JPS6238348Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6238348Y2 JPS6238348Y2 JP1985145895U JP14589585U JPS6238348Y2 JP S6238348 Y2 JPS6238348 Y2 JP S6238348Y2 JP 1985145895 U JP1985145895 U JP 1985145895U JP 14589585 U JP14589585 U JP 14589585U JP S6238348 Y2 JPS6238348 Y2 JP S6238348Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- crystal
- cut
- resonator
- crystal resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、GTカツト水晶振動子に関する。本
考案の目的は、高安定にして、安価な水晶振動子
の実用化にある。
考案の目的は、高安定にして、安価な水晶振動子
の実用化にある。
水晶時計の高精度化に伴なつて、厚みすべり水
晶振動子、中でもATカツト水晶振動子が注目さ
れつつある。このATカツト水晶振動子を用いる
ことによつて、時間精度は、かなり改良されるが
このATカツト水晶振動子にも、次のような欠点
がある。即ち、小型にできない、共振周波数がＭ
Hz帯で非常に高い、消費電力が大きい、同一性能
のものを大量につくることができない等である。
これらの欠点により、ATカツト水晶振動子は、
高精度の周波数安定度をもつにもかかわらず実用
化されていない。上記の欠点を克服し、安価な高
精度電子時計用水晶振動子の実用化を図るもの
が、本考案になる水晶振動子である。
晶振動子、中でもATカツト水晶振動子が注目さ
れつつある。このATカツト水晶振動子を用いる
ことによつて、時間精度は、かなり改良されるが
このATカツト水晶振動子にも、次のような欠点
がある。即ち、小型にできない、共振周波数がＭ
Hz帯で非常に高い、消費電力が大きい、同一性能
のものを大量につくることができない等である。
これらの欠点により、ATカツト水晶振動子は、
高精度の周波数安定度をもつにもかかわらず実用
化されていない。上記の欠点を克服し、安価な高
精度電子時計用水晶振動子の実用化を図るもの
が、本考案になる水晶振動子である。
以下図面により説明する。
第１図は、従来のGTカツト水晶振動子の具体
例である。図においては１１はGTカツト水晶振
動子体、１２は１１の表面上に蒸着によつて着け
られた電極、１３は振動子の支持と電極取り出し
をかねるホルダである。この振動子の振動姿態
は、輪郭すべり振動であつて、温度−共振周波数
特性は常温付近で平らになる優れた特性をもつ。
大きさは、共振周波数が100KHz程度で、40mm角
で、厚みが３mm程度である。しかし優れた電気的
特性を維持するためには、水晶原石から振動子体
を形成する工程において、多くの配慮を必要とす
る。すなわち良い共振周波数のエージング特性、
高いＱ値を得るためには、振動子体に歪の残るよ
うな形成工程例えば、ダイヤモンドカツター等に
よる加工法を採ることができず、研摩によつて仕
上げるような歪の残らない加工法を採らなければ
ならない。従つて第１図の例では、振動子体は、
６面を有するので、６回の研摩工程、あるいは、
対向する平面を同時に研摩したとしても３回の研
摩工程を採らねばならず振動子体を安価に製造す
ることは、非常に難しい。又、このGTカツト水
晶振動子においては、主振動（信号が取出される
振動）と副振動（信号として取出されない振動）
が各々、矩形振動子の縦と横の各々に発生するも
のなので、縦横の辺比が、周波数温度特性に効
き、又、各々の長さが共振周波数に影響するた
め、形状精度は、極めて厳しく、加工は非常に困
難であつた。又、このような加工で、できたもの
は、特性的に、バラツキが大きく、特性の優れた
ものを量産することは、困難であつた。
例である。図においては１１はGTカツト水晶振
動子体、１２は１１の表面上に蒸着によつて着け
られた電極、１３は振動子の支持と電極取り出し
をかねるホルダである。この振動子の振動姿態
は、輪郭すべり振動であつて、温度−共振周波数
特性は常温付近で平らになる優れた特性をもつ。
大きさは、共振周波数が100KHz程度で、40mm角
で、厚みが３mm程度である。しかし優れた電気的
特性を維持するためには、水晶原石から振動子体
を形成する工程において、多くの配慮を必要とす
る。すなわち良い共振周波数のエージング特性、
高いＱ値を得るためには、振動子体に歪の残るよ
うな形成工程例えば、ダイヤモンドカツター等に
よる加工法を採ることができず、研摩によつて仕
上げるような歪の残らない加工法を採らなければ
ならない。従つて第１図の例では、振動子体は、
６面を有するので、６回の研摩工程、あるいは、
対向する平面を同時に研摩したとしても３回の研
摩工程を採らねばならず振動子体を安価に製造す
ることは、非常に難しい。又、このGTカツト水
晶振動子においては、主振動（信号が取出される
振動）と副振動（信号として取出されない振動）
