JPS6238854B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6238854B2 JPS6238854B2 JP57061062A JP6106282A JPS6238854B2 JP S6238854 B2 JPS6238854 B2 JP S6238854B2 JP 57061062 A JP57061062 A JP 57061062A JP 6106282 A JP6106282 A JP 6106282A JP S6238854 B2 JPS6238854 B2 JP S6238854B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- wafer
- guide hole
- pushing
- push
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7604—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H10P72/7626—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the construction of the shaft
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ウエーハ押圧げ装置に係り、特に位
置決めされたウエーハを押上げるのに好適なウエ
ーハ押圧げ装置に関するものである。
置決めされたウエーハを押上げるのに好適なウエ
ーハ押圧げ装置に関するものである。
従来、エツチング装置等の半導体製造装置の処
理室に具設されている予備室に設けられているウ
エーハ押上げ装置を第１図により説明する。
理室に具設されている予備室に設けられているウ
エーハ押上げ装置を第１図により説明する。
第１図で、予備室１０の底部には、ホルダ１１
が気密に設けられている。ホルダ１１の上部に
は、フランジ１２を介し押え板１３が設けられて
いる。ホルダ１１の下部には、ブラケツト１４が
設けられたブラケツト１５が垂設されている。ブ
ラケツト１４には、駆動初期時に不安定作動する
駆動装置、例えば、空気シリンダー１６が設けら
れている。空気シリンダー１６のピストン１７の
一端には、カツプリング１８の下端が螺合されて
いる。カツプリング１８の上部には、プツシユ１
９を介し押え板１３で昇降を支持される軸２０の
下端が設けられている。軸２０の上端には、ウエ
ーハ２１が載置されるテーブル２２が設けられて
いる。テーブル２２の表面外周には、滑り止め用
のＯリング２３が設けられている。フランジ１２
と軸２０とには、軸２０の一部を包囲して気密保
持用のベローズ２４が跨設されている。
が気密に設けられている。ホルダ１１の上部に
は、フランジ１２を介し押え板１３が設けられて
いる。ホルダ１１の下部には、ブラケツト１４が
設けられたブラケツト１５が垂設されている。ブ
ラケツト１４には、駆動初期時に不安定作動する
駆動装置、例えば、空気シリンダー１６が設けら
れている。空気シリンダー１６のピストン１７の
一端には、カツプリング１８の下端が螺合されて
いる。カツプリング１８の上部には、プツシユ１
９を介し押え板１３で昇降を支持される軸２０の
下端が設けられている。軸２０の上端には、ウエ
ーハ２１が載置されるテーブル２２が設けられて
いる。テーブル２２の表面外周には、滑り止め用
のＯリング２３が設けられている。フランジ１２
と軸２０とには、軸２０の一部を包囲して気密保
持用のベローズ２４が跨設されている。
他の搬送手段（図示省略）で搬送され位置決め
されたウエーハ２１は、空気シリンダー１６を駆
動し軸２０を介しテーブル２２を上昇させること
で、テーブル２２に載置されて押上げられる。そ
の後、押上げられたウエーハ２１は、更に他の搬
送手段（図示省略）で受取られ予備室１０から処
理室（図示省略）へ搬送される。更に他の搬送手
段でウエーハ２１を取除かれたテーブル２２は、
空気シリンダー１６により軸２０を介し降下され
て元の位置に戻される。
されたウエーハ２１は、空気シリンダー１６を駆
動し軸２０を介しテーブル２２を上昇させること
で、テーブル２２に載置されて押上げられる。そ
の後、押上げられたウエーハ２１は、更に他の搬
送手段（図示省略）で受取られ予備室１０から処
理室（図示省略）へ搬送される。更に他の搬送手
段でウエーハ２１を取除かれたテーブル２２は、
空気シリンダー１６により軸２０を介し降下され
て元の位置に戻される。
このようなウエーハ押上げ装置では、空気シリ
