JPS6236604A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
- Publication number
- JPS6236604A JPS6236604A JP60177154A JP17715485A JPS6236604A JP S6236604 A JPS6236604 A JP S6236604A JP 60177154 A JP60177154 A JP 60177154A JP 17715485 A JP17715485 A JP 17715485A JP S6236604 A JPS6236604 A JP S6236604A
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- Japan
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- refractive index
- layers
- antireflection film
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学レンズなどの光学要素の表面に設けられ
その透過率を向上させるための反射防止膜に関するもの
である。
その透過率を向上させるための反射防止膜に関するもの
である。
従来の技術
近年、スチルカメラ、ビデオカメラの分野において、撮
影レンズの自動焦点検出装置が各種提案−れている。特
に、ビデオカメラに応用される自動焦点検出装置として
有力な方式のひとつに、撮影すべき被写体（以下、被写
体と略称する）に測距用信号として近赤外光を投射し、
前記被写体により反射した前記測距用信号を受光し、受
光した前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフォ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤外光は
撮影レンズを介して投射または受光されることが多いが
、近赤外光の光量は測距距離および測距精度に大きく影
響するため、撮影レンズには近赤外光に対する反射防止
膜を形成する必要がある。一方、従来の撮影レンズには
単層から４層程度の層数の反射防止膜が使われており、
単一波長近傍あるいは可視波長域（およそ４００〜６０
０ｎｍ、広帯域化を図ったものでおよそ４００ｎＥ１１
〜７０ｏｎｍ） において反射防止の効果をもたせたも
のが多い。また、構成の詳細は明らかではないが、可視
波長域から近赤外波長域（およそ４ｏ○〜１０１００ｏ
ｎ にわたって反射防止の効果をもたせるため、さら
に多くの多層膜化（１０層以上）が図られている例もあ
る。（例えば、藤原史部編；「光学薄膜Ｊ （１９８５
）第９８頁〜第１１０頁、「オプトロニクスＪ（１９８
４）Ｎ（Ｌ６第４４頁〜第４５頁） 発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層から４Ｒ
程度の反射防止膜では前記自動焦点検出方式に使用され
る撮影レンズに対しての反射防止膜としては有効な波長
域が不充分であり、特に多鳩反射防止膜のものは、有効
波長域の両側で反射率が急激に増加しており、前記の測
距用近赤外光に対する反射防止膜として適当でない。ま
た、可視波長域から近赤外波長域にわたって反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（１０層以
上斤図ったものは、コストも高く製造上の歩留りも悪く
なると予想されこれも生産的にはあまり適当ではないと
いう問題点を有していた。
影レンズの自動焦点検出装置が各種提案−れている。特
に、ビデオカメラに応用される自動焦点検出装置として
有力な方式のひとつに、撮影すべき被写体（以下、被写
体と略称する）に測距用信号として近赤外光を投射し、
前記被写体により反射した前記測距用信号を受光し、受
光した前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフォ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤外光は
撮影レンズを介して投射または受光されることが多いが
、近赤外光の光量は測距距離および測距精度に大きく影
響するため、撮影レンズには近赤外光に対する反射防止
膜を形成する必要がある。一方、従来の撮影レンズには
単層から４層程度の層数の反射防止膜が使われており、
単一波長近傍あるいは可視波長域（およそ４００〜６０
０ｎｍ、広帯域化を図ったものでおよそ４００ｎＥ１１
〜７０ｏｎｍ） において反射防止の効果をもたせたも
のが多い。また、構成の詳細は明らかではないが、可視
波長域から近赤外波長域（およそ４ｏ○〜１０１００ｏ
ｎ にわたって反射防止の効果をもたせるため、さら
に多くの多層膜化（１０層以上）が図られている例もあ
る。（例えば、藤原史部編；「光学薄膜Ｊ （１９８５
）第９８頁〜第１１０頁、「オプトロニクスＪ（１９８
４）Ｎ（Ｌ６第４４頁〜第４５頁） 発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層から４Ｒ
程度の反射防止膜では前記自動焦点検出方式に使用され
る撮影レンズに対しての反射防止膜としては有効な波長
域が不充分であり、特に多鳩反射防止膜のものは、有効
波長域の両側で反射率が急激に増加しており、前記の測
距用近赤外光に対する反射防止膜として適当でない。ま
た、可視波長域から近赤外波長域にわたって反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（１０層以
上斤図ったものは、コストも高く製造上の歩留りも悪く
なると予想されこれも生産的にはあまり適当ではないと
