JPS6237926U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6237926U JPS6237926U JP13035185U JP13035185U JPS6237926U JP S6237926 U JPS6237926 U JP S6237926U JP 13035185 U JP13035185 U JP 13035185U JP 13035185 U JP13035185 U JP 13035185U JP S6237926 U JPS6237926 U JP S6237926U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating body
- wafer
- wafer drying
- support shaft
- air introduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 9
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案装置を例示する一部破断正面図
である。また第２図および第３図は従来のウエー
ハ乾燥装置の一部破断正面図および線―に沿
う横断面図である。 ３０…ウエーハキヤリヤ、２０…ウエーハ乾燥
装置、２２…回転体（回転アーム）、２３…中空
器体、２４…ウエーハ乾燥室、２６…回転体の支
持軸、２６ａ…乾燥用空気の導入口、２８ａ，２
８ｂ…ベアリング。
である。また第２図および第３図は従来のウエー
ハ乾燥装置の一部破断正面図および線―に沿
う横断面図である。 ３０…ウエーハキヤリヤ、２０…ウエーハ乾燥
装置、２２…回転体（回転アーム）、２３…中空
器体、２４…ウエーハ乾燥室、２６…回転体の支
持軸、２６ａ…乾燥用空気の導入口、２８ａ，２
８ｂ…ベアリング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数個のウエーハキヤリヤを周縁等配置状に配
置せしめた回転体と、該回転体の周囲に固設され
た中空器体からなるウエーハ乾燥室と、前記回転
体の駆動装置とからなるウエーハ乾燥装置に於い
て、 前記ウエーハ乾燥室の内壁と対向する回転体の
支持軸を円周面に乾燥用空気の導入孔を開口せし
めた中空円筒体から構成すると共に、該空気導入
孔穿設域に隣設して円筒状のフイルタ部材を配置
し、且つ、前記支持軸の上部に所定の間隔を置い
て対向配置された２個のベアリングによつて前記
回転体を回転自在に支持したことを特徴とするウ
エーハ乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985130351U JPH046206Y2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985130351U JPH046206Y2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237926U true JPS6237926U (ja) | 1987-03-06 |
| JPH046206Y2 JPH046206Y2 (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=31027765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985130351U Expired JPH046206Y2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH046206Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57196532A (en) * | 1981-05-27 | 1982-12-02 | Toshiba Corp | Drying device for wafer |
-
1985
- 1985-08-27 JP JP1985130351U patent/JPH046206Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57196532A (en) * | 1981-05-27 | 1982-12-02 | Toshiba Corp | Drying device for wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH046206Y2 (ja) | 1992-02-20 |