ンダーが駆動初期時に不安定作動するため、テー
ブルを滑らかに上昇させることができず、位置決
めされたウエーハのテーブルへの載置並びに押上
げ時にウエーハの位置ずれが生じるといつた欠点
があつた。
ンダーが駆動初期時に不安定作動するため、テー
ブルを滑らかに上昇させることができず、位置決
めされたウエーハのテーブルへの載置並びに押上
げ時にウエーハの位置ずれが生じるといつた欠点
があつた。
本発明の目的は、上記した従来技術における欠
点を除去して位置決めされたウエーハのテーブル
への載置並びに押上げ時のウエーハの位置ずれを
防止できるウエーハ押上げ装置を提供することに
ある。
点を除去して位置決めされたウエーハのテーブル
への載置並びに押上げ時のウエーハの位置ずれを
防止できるウエーハ押上げ装置を提供することに
ある。
本発明は、ウエーハ押上げ装置を、ウエーハが
載置されるテーブルが設けられた軸と下部から上
下方向に案内孔が形成され前記軸に設けられた案
内体とでなる昇降可能な軸手段と、該軸手段を弾
性力で下降させる駆動手段と、押上げ面を上端面
に有し前記案内孔内に昇降可能に設けられた押上
げ手段と、該押上げ手段を昇降させると共に前記
駆動手段の弾性力に抗し前記押上げ手段を介して
前記軸手段を上昇させる昇降駆動手段と、該昇降
駆動手段による下降を停止した方向押上げ手段の
押上げ面と前記駆動手段により下降させられる前
記案内体の前記案内孔の前記押上げ面と対向する
面との間に作動不感帯空間を保持して前記軸手段
の下降を停止させるストツパ手段とを具備したも
のとすることにより、昇降駆動手段が駆動初期時
に不安定作動しても、テーブルへの載置並びに押
上げ時のウエーハの位置ずれが生じないようにし
たものである。
載置されるテーブルが設けられた軸と下部から上
下方向に案内孔が形成され前記軸に設けられた案
内体とでなる昇降可能な軸手段と、該軸手段を弾
性力で下降させる駆動手段と、押上げ面を上端面
に有し前記案内孔内に昇降可能に設けられた押上
げ手段と、該押上げ手段を昇降させると共に前記
駆動手段の弾性力に抗し前記押上げ手段を介して
前記軸手段を上昇させる昇降駆動手段と、該昇降
駆動手段による下降を停止した方向押上げ手段の
押上げ面と前記駆動手段により下降させられる前
記案内体の前記案内孔の前記押上げ面と対向する
面との間に作動不感帯空間を保持して前記軸手段
の下降を停止させるストツパ手段とを具備したも
のとすることにより、昇降駆動手段が駆動初期時
に不安定作動しても、テーブルへの載置並びに押
上げ時のウエーハの位置ずれが生じないようにし
たものである。
本発明の一実施例を第２図により説明する。
第２図は、本発明によるウエーハ押上げ装置を
エツチング装置等の半導体製造装置の処理室に具
設されている予備室に適用した場合の縦断面図
で、なお、第２図で、第１図と同一装置等は同一
符号で示し説明を省略する。
エツチング装置等の半導体製造装置の処理室に具
設されている予備室に適用した場合の縦断面図
で、なお、第２図で、第１図と同一装置等は同一
符号で示し説明を省略する。
第２図で、軸手段は、軸２０と案内体２７とで
構成されている。昇降駆動手段は、例えば、空気
シリンダー１６である。押上げ手段は、鍔２８と
案内棒２９とで構成されている。軸手段を下降さ
せる駆動手段は、例えば、バネ３２である。スト
ツパ手段は、ストツパー３１である。案内体２７
には、内壁に突起２５を有する案内孔２６が形成
されている。鍔２８は、突起２５に係合可能、か
つ、案内孔２６の内壁と非接触可能な形状、大き
さであり、中心を案内棒２９の軸心と一致させて
案内棒２９の上端に設けられている。この状態
で、鍔２８が案内孔２６内で昇降可能に案内棒２
９は案内孔２６に挿設されている。従つて、この
場合、鍔２８の上面が押上げ手段の上端面とな
る。軸２０の下端には、案内体２７がセツトボル
ト３０で設けられている。この場合、軸２０の軸
心と案内孔２６の軸心とは一致し、軸２０の下端
面は鍔２８の上面と対向して案内孔２６内に露出
させられている。従つて、この場合、軸２０の下
端面が、軸手段の押上げ手段上端面と対向する下
端面となる。案内体２７は、その降下をブラケツ
ト１５に設けられたストツパー３１で停止されて
いる。ホルダ１１と案内体２７との間には、上昇
した案内体２７を降下させ、その下端面をストツ
パー３１に当接させるバネ３２が設けられてい
る。カツプリング１８の上部には、案内棒２９の
下部が螺合されている。この場合、空気シリンダ
ー１６での下降を停止した鍔２８の上面とバネ３
２での下降をストツパー３１で停止された軸２０
