JPS6237716A - 定電流制御回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は定電流制御回路に係わり、特に蒸着装置の蒸着
源加熱に用いて好適な位相制御電源の構成に関するもの
である。

〔発明の背景〕

第３図は従来の交流定電流電源の一例ケ示す回路図であ
る。同図において、位相制御電源１は。

交流電源ＡＣを入力し所定の出力電圧に変換させて出力
する電源トランス２と、この電源トランス２０１次巻線
に直列接続させ入力電圧の位相を制御する位相制御素子
３と、この位相制御制御索子３に制御入力電圧ｖ［良に
対応するゲート信号ｖＧを供給する位相制御回路４とか
ら構成されている。

このような構成において、位相制御回路４に外部から第
４図（ａ）　、　（ｂ）に示すような制御入力電圧ｖＩ
Ｎが入力されると、同図（Ｃ）に示すように点弧位相θ
を変化させたゲート信号ＶＧに変換され、位相制御素子
３に供給される。そして、位相制御素子３により位相制
御された出力電圧は電源トランス２により電圧変換され
、同図（ｄ）に示すような出力電圧ｖｏｔｒ’ｒが出力
される。この出力′電圧ＶＯＵＴは例えば撮像管ターゲ
ット蒸着装置本体５の蒸着源加熱用ヒータなどの負荷６
に印加し、ていた。

一方、この負荷６は蒸着作業の都度、ネジ７Ａ。

ネジ７Ｂにより蒸着装置本体５に接続される。そシ１．
て、このネジ部分の接触面積が小さいことから、蒸着作
業の都度接触抵抗が変動する。この結果、低電圧、大電
流の出力を必要とする蒸着装置において、この接触抵抗
の変動が出力電流の変動となり、ひいては負荷６の加熱
時間の変動さらには加熱不充分となるなどの不具合な問
題を引き起す。

ま几、出力電圧ｖＯＵＴが印加され之初期には負荷６が
冷えている之めに抵抗値が小さく、第５図に示すように
突入電流Ｉ’ＯＵＴが流れる。このため。

負荷６が急加熱され、蒸着源の材料が飛散してしまうこ
とがある。

なお１位相制御技術としては１例えばｒ　ＮＥＣサイリ
スタ・整流器ハンドブック１９７８年」の第１５７頁に
紹介されている定電圧直流電源あるいは回書第１６０頁
に紹介されている定′ば圧電流電源などがあるが、これ
らは出力電圧を直流に変換してフィードバック制御し九
方式のものであり、交流定電流のものはない。また、こ
のように直流に整流する・方式は゛整流平滑回路が必要
となるため、電源が大型化し、１看が大きくなるという
問題点および変換回路が必要となるｔめ、必然的に効率
が低くなるという問題点かあつ几。

〔発明の目的〕

本発明は前述し之従米の問題に鑑みてなされｔものであ
り、その目的とするところは、安価でかつ筒素化させた
定電流制御回路を提供することにある。

〔発明の概要〕

通常、位相制御手段としてフィードバックコントロール
回路を利用する場合、検出部分の電圧を直流化または直
流電圧を検出し、その値と基準値とを比較してコントロ
ールする。直流の場合は随時コントロールできるので、
容易にできるが、交流の場合、第６図（ａ）に示すよう
に出力電圧’１０ＵＴの電圧波形が途中で切れるので、
どうしても１ま之は半サイクルの遅れをもつ之フィード
バックコントロールとなる。さらに同図（ｂ）に示すよ
うに検出り、＊Ｍｆｌｆ、電圧Ｖ、を直流に積分し同図
（ｃ）ＩＣ示すような積分電圧ｖ２を得て安定し比出力
電圧Ｖｓ　ｋ検出するにはさらに数サイクルの時間遅れ
が生じる。これらの時間遅れが応答速度に悪影ｑ９を与
えている。

この積分時の時間遅れを防ぐには１パルスずつ積分し、
同図（ｄ）に示すようにその値をホールドするホールド
電圧Ｖ４を得れば良い。これによって応答速度の速い交
流定電流電源が可能となる。

〔発明の実施例〕

次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は本発明による定電流制御回路の一実施例、を示
す回路図であり、前述の図と同一部分は同一符号を付し
である。同図において、８は電源トランス２０２次巻線
に直列接続されｔ電流検出器。

９は実効値変換回路、１０は比較回路である。

第２図は（ａ）〜（ｅ）は第１図の各部の電圧、’ｍ流
波形を示し之ものである。

このような構成において、蒸着装置本体５の負荷６の抵
抗値が加熱初期に第２図（ａ）に示すように変化した場
合、同一出力電圧’Ｔ’ＯＵＴを出力していたのでは出
力電流ｒｏｖ’ｒが減少してしまう。これを補うために
は出力電圧ＶＯＵＴの点弧位相θを太きくしなければな
らない。

したがって本実施例では、電流検出器８により。

出力電流ｒｏａｒ　（ＩＥ２図（Ｃ））を検出し、この
出力電流ｌ０ＵＴ　ｆ！ｒ：実効値変換回路９により積
分ホールドして直流電圧Ｖｉθ　（第２図（ｄＮに変換
させ、この直流電圧Ｖｉθと比較回路１０に外部から入
力される定電流基準電圧Ｖｉｉ　（第２図（ｄ））とを
比較し、位相制御電圧ＶＩＮ　　（第２図（ｅ））を補
正して定電流コントロール４行なう。

このような構成によれば、実効値変換回路９は実効値検
出用ＩＣを利用して構成できるとともに。

積分ホールド（実効値）が可能となるので１位相制御に
よる交流定電流回路が可能となり九〇また、定電流コン
トロールが可能となるので、安定した撮像管ターゲット
の蒸着作業が可能となった。

〔発明の効果〕

以上説明し友ように本発明によれば、負荷′電流検出器
、実効値変換回路および比較回路を設けたことにより、
交流による定電流コントロールが可能となるので、直流
定電流電源等その他の電源に比べて構成部品が少なくて
済入１重量、容積等が小さくなるとともに、電源の効率
も向上させることができるなどの極めて優れた効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による定電流制御回路の一実施例を示す
回路図、第２図Ｇ）〜（ｅ）は第１図に示す各部の位相
制御のタイムシーケンス、第３図は従来の位相制御回路
の回路図、第４図（ａ）〜（ｄ）は第３図に示す各部の
位相制御のタイムシーケンス、第５図は定電圧電源の電
流変化を示す図、第６図は位相制御のタイムシーケンス
で、ｆｚル。 １・・・・位相制御電源、２・・・・電源トランス、３
・・・・位相制御素子、４・・・・位相制御回路、５・
・・・蒸着装僧本体、６・・・・負荷、７Ａ、７Ｂ・・
・・ネジ、８・・・・′覗流検出器、９・・・・実効直
変換回路、１０・・・代理人　弁理士　　小　川　勝　
男 第５図 時開（１） 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 交流電圧を所定の電圧に変換する電源トランスと、前記
   電源トランスの入力電圧の位相を制御する位相制御素子
   と、前記電源トランスの負荷電流を検出する負荷電流検
   出器と、前記負荷電流を実効値の直流電圧に変換する実
   効値変換回路と、前記直流電圧と定電流基準電圧とを比
   較して位相制御電圧を出力する比較回路と、前記位相制
   御電圧により前記位相制御素子のゲート信号を制御する
   位相制御回路とを設けたことを特徴とする定電流制御回
   路。