JPS6238734Y2 - - Google Patents
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- JPS6238734Y2 JPS6238734Y2 JP2108283U JP2108283U JPS6238734Y2 JP S6238734 Y2 JPS6238734 Y2 JP S6238734Y2 JP 2108283 U JP2108283 U JP 2108283U JP 2108283 U JP2108283 U JP 2108283U JP S6238734 Y2 JPS6238734 Y2 JP S6238734Y2
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はガスが吸収液に吸収される過程で反応
により固形物を生成する場合に用いて有効なガス
吸収装置に関する。
により固形物を生成する場合に用いて有効なガス
吸収装置に関する。
従来ガス吸収装置としては第1図に示すように
内部にラシヒリングなどの充填物11を多数充填
した吸収搭9が多く使用されている。
内部にラシヒリングなどの充填物11を多数充填
した吸収搭9が多く使用されている。
これは、この種構造のものは吸収搭9の体積の
割に吸収面積が大きくとれガス吸収性能も比較的
高いために経済的に有利であるからである。しか
しながら上記構造はガスの吸収過程で固形物が生
成する場合、例えばガス中に四塩化珪素
(SiCl4)を含んでいる場合SiCl4は常温常圧下では
気体として存在しており吸収液が水の場合には水
と反応し塩化水素(HCl)ガスと共に固体として
二酸化珪素(SiO2)を生成するような場合には極
めて不利で使用条件によつては、運転不能となる
欠点がある。この例をさらに図面により詳しく説
明する。
割に吸収面積が大きくとれガス吸収性能も比較的
高いために経済的に有利であるからである。しか
しながら上記構造はガスの吸収過程で固形物が生
成する場合、例えばガス中に四塩化珪素
(SiCl4)を含んでいる場合SiCl4は常温常圧下では
気体として存在しており吸収液が水の場合には水
と反応し塩化水素(HCl)ガスと共に固体として
二酸化珪素(SiO2)を生成するような場合には極
めて不利で使用条件によつては、運転不能となる
欠点がある。この例をさらに図面により詳しく説
明する。
第1図において、吸収搭9の内部には多数の小
孔10aを有する目皿10が取付けられこの上に
多数の充填物11がのせられている。目皿10の
下方には先端に下方に向う屈曲部5を有するガス
供給管4が取付けられており、これによりガス1
が導入され目皿10の小孔10aを通り充填物1
1の層を通過して上昇する。一方充填物11の層
の上方には吸収液分配管8が取付けられ循環ポン
プ16により吸収液送入管12を上昇した水3を
下方に均一に流下する。水3は充填物11層内を
流下する過程でガス1と気液接触しガス1中の
SiCl4と反応し、上記のようにHClガスとSiO2の
固形物を生ずる。同時にHClガスは水3に吸収さ
れSiO2は水3によつて下方に搬送される。そし
てHClとSiO2を含んだ水3は排出パイプ6を通り
吸収液タンク14中にプールされる。他方SiCl4
成分が除去された排ガス2はノズル7から外部に
排出される。この場合通常はフアンあるいは真空
ポンプなどの吸引装置により強制排出が行なわれ
る。
孔10aを有する目皿10が取付けられこの上に
多数の充填物11がのせられている。目皿10の
下方には先端に下方に向う屈曲部5を有するガス
供給管4が取付けられており、これによりガス1
が導入され目皿10の小孔10aを通り充填物1
1の層を通過して上昇する。一方充填物11の層
の上方には吸収液分配管8が取付けられ循環ポン
プ16により吸収液送入管12を上昇した水3を
下方に均一に流下する。水3は充填物11層内を
流下する過程でガス1と気液接触しガス1中の
SiCl4と反応し、上記のようにHClガスとSiO2の
固形物を生ずる。同時にHClガスは水3に吸収さ
れSiO2は水3によつて下方に搬送される。そし
てHClとSiO2を含んだ水3は排出パイプ6を通り
吸収液タンク14中にプールされる。他方SiCl4
成分が除去された排ガス2はノズル7から外部に
排出される。この場合通常はフアンあるいは真空
ポンプなどの吸引装置により強制排出が行なわれ
