 本発明は上記した構成によって、可視波長域（４ｏｏ
〜６００ｎｍ）及び近赤外波長域（８４０〜９００ｎｍ
）の光に対して有効な反射防止を行ない、波長８８０
ｎｍ近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適した反射
防止膜を提供するものである。
実施例
以下本発明の一実施例の反射防止膜について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第１図は本発明の反射防止膜の構成を示すものである。
第１図において１はガラス基板であシ、反射防止膜は空
気側から基板１側へ順に、第１層１１、第２層１２、第
３層１３、第４層１４、第６層１５、及び第６層１６の
６層構成からなシ各層の構成材料及び光学的膜厚を第１
表に示す。
気側から基板１側へ順に、第１層１１、第２層１２、第
３層１３、第４層１４、第６層１５、及び第６層１６の
６層構成からなシ各層の構成材料及び光学的膜厚を第１
表に示す。
（以 下金 白）
第１表
λＱ＝５２０１ｍ
また、第２図は分光反射率特性を示す図であり、曲線ａ
は光学的膜厚λｏ／４（λ（１＝５２０ｎｍ）のＭｇＦ
２単層膜をガラス基板１の表面に形成したもの、曲線す
は本実施例のものである。
は光学的膜厚λｏ／４（λ（１＝５２０ｎｍ）のＭｇＦ
２単層膜をガラス基板１の表面に形成したもの、曲線す
は本実施例のものである。
第２図から本実施例の反射防止膜はおよそ４００〜６０
０ｎｍの可視波長域及びおよそ８２０〜９２０１ｕの近
赤外波長域において良好な反射防止効果をもつことがわ
かる。特に、可視波長域での平均反射率はＭｇＦ２単層
膜のものとあまシ変わることなく良好な反射防止膜とな
っている。
０ｎｍの可視波長域及びおよそ８２０〜９２０１ｕの近
赤外波長域において良好な反射防止効果をもつことがわ
かる。特に、可視波長域での平均反射率はＭｇＦ２単層
膜のものとあまシ変わることなく良好な反射防止膜とな
っている。
なお、上記の実施例において第１層１１、第３層１３、
第６層１５を形成する高屈折率物質はＺｒＴｉＯ４とし
たが前記高屈折率物質はＺｒＯ２。
第６層１５を形成する高屈折率物質はＺｒＴｉＯ４とし
たが前記高屈折率物質はＺｒＯ２。
ＴｉＯ２、あるいは前記物質の少なくとも２種類の混合
物でもよい。
物でもよい。
発明の効果
以上のように本発明は、ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が
１．７６〜１．８６のガラス基板上に６層構成の反射防
止膜を設は空気側から基板側へ第１層、第３層及び第５
層は屈折率１．３５〜１．４０の範囲にある低屈折率物
質からなり、第２層、第４層及び第６層は屈折率１．９
０〜２．４０の範囲にある高屈折率物質からなり、かつ
各層の光学的膜厚は以下の条件を滴定させることにより
、可視光及び近赤外光に対して良好な反射防止を行なう
ことができる。
１．７６〜１．８６のガラス基板上に６層構成の反射防
止膜を設は空気側から基板側へ第１層、第３層及び第５
層は屈折率１．３５〜１．４０の範囲にある低屈折率物
質からなり、第２層、第４層及び第６層は屈折率１．９
０〜２．４０の範囲にある高屈折率物質からなり、かつ
各層の光学的膜厚は以下の条件を滴定させることにより
、可視光及び近赤外光に対して良好な反射防止を行なう
ことができる。
ｎ１ｄ１ ＝ （０，２８７８±０．０１４４）λ０ｎ
２ｄ２ ＝＝ （０，１１２７±０．０１１３）λ０ｎ
Ｓｄ５ ＝ （０，０５４２±０．００５４）λ０ｎ４
ｄ４ ＝ （０，４７１４±０．０２３８）八ｎ５ｄ５
＝ （０，、Ｃ）１７Ｂ±ｏ、ｏｏｌｓ）λ０ｎ６ｄ
６＝ど、０．１．０４°１±０．０１０４）λＯλ０；
可視波長域における設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れたものであ
るのでその実用的価値はきわめて犬である。
２ｄ２ ＝＝ （０，１１２７±０．０１１３）λ０ｎ
Ｓｄ５ ＝ （０，０５４２±０．００５４）λ０ｎ４
ｄ４ ＝ （０，４７１４±０．０２３８）八ｎ５ｄ５
＝ （０，、Ｃ）１７Ｂ±ｏ、ｏｏｌｓ）λ０ｎ６ｄ
６＝ど、０．１．０４°１±０．０１０４）λＯλ０；
可視波長域における設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れたものであ
るのでその実用的価値はきわめて犬である。
第１図は本発明の反射防止膜の構成図、第２図は分光反
射率特性図である。 １・・・・・・ガラス基板、１１・・・・・・第１層、
１２・・・・・・第２層、１３・・・・・・第３層、１
４・・・・・・第４層、１６・・・・・・第５層、１６
・・・・・・第６層、ト・・・・・ＭｇＦ２単層膜の分
光反射率特性を示す曲線、ｂ・・・・・・本発明の実施