いう問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、可視光及び測距用近赤外光
に対しての反射防止として有効で生産性にも優れた反射
防止膜を提供するものである。
に対しての反射防止として有効で生産性にも優れた反射
防止膜を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために１ｄ線に対する屈折率（ｎ
ｄ）が１．６８〜１．６２のガラス基板に対して本発明
の反射防止膜は６層構成からなり空気側から基板側へ順
に第１層、第３Ｎｉ及び第５層は屈折率１．３５〜１．
４０の範囲にある低屈折率物質からなり、また第２層、
第４層及び第５層は屈折率１．９０−２．４０の範囲に
ある高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚は以
下の条件を満足したものである。
ｄ）が１．６８〜１．６２のガラス基板に対して本発明
の反射防止膜は６層構成からなり空気側から基板側へ順
に第１層、第３Ｎｉ及び第５層は屈折率１．３５〜１．
４０の範囲にある低屈折率物質からなり、また第２層、
第４層及び第５層は屈折率１．９０−２．４０の範囲に
ある高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚は以
下の条件を満足したものである。
ｎ１ｄ、： （０，２７５８±０．０１３８）λ０ｎ２
ｄ２＝ （ｏ、１ｏ６９±０．０１０７）λ。
ｄ２＝ （ｏ、１ｏ６９±０．０１０７）λ。
ｎ３ｄ５＝ （０，０４６８±０．００４７）λ。
ｎ４ｄ４＝ （０，４９６９±０．０２４８）λ０ｎ
５ｄ５＝ （０，０４６１±０．００４６）λ。
５ｄ５＝ （０，０４６１±０．００４６）λ。
ｎ６ｄ６＝ （０，０８９６±０．００９０）λ。
但し、λ。；可視波長域における設計波長作用
本発明は上記した構成によって、可視波長域（４００〜
６００ｎｍ）及び近赤外波長域（８４０〜９００ｎｍ）
の光に対して有効な反射防止を行ない、波長８８０ ｎ
ｍ近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適した反射防
止膜を提供するものである。
６００ｎｍ）及び近赤外波長域（８４０〜９００ｎｍ）
の光に対して有効な反射防止を行ない、波長８８０ ｎ
ｍ近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適した反射防
止膜を提供するものである。
実施例
以下本発明の一実施例の反射防止膜について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第１図は本発明の反射防止膜の構成を示すものである。
第１図において１はガラス基板であり、反射防止膜は空
気側から基板１側へ順に、第１層１１、第２層１２、第
３層１３、第４層１４、第５層１５、及び第５層１６の
６層構成からなり各層の構成材料及び光学的膜厚を第１
表に示す。
気側から基板１側へ順に、第１層１１、第２層１２、第
３層１３、第４層１４、第５層１５、及び第５層１６の
６層構成からなり各層の構成材料及び光学的膜厚を第１
表に示す。
（以下金 白）
第 １ 表
また、第２図は分光反射率特性を示す図であり、曲線ａ
は光学的膜厚”Ｏ／４ （λｏ＝５２０ｎｍ）のＭｇＦ
２単層膜をガラス基板１の表面に形成したもの、曲線す
は本実施例のものである。
は光学的膜厚”Ｏ／４ （λｏ＝５２０ｎｍ）のＭｇＦ
２単層膜をガラス基板１の表面に形成したもの、曲線す
は本実施例のものである。
第２図から本実施例の反射防止膜はおよそ４００〜６０
０ ｎｕの可視波長域及びおよそ８２０〜９２０ ｎｍ
の近赤外波長域において良好な反射防止効果をもつこと
がわかる。特に、可視波長域での平均反射率はＭｇＦ２
単層膜のものよりも小さくなっており良好な反射防止膜
となっている。
０ ｎｕの可視波長域及びおよそ８２０〜９２０ ｎｍ
の近赤外波長域において良好な反射防止効果をもつこと
がわかる。特に、可視波長域での平均反射率はＭｇＦ２
単層膜のものよりも小さくなっており良好な反射防止膜
となっている。
なお、上記の実施例において第１層１１、第３層１３、
第５層１５を形成する高屈折率物質はＺｒＴｉＯ４とし
たが前記高屈折率物質はＺｒＯ２゜τ１０２、あるいは
前記物質の少なくとも２種類の混合物でもよい。
第５層１５を形成する高屈折率物質はＺｒＴｉＯ４とし
たが前記高屈折率物質はＺｒＯ２゜τ１０２、あるいは
前記物質の少なくとも２種類の混合物でもよい。
発明の効果
以上のように本発明は１ｄ線に対する屈折率（ｎａ）が
１．５８〜１．６２のガラス基板上に６層構成の反射防
止膜を設は空気側から基板側へ第１層、第３層及び第５
１ｍ＃は屈折率１．３５〜１．４０の範囲にある低屈折
率物質からなり、第２層、第４層及び第５層は屈折率１
．９０〜２．４０の範囲にある高屈折率物質からなり、
かつ各層の光学的膜厚は以下の条件を満足させることに
より、可視光及び近赤外光に対して良好な反射防止を行
なうことができる。
１．５８〜１．６２のガラス基板上に６層構成の反射防
止膜を設は空気側から基板側へ第１層、第３層及び第５
１ｍ＃は屈折率１．３５〜１．４０の範囲にある低屈折
率物質からなり、第２層、第４層及び第５層は屈折率１
．９０〜２．４０の範囲にある高屈折率物質からなり、
かつ各層の光学的膜厚は以下の条件を満足させることに
より、可視光及び近赤外光に対して良好な反射防止を行
なうことができる。
ｎ１ｄ、＝ （０，２７５８±０．０１３８）λ０ｎ２
ｄｆ（ｏ、１ｏ６９±０．０１０７）λ。
ｄｆ（ｏ、１ｏ６９±０．０１０７）λ。
ｎ１ｄ３＝ （０，０４ａ ｓ±０．００４７）λ。
ｎ４ｄ４＝ （０，４９６９±０，０２４８）λ。
ｎ５ｄ５＝（０，０４６１±０．００４６）λ。
ｎ６ｄ６＝ （０，０８９５±０．００９０）λ０λ