の下端面との間には、案内孔２６内で作動不感帯
空間が保持される。この作動不感帯空間の深さ
は、空気シリンダー１６が安定作動するまで鍔２
８の上面が軸２０の下端面に当接しない深さとな
つている。
構成されている。昇降駆動手段は、例えば、空気
シリンダー１６である。押上げ手段は、鍔２８と
案内棒２９とで構成されている。軸手段を下降さ
せる駆動手段は、例えば、バネ３２である。スト
ツパ手段は、ストツパー３１である。案内体２７
には、内壁に突起２５を有する案内孔２６が形成
されている。鍔２８は、突起２５に係合可能、か
つ、案内孔２６の内壁と非接触可能な形状、大き
さであり、中心を案内棒２９の軸心と一致させて
案内棒２９の上端に設けられている。この状態
で、鍔２８が案内孔２６内で昇降可能に案内棒２
９は案内孔２６に挿設されている。従つて、この
場合、鍔２８の上面が押上げ手段の上端面とな
る。軸２０の下端には、案内体２７がセツトボル
ト３０で設けられている。この場合、軸２０の軸
心と案内孔２６の軸心とは一致し、軸２０の下端
面は鍔２８の上面と対向して案内孔２６内に露出
させられている。従つて、この場合、軸２０の下
端面が、軸手段の押上げ手段上端面と対向する下
端面となる。案内体２７は、その降下をブラケツ
ト１５に設けられたストツパー３１で停止されて
いる。ホルダ１１と案内体２７との間には、上昇
した案内体２７を降下させ、その下端面をストツ
パー３１に当接させるバネ３２が設けられてい
る。カツプリング１８の上部には、案内棒２９の
下部が螺合されている。この場合、空気シリンダ
ー１６での下降を停止した鍔２８の上面とバネ３
２での下降をストツパー３１で停止された軸２０
の下端面との間には、案内孔２６内で作動不感帯
空間が保持される。この作動不感帯空間の深さ
は、空気シリンダー１６が安定作動するまで鍔２
８の上面が軸２０の下端面に当接しない深さとな
つている。
他の搬送手段（図示省略）で搬送され位置決め
されたウエーハ（図示省略）をテーブル（図示省
略）に載置し押上げる場合には、まず、空気シリ
ンダー１６を駆動する。空気シリンダー１６の駆
動後、一定時間経過した後にピストン１７は急激
に上昇を開始し、案内棒２９はカツプリング１８
を介し案内孔２６内を急激に上昇する。その後、
ピストン１７の上昇が安定した時点で鍔２８が軸
２０の下端に当接し、軸２０は、案内体２７と共
にバネ３２のバネ力に抗して滑らかに上昇する。
この結果、位置決めされたウエーハは滑らかに上
昇するテーブルに載置されて押上げられる。ま
た、押上げられたウエーハが更に他の搬送手段
（図示省略）で受取られた後は、案内棒２９をカ
ツプリング１８を介し空気シリンダー１６だ案内
孔２６内を降下させると共に、バネ３２のバネ力
で案内体２７を押下げストツパー３１に当接させ
ることで、テーブルは軸２０を介して元の位置ま
で戻される。
されたウエーハ（図示省略）をテーブル（図示省
略）に載置し押上げる場合には、まず、空気シリ
ンダー１６を駆動する。空気シリンダー１６の駆
動後、一定時間経過した後にピストン１７は急激
に上昇を開始し、案内棒２９はカツプリング１８
を介し案内孔２６内を急激に上昇する。その後、
ピストン１７の上昇が安定した時点で鍔２８が軸
２０の下端に当接し、軸２０は、案内体２７と共
にバネ３２のバネ力に抗して滑らかに上昇する。
この結果、位置決めされたウエーハは滑らかに上
昇するテーブルに載置されて押上げられる。ま
た、押上げられたウエーハが更に他の搬送手段
（図示省略）で受取られた後は、案内棒２９をカ
ツプリング１８を介し空気シリンダー１６だ案内
孔２６内を降下させると共に、バネ３２のバネ力
で案内体２７を押下げストツパー３１に当接させ
ることで、テーブルは軸２０を介して元の位置ま
で戻される。
本実施例のようなウエーハ押上げ装置では、空
気シリンダーの駆動初期時の急激な上昇が、軸の
下端面と鍔の上面との間に保持された作動不感帯
空間の作用により軸に伝動されることがなくテー
ブルを滑らかに上昇させることができるので、位
置決めされたウエーハのテーブルへの載置並びに
押上げを滑らかに行うことができ載置並びに押上
げ時のウエーハの位置ずれを防止することができ
る。
気シリンダーの駆動初期時の急激な上昇が、軸の
下端面と鍔の上面との間に保持された作動不感帯
空間の作用により軸に伝動されることがなくテー
ブルを滑らかに上昇させることができるので、位
置決めされたウエーハのテーブルへの載置並びに
押上げを滑らかに行うことができ載置並びに押上
げ時のウエーハの位置ずれを防止することができ
る。
本発明によれば、位置決めされたウエーハのテ