る。
次に上記ガス吸収プロセスにより生ずる欠点を
述べる。
述べる。
(1) ガス供給管4の屈曲部5の下端5a付近に
SiO2の固形物が堆積し、ガス1の圧損が増大
し最悪の場合ガス供給管4が閉そくされる。
SiO2の固形物が堆積し、ガス1の圧損が増大
し最悪の場合ガス供給管4が閉そくされる。
この現象を第2図によりさらに説明すると、
吸収搭9に取付けられたガス供給管4の屈曲部
5の外周面上の水3は薄膜3aを形成して流下
し屈曲部5の下端5aにおいて半球状の水膜3
bを形成する。そしてこの水膜3bはその後一
本の水柱3cを形成し落下する。一方薄膜3a
が下端5aを離れる瞬間ならびに水膜3bが中
央で合流する際微細な水滴3dができこれが屈
曲部5の内側を上昇する。このような水流現象
のもとでガス1が導入された場合にガス1は水
膜3bにより、一時滞留して水膜3bおよび水
滴3dと直接接触しSiCl4は激しく分解反応を
起こし、屈曲部5の下端5aおよび内周面に固
形物SiO2が急激に析出し堆積する(図示せ
ず)。そしてついには固形物によりガス1の流
路が閉そくし、ガス1が流れなくなる。
吸収搭9に取付けられたガス供給管4の屈曲部
5の外周面上の水3は薄膜3aを形成して流下
し屈曲部5の下端5aにおいて半球状の水膜3
bを形成する。そしてこの水膜3bはその後一
本の水柱3cを形成し落下する。一方薄膜3a
が下端5aを離れる瞬間ならびに水膜3bが中
央で合流する際微細な水滴3dができこれが屈
曲部5の内側を上昇する。このような水流現象
のもとでガス1が導入された場合にガス1は水
膜3bにより、一時滞留して水膜3bおよび水
滴3dと直接接触しSiCl4は激しく分解反応を
起こし、屈曲部5の下端5aおよび内周面に固
形物SiO2が急激に析出し堆積する(図示せ
ず)。そしてついには固形物によりガス1の流
路が閉そくし、ガス1が流れなくなる。
(2) 目皿10の小孔10aおよび充填物11の層
に固形物SiO2が析出し、目詰まりを起こしガ
ス1の上昇流および水3の流下が妨げられるた
め吸収率が急激に低下し、ガスの圧損が増大し
ついには運転不能となる。上記目詰りは目皿1
0の小孔10aや充填物11の大きさを大きく
することによつて多少は抑えられるが、この場
合には充填物の洗浄,交換の頻度が多くなり実
用性に乏しい。そしてSiO2の堆積は水流が特
に弱いところや水滴が付着しているところに多
い。したがつて上記現象を生ずる充填物11の
層におけるSiO2の目詰まり現象を避けること
はできない。
に固形物SiO2が析出し、目詰まりを起こしガ
ス1の上昇流および水3の流下が妨げられるた
め吸収率が急激に低下し、ガスの圧損が増大し
ついには運転不能となる。上記目詰りは目皿1
0の小孔10aや充填物11の大きさを大きく
することによつて多少は抑えられるが、この場
合には充填物の洗浄,交換の頻度が多くなり実
用性に乏しい。そしてSiO2の堆積は水流が特
に弱いところや水滴が付着しているところに多
い。したがつて上記現象を生ずる充填物11の
層におけるSiO2の目詰まり現象を避けること
はできない。
(3) SiO2による流路の目詰まりのため吸収搭9
内の圧力が変動しやすく、吸収液タンク14内
の水面18に対し排出パイプ6内の水位19が
大きく変動する。従つて吸収搭9内圧力が高い
場合には水位19が低下し、これが激しいとき
はガス1が排出パイプ6の下端からも逃げてし
まうし、また反対に圧力が低い場合には水位1
9が上昇し極端な場合屈曲部5の下端に達し、
水3がガス供給管4を逆流したりあるいは屈曲
部5の下端におけるSiO2の堆積現象を助長す
る。
内の圧力が変動しやすく、吸収液タンク14内
の水面18に対し排出パイプ6内の水位19が
大きく変動する。従つて吸収搭9内圧力が高い
場合には水位19が低下し、これが激しいとき
はガス1が排出パイプ6の下端からも逃げてし
まうし、また反対に圧力が低い場合には水位1
9が上昇し極端な場合屈曲部5の下端に達し、
水3がガス供給管4を逆流したりあるいは屈曲
部5の下端におけるSiO2の堆積現象を助長す
る。
本考案の目的は上記のような欠点のないガス吸
収装置を提供することにある。
収装置を提供することにある。
本考案は下端を吸収液タンクに接続する吸収搭
内の上部に吸収液分配管,下部に先端に下方に向
う屈曲部を有するガス供給管を装着し、中間部に
吸収部を設けたガス吸収装置において、ガス供給