；可視波長域における設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れたものであ
るのでその実用的価値はきわめて大である。
；可視波長域における設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れたものであ
るのでその実用的価値はきわめて大である。
第１図は本発明の反射防止膜の構成を示す図、第２図は
分光反射率特性を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、１１・・・・・・第１層、
１２・・・・・・第２／ｉｉ、１３・・・・・・第３層
、１４・・・・・・第４層、１５・・・・・・第５層、
１６・・・・・・第５層、ａ・・・・・・ＪＦ２単層膜
の分光反射率特性を示す曲線、ｂ・・・・・・本発明の
実施例の分光反射率特性を示す曲線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 第２図 皮表（鵠す
分光反射率特性を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、１１・・・・・・第１層、
１２・・・・・・第２／ｉｉ、１３・・・・・・第３層
、１４・・・・・・第４層、１５・・・・・・第５層、
１６・・・・・・第５層、ａ・・・・・・ＪＦ２単層膜
の分光反射率特性を示す曲線、ｂ・・・・・・本発明の
実施例の分光反射率特性を示す曲線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 第２図 皮表（鵠す
Claims (3)
- （１）ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．５８〜１．６
２の範囲にあるガラス基板の表面に形成された反射防止
膜であって、前記反射防止膜は６層構成からなり空気側
から基板側へ第１層、第３層及び第５層は屈折率１．３
５〜１．４０の範囲にある低屈折率物質からなり、第２
層、第４層及び第６層は屈折率１．９０〜２．４０の範
囲にある高屈折率物質からなり、かつ各層の光学的膜厚
は以下の条件 ｎ＿１ｄ＿１＝（０．２７５８±０．０１３８）λ＿０
ｎ＿２ｄ＿２＝（０．１０６９±０．０１０７）λ＿０
ｎ＿３ｄ＿３＝（０．０４６８±０．００４７）λ＿０
ｎ＿４ｄ＿４＝（０．４９６９±０．０２４８）λ＿０
ｎ＿５ｄ＿５＝（０．０４６１±０．００４６）λ＿０
ｎ＿６ｄ＿６＝（０．０８９５±０．００９０）λ＿０
但し、ここで、 ｎｉ；第ｉ層の構成物質の屈折率 （ｉ＝１、２、・・・、６） ｎｉｄｉ；第ｉ層の構成物質の光学的膜厚 （ｉ＝１、２、・・・、６） λ＿０；可視波長域における設計波長 を満足することを特徴とする反射防止膜。 - （２）第１層、第３層及び第５層を構成する低屈折率物
質がＭｇＦ＿２であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の反射防止膜。 - （３）第２層、第４層及び第６層を構成する高屈折率物
質がＺｒＴｉＯ＿４、ＺｒＯ＿２、ＴｉＯ＿２あるいは
前記物質の少なくとも２種類の混合物であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177154A JPS6236604A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177154A JPS6236604A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236604A true JPS6236604A (ja) | 1987-02-17 |
| JPH0261004B2 JPH0261004B2 (ja) | 1990-12-18 |
Family
ID=16026130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60177154A Granted JPS6236604A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236604A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5392156A (en) * | 1992-03-31 | 1995-02-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical device |
| JP2006047572A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Olympus Corp | 標本保持用透明部材とカバーガラスと狭持標本体 |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP60177154A patent/JPS6236604A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5392156A (en) * | 1992-03-31 | 1995-02-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical device |
| JP2006047572A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Olympus Corp | 標本保持用透明部材とカバーガラスと狭持標本体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0261004B2 (ja) | 1990-12-18 |
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