が各々、矩形振動子の縦と横の各々に発生するも
のなので、縦横の辺比が、周波数温度特性に効
き、又、各々の長さが共振周波数に影響するた
め、形状精度は、極めて厳しく、加工は非常に困
難であつた。又、このような加工で、できたもの
は、特性的に、バラツキが大きく、特性の優れた
ものを量産することは、困難であつた。
第２図は、本考案の一具体例の図である。図に
おいて、２１は、GTカツト水晶振動子の振動
部、２２は振動部と一体に成形された電極部、２
３は、振動部とやはり一体に成形された支持部で
ある。２４は固定台、２５はリード線、２６は固
定台に支持部を接着するハンダである。この場
合、表裏の電極と、水晶振動子部、及び支持部
は、同時にエツチングによつて成形される。それ
らの裏表面に蒸着等によつて着けられた金属膜間
に電圧を印加することによつて輪郭すべり振動を
おこすことができる。第２図の水晶振動子を得る
工程例を以下に詳説する。第３図は本考案に係る
水晶薄板が水晶原石から切り出される方向を示す
図である。図においてＸ，Ｙ，Ｚ，はそれぞれ水
晶の電気軸、機械軸、光軸である。３０は従来の
GTカツト水晶振動子を作るための水晶板であ
り、３１は、本考案の水晶振動子を得るための水
晶板であつて、図のように、Ｙ板をＸ軸を中心に
45゜〜55゜回転した位置に水晶原石より切り出さ
れる。この水晶板は、切り出された後、充分に研
摩して、切り出し工程での加工歪を取り除き、所
定の厚さの水晶薄板に仕上げられる。本考案で
は、次にフオトエツチングを行うために、厚みは
500μｍ以下が好ましい。水晶振動子は、この水
晶薄板から次に説明するようにフオトエツチング
によつて形成される。先ず、水晶薄板の表裏両面
に例えば、クロムおよびその上に金の金属膜を蒸
着によつて着ける。次に第４図に示したように、
水晶振動子の形状４１をＸ軸に対して所定の角度
β゜傾けたパターンにしてフオトエツチングによ
り、前記クロム−金の金属膜を残す。その後、こ
の水晶薄板を例えばフツ化水素液とフツ化アンモ
ニウムの混合液中に浸漬すれば、クロム−金の金
属膜によつておおわれていない部分の水晶は、溶
解され、多くの水晶振動子が連なつたものが得ら
れる。しかる後、第４図の接続部分４２に弱い力
を与えれば、分離した、水晶振動子が得られる。
この例においては振動子形状をしたクロム−金の
金属膜は、水晶を溶解する際の保護マスクとして
働くと同時に、完成後は、そのまま振動子の電極
膜として働いている。しかし工程数を増せば電極
と振動子外形とは異つた形状のものとすることが
できることは言うまでもない。又、出来上つた振
動子が、Ｘ軸に関して、さらに角度Ｂだけ傾いて
作られることは言うまでもない。GTカツト水晶
振動子は前述した如く矩形状振動部の縦と横のい
ずれも振動しているものであり、この点周囲に節
を有するATカツト振動子とは大きく異なる点で
ある。従つてGTカツトの周囲に支持部設けるこ
とは、たとえ副振動部においてもなされていなか
つたのが現状である。然るに本考案の実施例によ
れば、第２図に示すように矩形状振動部の外周に
環状の支持部を一体に形成するとともに、その環
状部分のほぼ中央部分のみを固定台に固着支持さ
せ且つ固着される部分以外の支持部は同じ幅でな
る構成であるので、幅振動があつても支持部が一
体的に振動することになり、支持部における振動
洩れを実質的に無くしているものである。また矩
形状振動部の表裏に配置される電極が支持部まで
伸び、支持部の箇所で電気的接続がなされるの
で、接続による振動の影響も皆無となつている。
おいて、２１は、GTカツト水晶振動子の振動
部、２２は振動部と一体に成形された電極部、２
３は、振動部とやはり一体に成形された支持部で
ある。２４は固定台、２５はリード線、２６は固
定台に支持部を接着するハンダである。この場
合、表裏の電極と、水晶振動子部、及び支持部
は、同時にエツチングによつて成形される。それ
らの裏表面に蒸着等によつて着けられた金属膜間
に電圧を印加することによつて輪郭すべり振動を
おこすことができる。第２図の水晶振動子を得る
工程例を以下に詳説する。第３図は本考案に係る
水晶薄板が水晶原石から切り出される方向を示す
図である。図においてＸ，Ｙ，Ｚ，はそれぞれ水
晶の電気軸、機械軸、光軸である。３０は従来の
GTカツト水晶振動子を作るための水晶板であ
り、３１は、本考案の水晶振動子を得るための水
晶板であつて、図のように、Ｙ板をＸ軸を中心に
45゜〜55゜回転した位置に水晶原石より切り出さ
れる。この水晶板は、切り出された後、充分に研
摩して、切り出し工程での加工歪を取り除き、所
定の厚さの水晶薄板に仕上げられる。本考案で
は、次にフオトエツチングを行うために、厚みは
500μｍ以下が好ましい。水晶振動子は、この水
晶薄板から次に説明するようにフオトエツチング
によつて形成される。先ず、水晶薄板の表裏両面
に例えば、クロムおよびその上に金の金属膜を蒸
着によつて着ける。次に第４図に示したように、
水晶振動子の形状４１をＸ軸に対して所定の角度
β゜傾けたパターンにしてフオトエツチングによ
り、前記クロム−金の金属膜を残す。その後、こ
の水晶薄板を例えばフツ化水素液とフツ化アンモ
ニウムの混合液中に浸漬すれば、クロム−金の金