管の屈曲部の下方外周に該屈曲部の管外径よりも
大きい内径を有し、かつ切欠状下縁を形成した筒
体の上端部を密着せしめ、吸収部を吸収液が薄膜
状に流下する壁面部,吸収液がシヤワー状に落下
する空間部または上記壁面部と空間部とで構成す
るとともに、吸収搭と吸収液タンクを気密接続し
てなるガス吸収装置に関する。
内の上部に吸収液分配管,下部に先端に下方に向
う屈曲部を有するガス供給管を装着し、中間部に
吸収部を設けたガス吸収装置において、ガス供給
管の屈曲部の下方外周に該屈曲部の管外径よりも
大きい内径を有し、かつ切欠状下縁を形成した筒
体の上端部を密着せしめ、吸収部を吸収液が薄膜
状に流下する壁面部,吸収液がシヤワー状に落下
する空間部または上記壁面部と空間部とで構成す
るとともに、吸収搭と吸収液タンクを気密接続し
てなるガス吸収装置に関する。
本考案において、筒体は円筒,角筒のいずれで
もよく、その内径はガス供給管の外径よりも大き
くして落下してくる吸収液(以下水で代表する)
の侵入を防止する。上記の切欠状下縁を形成する
とは、例えば第4図に示すように筒体20の下端
に複数の切欠21を設けることであり、これによ
り筒体外周面を薄膜状に流下する水膜を分断し落
下させる。切欠の先端を21aのように鋭角にす
れば水の滴下または流下が円滑になり好ましい。
筒体の上部は、例えば第4図に示すように傘形と
して水膜の流下をよくし、その頂部はガス供給管
の屈曲部の下方外周部に溶接,接着,はめ合せ,
螺合などの適宜な手段により密着し筒体およびガ
ス供給管の内側に水が入らないようにする。また
ガスを水に吸収させる吸収部の構成は、例えば
第3図に示すように吸収搭内に複数の吸収管27
を配して、水を吸収管の内壁面に沿つて薄膜状に
流下させるか(この場合,吸収管を多くすればガ
スを吸収する壁面部の面積が大きくなる)、吸
収搭内に上部から水をシヤワー状に落下させるよ
うにするか、またはとを複合した構成とす
る。さらに吸収搭の下端は、第1図に示すような
排出パイプ6を設けることなく、直接吸収液タン
クに溶接,接着などの手段で気密に接続し、吸収
搭の内圧または外圧によつてタンク内水位が変動
しないようにする。
もよく、その内径はガス供給管の外径よりも大き
くして落下してくる吸収液(以下水で代表する)
の侵入を防止する。上記の切欠状下縁を形成する
とは、例えば第4図に示すように筒体20の下端
に複数の切欠21を設けることであり、これによ
り筒体外周面を薄膜状に流下する水膜を分断し落
下させる。切欠の先端を21aのように鋭角にす
れば水の滴下または流下が円滑になり好ましい。
筒体の上部は、例えば第4図に示すように傘形と
して水膜の流下をよくし、その頂部はガス供給管
の屈曲部の下方外周部に溶接,接着,はめ合せ,
螺合などの適宜な手段により密着し筒体およびガ
ス供給管の内側に水が入らないようにする。また
ガスを水に吸収させる吸収部の構成は、例えば
第3図に示すように吸収搭内に複数の吸収管27
を配して、水を吸収管の内壁面に沿つて薄膜状に
流下させるか(この場合,吸収管を多くすればガ
スを吸収する壁面部の面積が大きくなる)、吸
収搭内に上部から水をシヤワー状に落下させるよ
うにするか、またはとを複合した構成とす
る。さらに吸収搭の下端は、第1図に示すような
排出パイプ6を設けることなく、直接吸収液タン
クに溶接,接着などの手段で気密に接続し、吸収
搭の内圧または外圧によつてタンク内水位が変動
しないようにする。
以下図面により本考案を説明する。
第3図は本考案の一実施例になるガス吸収装置
の断面図、第4図は第3図のガス供給管の要部拡
大断面図である。
の断面図、第4図は第3図のガス供給管の要部拡
大断面図である。
20は、ガス供給管4の屈曲部5の先端に設け
られた筒体であり、筒体20は第4図に示すよう
に屈曲部5の管外径よりも大きい内径寸法と鋭利
な突起形状の先端21aを有する切欠部21から
なる下縁を有し、また傘形の上端部20aにより
屈曲部5の下方外周に溶接で密着する。30は吸
収搭29の上方内周に水平に固定した半円形断面
をもつ支持リングであり、該支持リング30の上
に円形の底板26と円筒形の側板24で構成され
る吸収液分配器を係止する。24aは側板24の
水平上縁である。25は側板24の切欠状下端部
である。また底板26には多数の垂直な吸収管2
7の上部が挿入固定され、27aは吸収管27の