例の分光反射率特性を示す曲線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
一一方゛ラス、８根 第２図 濠 景 （■）
射率特性図である。 １・・・・・・ガラス基板、１１・・・・・・第１層、
１２・・・・・・第２層、１３・・・・・・第３層、１
４・・・・・・第４層、１６・・・・・・第５層、１６
・・・・・・第６層、ト・・・・・ＭｇＦ２単層膜の分
光反射率特性を示す曲線、ｂ・・・・・・本発明の実施
例の分光反射率特性を示す曲線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
一一方゛ラス、８根 第２図 濠 景 （■）
Claims (3)
- （１）ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．７６〜１．８
５の範囲にあるガラス基板の表面に形成された反射防止
膜であって、前記反射防止膜は６層構成からなり空気側
から基板側へ第１層、第３層及び第５層は屈折率１．３
５〜１．４０の範囲にある低屈折率物質からなり、第２
層、第４層及び第６層は屈折率１．９０〜２．４０の範
囲にある高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚
は以下の条件； ｎ＿１ｄ＿１＝（０．２８７８±０．０１４４）λ＿０
ｎ＿２ｄ＿２＝（０．１１２７±０．０１１３）λ＿０
ｎ＿３ｄ＿３＝（０．０５４２±０．００５４）λ＿０
ｎ＿４ｄ＿４＝（０．４７１４±０．０２３６）λ＿０
ｎ＿５ｄ＿５＝（０．０１７８±０．００１８）λ＿０
ｎ＿６ｄ＿６＝（０．１０４１±０．０１０４）λ＿０
但し、ここで、 ｎｉ；第ｉ層の構成物質の屈折率 （ｉ＝１、２、・・・、６） ｎｉｄｉ；第ｉ層の構成物質の光学的膜厚 （ｉ＝１、２、・・・、６） λ＿０：可視波長域における設計波長 を満足することを特徴とする反射防止膜。 - （２）第１層、第３層及び第５層を構成する低屈折率物
質がＭｇＦ＿２であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の反射防止膜。 - （３）第２層、第４層及び第６層を構成する高屈折率物
質がＺｒＴｉＯ＿４、ＺｒＯ＿２、ＴｉＯ＿２あるいは
前記物質の少なくとも２種類の混合物であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60176604A JPS6236601A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60176604A JPS6236601A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236601A true JPS6236601A (ja) | 1987-02-17 |
| JPH0261001B2 JPH0261001B2 (ja) | 1990-12-18 |
Family
ID=16016469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60176604A Granted JPS6236601A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236601A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022501636A (ja) * | 2018-09-20 | 2022-01-06 | エシロール・アンテルナシオナル | 深紅、近赤外線及び可視範囲における低減された反射を有する光学デバイス |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0481301U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-15 |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP60176604A patent/JPS6236601A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022501636A (ja) * | 2018-09-20 | 2022-01-06 | エシロール・アンテルナシオナル | 深紅、近赤外線及び可視範囲における低減された反射を有する光学デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0261001B2 (ja) | 1990-12-18 |
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