属膜によつておおわれていない部分の水晶は、溶
解され、多くの水晶振動子が連なつたものが得ら
れる。しかる後、第４図の接続部分４２に弱い力
を与えれば、分離した、水晶振動子が得られる。
この例においては振動子形状をしたクロム−金の
金属膜は、水晶を溶解する際の保護マスクとして
働くと同時に、完成後は、そのまま振動子の電極
膜として働いている。しかし工程数を増せば電極
と振動子外形とは異つた形状のものとすることが
できることは言うまでもない。又、出来上つた振
動子が、Ｘ軸に関して、さらに角度Ｂだけ傾いて
作られることは言うまでもない。GTカツト水晶
振動子は前述した如く矩形状振動部の縦と横のい
ずれも振動しているものであり、この点周囲に節
を有するATカツト振動子とは大きく異なる点で
ある。従つてGTカツトの周囲に支持部設けるこ
とは、たとえ副振動部においてもなされていなか
つたのが現状である。然るに本考案の実施例によ
れば、第２図に示すように矩形状振動部の外周に
環状の支持部を一体に形成するとともに、その環
状部分のほぼ中央部分のみを固定台に固着支持さ
せ且つ固着される部分以外の支持部は同じ幅でな
る構成であるので、幅振動があつても支持部が一
体的に振動することになり、支持部における振動
洩れを実質的に無くしているものである。また矩
形状振動部の表裏に配置される電極が支持部まで
伸び、支持部の箇所で電気的接続がなされるの
で、接続による振動の影響も皆無となつている。
本考案の水晶振動子は、以上説明したように、
非常に簡単で、量産に適する工適によつて形成す
ることが出来るので、非常に安価に製造すること
ができる。又、本考案は振動子外形をフオトエツ
チングによつて形成するので次のような特徴を有
する。
非常に簡単で、量産に適する工適によつて形成す
ることが出来るので、非常に安価に製造すること
ができる。又、本考案は振動子外形をフオトエツ
チングによつて形成するので次のような特徴を有
する。
(1) 加工形状に自由度が大きく、超小型に振動子
を形成することができる。
を形成することができる。
(2) 外形寸法を高精度に仕上げることができるの
で、GTカツト水晶振動子の場合、共振周波数
温度特性、共振周波数の一様なものを作ること
ができる。
で、GTカツト水晶振動子の場合、共振周波数
温度特性、共振周波数の一様なものを作ること
ができる。
(3) 電極部、支持部も外形成形と同時に行なうた
め工数低減になる。
め工数低減になる。
(4) 支持部を振動部と一体で成形し、しかも支持
部を環状としてその中央部分のみを固定台に固
着する構成のため、支持による振動の損失が少
ないと同時に、支持による振動子の特性バラツ
キが少なくなる。また電気的な接続も振動部の
電極が支持部まで伸び、支持部の箇所で接続が
行なわれるので、接続が振動に対する影響は実
質的に皆無である。
部を環状としてその中央部分のみを固定台に固
着する構成のため、支持による振動の損失が少
ないと同時に、支持による振動子の特性バラツ
キが少なくなる。また電気的な接続も振動部の
電極が支持部まで伸び、支持部の箇所で接続が
行なわれるので、接続が振動に対する影響は実
質的に皆無である。
(5) 支持部を振動部と一体で形成するため、支持
部のスペースが小さくてすみ、支持線を不要と
すること等から、超小型にすることが可能であ
る。
部のスペースが小さくてすみ、支持線を不要と
すること等から、超小型にすることが可能であ
る。
第１図は、従来のGTカツト水晶振動子、第２
図は、本考案のGTカツト水晶振動子の具体例の
図、第３図は、本考案に係る水晶薄板の切り出し
角度を示す図、第４図は、本考案の水晶振動子の
製造法を示す図。 １１，２１，４１……GTカツト水晶振動子、
１２，２２……電極膜、１３……支持体、２３…
…振動部と一体に形成れた支持部、３０……従来
の輪郭すべり水晶振動子をつくるための水晶板、
３１……本考案の輪郭すべり水晶振動子をつくる
ための水晶板、４２……接続部。
図は、本考案のGTカツト水晶振動子の具体例の
図、第３図は、本考案に係る水晶薄板の切り出し
角度を示す図、第４図は、本考案の水晶振動子の
製造法を示す図。 １１，２１，４１……GTカツト水晶振動子、
１２，２２……電極膜、１３……支持体、２３…
…振動部と一体に形成れた支持部、３０……従来
の輪郭すべり水晶振動子をつくるための水晶板、
３１……本考案の輪郭すべり水晶振動子をつくる
ための水晶板、４２……接続部。
Claims (1)
- 矩形の平面形状を有するGTカツト水晶振動子
において、前記振動子はＹ板をＸ軸を中心に45゜
〜55゜回転した位置に切り出された500μｍ以下
の厚みの薄板上にＸ軸に対して所定の角度β゜傾
けて設けた前記振動子のパターンに基いてエツチ
ング形成されるとともに、前記振動子は矩形の振
動部と、該矩形の対向する２辺の各々から伸長し
環状部分として形成される支持部とが前記エツチ
ング加工により１体に形成され、且つ前記支持部
は前記環状部分のほぼ中央部のみが固定台に支持
されるとともに、前記支持部の固定台に固着され
る部分以外はほぼ同一幅で前記振動子の対向する
２辺の振動に応じて振動しうる幅に形成され、更
に前記振動部の表裏に設けられた電極が前記支持
部まで伸び、支持部の箇所で電気的接続をなすよ