水平上縁で水平上縁24aと同一平面上にある。
28は吸収管27の切欠状下端部である。22は
下方に向う枝管23を設けた吸収液分配管であ
る。12は上端が吸収液分配管22に、下端が流
量調整用バルブ17を介して循環ポンプ16の出
口16bに接続する吸収液送入管,また31は天
板31a,側板31b,底板31cから構成され
た吸収液タンクで、天板31aの開口部31dに
吸収搭29の下端29aを挿入し溶接で気密接続
する。13は循環ポンプ16の入口16aに接続
する吸収液タンクノズルである。
られた筒体であり、筒体20は第4図に示すよう
に屈曲部5の管外径よりも大きい内径寸法と鋭利
な突起形状の先端21aを有する切欠部21から
なる下縁を有し、また傘形の上端部20aにより
屈曲部5の下方外周に溶接で密着する。30は吸
収搭29の上方内周に水平に固定した半円形断面
をもつ支持リングであり、該支持リング30の上
に円形の底板26と円筒形の側板24で構成され
る吸収液分配器を係止する。24aは側板24の
水平上縁である。25は側板24の切欠状下端部
である。また底板26には多数の垂直な吸収管2
7の上部が挿入固定され、27aは吸収管27の
水平上縁で水平上縁24aと同一平面上にある。
28は吸収管27の切欠状下端部である。22は
下方に向う枝管23を設けた吸収液分配管であ
る。12は上端が吸収液分配管22に、下端が流
量調整用バルブ17を介して循環ポンプ16の出
口16bに接続する吸収液送入管,また31は天
板31a,側板31b,底板31cから構成され
た吸収液タンクで、天板31aの開口部31dに
吸収搭29の下端29aを挿入し溶接で気密接続
する。13は循環ポンプ16の入口16aに接続
する吸収液タンクノズルである。
なお本考案のガス吸収装置の材料としては耐食
性を必要とするので、主に軟質,硬質塩化ビニー
ルを使用したがこれに限定せずポリエチレン,
FRP,不浸透性黒鉛などでもよい。
性を必要とするので、主に軟質,硬質塩化ビニー
ルを使用したがこれに限定せずポリエチレン,
FRP,不浸透性黒鉛などでもよい。
上記実施例においては吸収部に垂直に吸収管2
7を設け、上昇するガスが吸収管27の内壁面上
および吸収搭29の内壁面上を流下する薄膜状の
水および上方からシヤワー状に落下する水の両者
に接触するようにしたが、これに限定する必要は
なく本考案の目的が達成できれば単にガスを薄膜
状に流下する水に、またはシヤワー状に落下する
水に接触するように構成してもよい。
7を設け、上昇するガスが吸収管27の内壁面上
および吸収搭29の内壁面上を流下する薄膜状の
水および上方からシヤワー状に落下する水の両者
に接触するようにしたが、これに限定する必要は
なく本考案の目的が達成できれば単にガスを薄膜
状に流下する水に、またはシヤワー状に落下する
水に接触するように構成してもよい。
次に本実施例になるガス吸収装置の作用を説明
する。まず循環ポンプ16により吸収液送入管1
2を通り吸収液分配管22に送られた水3は枝管
23から吸収液分配器中に供給プールされる。次
いで水3は上端24aおよび27a上を均一にオ
ーバフローする。上端24a上からオーバフロー
した水3は吸収搭29の内壁表面上を均一な薄膜
を形成して落下する。一方上端27aをオーバフ
ローした水3はそれぞれの吸収管27の内周面を
薄膜状に落下し、切欠状下端部28から水滴状あ
るいは柱状となり下部空間内を落下する。また筒
体20の外側面を流下する水は突起形状の下縁2
1から落下する。一方ガス供給管4から供給され
たSiCl4ガス1は水膜により滞留することなく、
直ちに筒体20の下方から上昇し空間を落下する
水滴または水柱および吸収搭29内壁の薄膜状水
と接触し反応吸収され、さらに未反応ガスは上昇
し吸収管27内周面の薄膜状に流下する水3と接
触し、反応吸収が行なわれ吸収成分はほぼ完全に
除去され残つた排ガス2はノズル7から排出され
る。上記のように水3は装置内何れの個所におい
ても停滞することなく薄膜状,シヤワー状などで
流下するのでガスと反応し、固形物としてSiO2
が生成してもこれが堆積し目詰まりによつてガス
の流入,上昇がさまたげられることがなく、
SiO2は水3と共に吸収液タンク31に流入す
る。
する。まず循環ポンプ16により吸収液送入管1
2を通り吸収液分配管22に送られた水3は枝管
23から吸収液分配器中に供給プールされる。次