ーブルへの載置並びに押上げを滑らかに行うこと
ができるので、テーブルへの載置並びに押上げ時
のウエーハの位置ずれを防止できる効果がある。
ーブルへの載置並びに押上げを滑らかに行うこと
ができるので、テーブルへの載置並びに押上げ時
のウエーハの位置ずれを防止できる効果がある。
第１図は、従来のウエーハ押上げ装置の縦断面
図、第２図は、本発明によるウエーハ押上げ装置
の一実施例を示す部分縦断面図である。 １６……空気シリンダー、１７……ピストン、
２０……軸、２２……テーブル、２５……突起、
２６……案内孔、２７……案内体、２８……鍔、
２９……案内棒。
図、第２図は、本発明によるウエーハ押上げ装置
の一実施例を示す部分縦断面図である。 １６……空気シリンダー、１７……ピストン、
２０……軸、２２……テーブル、２５……突起、
２６……案内孔、２７……案内体、２８……鍔、
２９……案内棒。
Claims (1)
- １ ウエーハが載置されるテーブルが設けられた
軸と下部から上下方向に案内孔が形成され前記軸
に設けられた案内体とでなる昇降可能な軸手段
と、該軸手段を弾性力で下降させる駆動手段と、
押上げ面を上端面に有し前記案内孔内に昇降可能
に設けられた押上げ手段と、該押上げ手段を昇降
させると共に前記駆動手段の弾性力に抗し前記押
上げ手段を介して前記軸手段を上昇させる昇降駆
動手段と、該昇降駆動手段による下降を停止した
前記押上げ手段の押上げ面と前記駆動手段により
下降させられる前記案内体の前記案内孔の前記押
上げ面と対向する面との間に作動不感帯空間を保
持して前記軸手段の下降を停止させるストツパ手
段とを具備したことを特徴とするウエーハ押上げ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57061062A JPS58178533A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | ウエ−ハ押上げ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57061062A JPS58178533A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | ウエ−ハ押上げ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178533A JPS58178533A (ja) | 1983-10-19 |
| JPS6238854B2 true JPS6238854B2 (ja) | 1987-08-20 |
Family
ID=13160299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57061062A Granted JPS58178533A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | ウエ−ハ押上げ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178533A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH054282Y2 (ja) * | 1984-12-04 | 1993-02-02 | ||
| JPS63308337A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Teru Kyushu Kk | スピンナ− |
| JP5306065B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2013-10-02 | 株式会社荏原製作所 | ドレッシング装置およびドレッシング方法 |
| CN110246783B (zh) * | 2019-06-10 | 2021-06-15 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种去胶机夹持主轴 |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP57061062A patent/JPS58178533A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58178533A (ja) | 1983-10-19 |
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