う構成されたことを特徴とするGTカツト水晶振
動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985145895U JPS6238348Y2 (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985145895U JPS6238348Y2 (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6168522U JPS6168522U (ja) | 1986-05-10 |
| JPS6238348Y2 true JPS6238348Y2 (ja) | 1987-09-30 |
Family
ID=30704146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985145895U Expired JPS6238348Y2 (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6238348Y2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4888886A (ja) * | 1972-02-21 | 1973-11-21 | ||
| JPS50790A (ja) * | 1973-05-02 | 1975-01-07 | ||
| CH578803A5 (ja) * | 1974-05-14 | 1976-08-13 | Suisse Horlogerie | |
| JPS583602B2 (ja) * | 1974-11-09 | 1983-01-22 | セイコーエプソン株式会社 | スイシヨウシンドウシ |
| JPS5814578B2 (ja) * | 1975-05-28 | 1983-03-19 | アイシンセイキ カブシキガイシヤ | ヘンソクソウチ |
-
1985
- 1985-09-25 JP JP1985145895U patent/JPS6238348Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6168522U (ja) | 1986-05-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4418299A (en) | Face-shear mode quartz crystal vibrators and method of manufacture | |
| US3969641A (en) | Quartz crystal vibrator | |
| JPS583602B2 (ja) | スイシヨウシンドウシ | |
| JP3729249B2 (ja) | 振動片の製造方法、振動片、振動片を有する振動子、発振器及び携帯電話装置 | |
| JPS6025926B2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH10308645A (ja) | Ａｔカット水晶振動子及びその製造方法 | |
| GB1560537A (en) | Piezoelectric microresonator | |
| WO1991019352A1 (fr) | Element de filtre en cristal de quartz ultra mince a fonctionnement en mode multiple | |
| US5376221A (en) | Process for mass producing high frequency crystal resonators | |
| JP2001053036A (ja) | ダイシングブレード及び圧電素板 | |
| JPS6119556Y2 (ja) | ||
| JPS61123211A (ja) | 圧電振動子および圧電振動子の振動周波数調整方法 | |
| JPS6028406B2 (ja) | 小型輪郭すべり水晶振動子の製造方法 | |
| JP2001085970A (ja) | 高安定圧電発振器用振動子 | |
| JPS5850044B2 (ja) | 厚みすべり振動子 | |
| JPH0230207A (ja) | 水晶振動子及びその製造方法 | |
| JP2929107B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| JPS6364926B2 (ja) | ||
| EP0019632A1 (en) | Quartz crystal resonator | |
| JPS5844649Y2 (ja) | 薄型輪郭すべり振動子 | |
| JPH0129088B2 (ja) | ||
| JPS5926657Y2 (ja) | 複合振動子ユニツト | |
| CN117254788A (zh) | 一种微机电系统谐振器 | |
| JPS5854717A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS6016108Y2 (ja) | 音叉型水晶振動子 |