いで水3は上端24aおよび27a上を均一にオ
ーバフローする。上端24a上からオーバフロー
した水3は吸収搭29の内壁表面上を均一な薄膜
を形成して落下する。一方上端27aをオーバフ
ローした水3はそれぞれの吸収管27の内周面を
薄膜状に落下し、切欠状下端部28から水滴状あ
るいは柱状となり下部空間内を落下する。また筒
体20の外側面を流下する水は突起形状の下縁2
1から落下する。一方ガス供給管4から供給され
たSiCl4ガス1は水膜により滞留することなく、
直ちに筒体20の下方から上昇し空間を落下する
水滴または水柱および吸収搭29内壁の薄膜状水
と接触し反応吸収され、さらに未反応ガスは上昇
し吸収管27内周面の薄膜状に流下する水3と接
触し、反応吸収が行なわれ吸収成分はほぼ完全に
除去され残つた排ガス2はノズル7から排出され
る。上記のように水3は装置内何れの個所におい
ても停滞することなく薄膜状,シヤワー状などで
流下するのでガスと反応し、固形物としてSiO2
が生成してもこれが堆積し目詰まりによつてガス
の流入,上昇がさまたげられることがなく、
SiO2は水3と共に吸収液タンク31に流入す
る。
さらに上記のように固形物による堆積,目詰ま
りがないのでこれに起因する吸収搭内の圧変動は
防止できる。しかしながらガス源あるいは排ガス
吸引装置などの原因で圧力が変動した場合には、
吸収搭内圧の変動は避けられないが本考案におい
ては、吸収液タンクと吸収搭を気密接続し、さら
に吸収液タンクと循環ポンプ,吸収搭との間の吸
収液循環ループも閉じた管路で構成したので仮に
吸収搭の内圧が外的要因で変動しても吸収液タン
ク内の水位18を一定の高さに保持することがで
きる。
りがないのでこれに起因する吸収搭内の圧変動は
防止できる。しかしながらガス源あるいは排ガス
吸引装置などの原因で圧力が変動した場合には、
吸収搭内圧の変動は避けられないが本考案におい
ては、吸収液タンクと吸収搭を気密接続し、さら
に吸収液タンクと循環ポンプ,吸収搭との間の吸
収液循環ループも閉じた管路で構成したので仮に
吸収搭の内圧が外的要因で変動しても吸収液タン
ク内の水位18を一定の高さに保持することがで
きる。
このように本考案によると、ガス供給管の先端
に管外径より大きい内径の筒体を突出固定したの
でガスと吸収液との反応で固形物が生成されても
該固形物により、ガス供給管の出口が閉塞されガ
スの供給が中断されることがなく、また吸収搭内
に供給されたガスは薄膜状,シヤワー状などで流
下,落下する吸収液と接触反応するようにしたの
で反応による固形物が吸収搭内の何れの個所にも
堆積固着することなく、したがつてガスと吸収液
の流れに支障をきたすことがなく、さらに吸収搭
と吸収液タンクおよび循環管路を外気から遮断す
るようにしたので、外圧が変動しても吸収液タン
ク内の液面を一定の高さに保持することができる
ため、ガスの供給がさまたげられる不具合を生ず
ることがないなどの効果がある。
に管外径より大きい内径の筒体を突出固定したの
でガスと吸収液との反応で固形物が生成されても
該固形物により、ガス供給管の出口が閉塞されガ
スの供給が中断されることがなく、また吸収搭内
に供給されたガスは薄膜状,シヤワー状などで流
下,落下する吸収液と接触反応するようにしたの
で反応による固形物が吸収搭内の何れの個所にも
堆積固着することなく、したがつてガスと吸収液
の流れに支障をきたすことがなく、さらに吸収搭
と吸収液タンクおよび循環管路を外気から遮断す
るようにしたので、外圧が変動しても吸収液タン
ク内の液面を一定の高さに保持することができる
ため、ガスの供給がさまたげられる不具合を生ず
ることがないなどの効果がある。
第1図は従来のガス吸収装置の断面図、第2図
は第1図のガス供給管の要部拡大断面図、第3図
は本考案の一実施例になるガス吸収装置の断面
図、第4図は第3図のガス供給管の要部拡大断面
図である。 符号の説明、1……ガス、2……排ガス、3…
…水、3a……薄膜、3b……水膜、3c……水
柱、3d……水滴、4……ガス供給管、5……屈
曲部、5a……下端、6……排出パイプ、7……
ノズル、8……吸収液分配管、9……吸収搭、1
0……目皿、10a……小孔、11……充填物、
12……吸収液送入管、13……吸収液タンクノ
ズル、14……吸収液タンク、15……蓋、16
……循環ポンプ、16a……入口、16b……出
口、17……流量調整用バルブ、18……水位、
