JPS623885Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は熱電子陰極構造体、特に熱電子放射性
能を有する陰極を発熱性保持体によつて保持する
とともに、一対の導電性部材によつて挾持する装
置において、導電性部材と電極とを結合部材で固
定することによつて、発熱性保持体からの熱を電
極に伝わりにくいものとし、かつ、各種の電子銃
に合せて組立できるように構成した熱電子陰極構
造体に関する。

（従来の技術ならびに考案が解決しようとする問
題点） 熱電子放射性能を持つ陰極において、特に六ホ
ウ化ランタンは優れた熱電子放射特性のゆえに注
目されている。これらの熱電子陰極は、走査形電
子顕微鏡、Ｘ線マイクロアナライザー、オージエ
電子分析器等の電子線分析機器のみならず、電子
ビーム露光装置、加速器、電子ビーム溶接機など
の産業機器にも使用されているが、各装置によつ
て電子銃、特にマウントの形状、大きさが異なる
ために、同一形状の熱電子陰極構造体を前記の各
装置に共通には使用できなかつた。しかも、ヒー
ター（発熱性保持体）の熱が電極に伝わりやすい
ので、外部電源導入端子の選定にあたつては、熱
的劣化の小さいものにする配慮が必要であつた。

これに対して、実願昭48−129589号（実開昭50
−74266号）の願書に添付した明細書及び図面の
内容を撮影したマイクロフイルムには冷却のため
に絶縁油を用いることが示されている。しかしな
がら、絶縁油のような液体を用いることは煩雑で
保守に手数がかかるという欠点がある。また、実
開昭49−107258号公報には発熱性グラフアイト部
材を支持する支持体に凹部を設けることによつて
該グラフアイト部材と支持体との接触面積を小さ
くし、前者から後者への伝導熱量を減少させるこ
とが示されている。しかしながら支持体に凹部を
設けるような製作は手数がかかる上に、このよう
な発熱性グラフアイトの支持方法は不安定であ
り、使用中に発熱体の固定がずれる恐れがある。
本考案者らはこのような欠点がない熱電子陰極構
造体について種々検討を行なつた結果、本考案に
想到した。

（問題点を解決するための手段） 本考案は簡単な手段によつてこれらの欠点を解
決した熱電子陰極構造体を提供するものである。
すなわち本考案は熱電子放射性能を有する陰極を
発熱性保持体によつて保持する一方、これら発熱
性保持体を一対の導電性部材によつて挾持し、更
に、導電性部材の外側から前記陰極及び発熱性保
持体をバネにより押圧する押圧手段を設けてな
り、しかも、導電性部材と電極とを帯状金属板か
らなる結合部材により固定したことを特徴とす
る。本考案において結合部材を用いて導電性部材
の脚部の長さや結合部材の帯状金属板の長さを調
節し、電極と導電性部材を固定すれば、同一の導
電性部材及び押圧手段を用い、絶縁基板からの陰
極の高さや、マウントの絶縁基盤に固定されてい
る電極の間隔にかかわらず、各種の電子ビーム応
用機器の電子銃に合わせ、調節自在に組立てるこ
とができる。また、帯状金属板からなる結合部材
の形状はリング状にすることが好ましい、なお結
合部材は導電性の高い金属が好ましいが必ずしも
これに限られるものではなく、他の手段により電
極と導電性部材を導通させればよい。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面に従つて詳細に
説明する。

第１図は本考案の熱電子陰極構造体の正面半断
面図であり、第２図はＡ−Ａ面における平面断面
図である。

結合部材は、リング状とした帯状金属板４ａ，
４ｂの端部に断面が半円の柱状の導電性部材用支
柱２ａ，２ｂを１ないし数個所スポツト溶接した
ものである。導電性部材５ａ，５ｂの脚部３ａ，
３ｂは予め長めに作つておき、陰極の必要な高さ
に合せて切断し、結合部材の導電性部材用支柱２
ａ，２ｂにスポツト溶接する。帯状金属板４ａ，
４ｂの他端は、電極１ａ，１ｂとスポツト溶接す
る。帯状金属板４ａ，４ｂの長さは、電極１ａ，
１ｂと導電性部材５ａ，５ｂとの必要とする間隔
になるよう調節しておく。該導電性部材用支柱
は、断面が半円形であるので、帯状金属板をスポ
ツト溶接してから折曲げる時に、両者の間に隙間
なく密着できる効果がある。従つて導電性部材５
ａ，５ｂの脚部が帯状金属板と密着できる形状で
あれば、必らずしも導電性部材用支柱２ａ，２ｂ
を用いなくとも良い。

導電性部材５ａ，５ｂに設けられた押圧手段に
より陰極９は発熱性保持体１０ａ，１０ｂを介し
て押圧挾持する。押圧手段は、導電性部材５ａ，
５ｂの途中に一対に孔が設けられ、支柱１２が貫
通した絶縁体６ａ，６ｂが該孔に嵌め込まれてお
り、更に支柱１２に同軸に配された耐熱金属から
なるバネ７ａ，７ｂを介して、ナツト８ａ，８ｂ
を支柱１２の端部にネジに螺合することにより導
電性部材５ａ，５ｂに押圧力を加える。導電部材
５ａ，５ｂと支柱１２は絶縁体６ａ，６ｂにより
電気的及び熱的に絶縁されており、更に、この押
圧手段は電子銃の形状や大きさが異なつても共通
に使用することが可能である。

熱電子陰極構造体は、絶縁基盤１１に固定され
た電極１ａ，１ｂを電子銃室に設けられた外部電
源導入端子（図示してなし）にさし込むことによ
り、電極と外部電源が接続され、電流は電極１
ａ，１ｂから帯状金属板４ａ，４ｂ、導電性部材
用支柱２ａ，２ｂを通り、更に導電性部材５ａ，
５ｂを介して発熱性保持体１０ａ，１０ｂ及び陰
極９に供給される。

（効 果） 本考案の熱電子陰極構造体では、帯状金属板か
らなる結合部材を用いることにより、帯状金属板
は表面積が比較的大きいものであるため熱の放散
が大きい。このため発熱性保持体からの伝熱で高
温になつている導電性部材の熱を電極に伝達する
のを防止することになり、外部電源導入端子のバ
ネ弾性が熱的に劣化する等の欠点がなくなるとい
う効果がある。あわせて、本願考案のような熱電
子陰極構造体とする際に、導電性部材に取り付け
固定される電極の構造を変えるだけで異なる使用
対象に応えることができ、ストツク上において
も、また、生産管理上からも極めて好都合になる
という効果を奏する。例えば、現在用いられてい
る異なつた数種類のタングステンヘアピン用マウ
ントを用いて本考案の熱電子陰極構造体を組立て
ることが可能であつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の熱電子陰極構造体の実施例を
示す正面図、第２図はその平面図である。 図中の付号は、１……電極、２……導電性部材
用支柱、３……導電性部材の脚部、４……帯状金
属板、５……導電性部材、６……絶縁体、７……
バネ、８…ナツト、９……陰極、１０……発熱性
保持体、１１……絶縁基盤、１２……支柱を示
す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 熱電子放射性能を有する陰極を発熱性保持体に
   よつて保持する一方、これら発熱性保持体を一対
   の導電性部材によつて挾持し、更に、導電性部材
   の外側から前記陰極及び発熱性保持体をバネによ
   り押圧する押圧手段を設けてなり、しかも、導電
   性部材と電極とを帯状金属板からなる結合部材に
   より固定してなることを特徴とする熱電子陰極構
   造体。