19……水位、20……筒体、20a……上端
部、21……切欠部、21a……先端、22……
吸収液分配管、23……枝管、24……側板、2
4a……水平上縁、25……切欠状下端部、26
……底板、27……吸収管、27a……水平上
縁、28……切欠状下端部、29……吸収搭、3
0……支持リング、29a……下端、31……吸
収液タンク、31a……天板、31b……側板、
31c……底板、31d……開口部。
は第1図のガス供給管の要部拡大断面図、第3図
は本考案の一実施例になるガス吸収装置の断面
図、第4図は第3図のガス供給管の要部拡大断面
図である。 符号の説明、1……ガス、2……排ガス、3…
…水、3a……薄膜、3b……水膜、3c……水
柱、3d……水滴、4……ガス供給管、5……屈
曲部、5a……下端、6……排出パイプ、7……
ノズル、8……吸収液分配管、9……吸収搭、1
0……目皿、10a……小孔、11……充填物、
12……吸収液送入管、13……吸収液タンクノ
ズル、14……吸収液タンク、15……蓋、16
……循環ポンプ、16a……入口、16b……出
口、17……流量調整用バルブ、18……水位、
19……水位、20……筒体、20a……上端
部、21……切欠部、21a……先端、22……
吸収液分配管、23……枝管、24……側板、2
4a……水平上縁、25……切欠状下端部、26
……底板、27……吸収管、27a……水平上
縁、28……切欠状下端部、29……吸収搭、3
0……支持リング、29a……下端、31……吸
収液タンク、31a……天板、31b……側板、
31c……底板、31d……開口部。
Claims (1)
- 下端を吸収液タンクに接続する吸収搭内の上部
に吸収液分配管,下部に先端に下方に向う屈曲部
を有するガス供給管を装着し中間部に吸収部を設
けたガス吸収装置において、ガス供給管の屈曲部
の下方外周に該屈曲部の管外径よりも大きい内径
を有しかつ切欠状下縁を形成した筒体の上端部を
密着せしめ、吸収部を吸収液が薄膜状に流下する
壁面部,吸収液がシヤワー状に落下する空間部ま
たは上記壁面部と空間部とで構成するとともに、
吸収搭と吸収液タンクを気密接続してなるガス吸
収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2108283U JPS59142024U (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | ガス吸収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2108283U JPS59142024U (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | ガス吸収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59142024U JPS59142024U (ja) | 1984-09-22 |
| JPS6238734Y2 true JPS6238734Y2 (ja) | 1987-10-02 |
Family
ID=30152214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2108283U Granted JPS59142024U (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | ガス吸収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59142024U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5696533B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2015-04-08 | 宇部興産株式会社 | 減温塔 |
-
1983
- 1983-02-16 JP JP2108283U patent/JPS59142024U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59142024U (ja) | 1984-09-22 |
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