JPS6240192Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案は、一般的には、精密測定器或いは精密
加工機等の精密機器を載置するための防振台に係
り、より詳細には、該防振台の水平方向振動を効
果的に減衰するための水平方向振動減衰装置に関
する。

従来技術 第１図は、従来の防振台の一例を説明するため
の要部概略構成図で、図中、１は精密測定器或い
は精密加工機等が搭載される搭載板、２は該搭載
板１を空気圧にて弾性支持している空気ばね支持
装置、３はダイヤフラム、４ま弾性支持部材、５
は補助空気槽、６は前記空気ばね支持装置２と補
助空気槽５とを連通するパイプ、７は圧縮空気供
給パイプ、８は搭載板１に固定されたプローブ、
９は制御弁、１０は該制御弁９と前記補助空気槽
５とを連通するパイプで、周知のように、搭載板
１の上の精密機器を搭載して使用するが、その
際、該精密機器に外部からの振動が伝達されない
ようにするために搭載板１を空気ばね支持装置２
にて弾性支持している。而して、上述のごとき防
振台においては、搭載板１に搭載する精密機器の
重量によつて該搭載板１のレベルが変動してしま
うという問題がある。プローブ８及び制御弁９
は、このような問題を解決するために設けられた
もので、例えば、精密機器の重量が重い場合に
は、搭載板１のレベルが下がり、それに従つて、
プローブ８のレベルも下がるが、プローブ８が下
がると制御弁９の給入弁が動作して図示しない圧
縮空気源からの圧縮空気がパイプ７、制御弁９、
パイプ１０を通して補助空気槽５に供給され、空
気ばね支持装置２内の圧力を上昇させる。斯様に
して、空気ばね支持装置２内の圧力が上昇する
と、搭載板１が上昇し、それに従つてプローブ８
も上昇し、該プローブ８が所定レベルになると制
御弁９の給入弁が動作して空気ばね支持装置２内
への空気の給入が停止され、搭載板１従つて精密
機器はその所定レベるに維持される。一方、搭載
板１に搭載される精密機器の重量が軽い場合に
は、搭載板１及びプローブ８が上昇し、制御弁９
の排気弁が開口し、補助空気槽５内の空気がパイ
プ１０、制御弁９の排気弁を通して大気中に排出
され、空気ばね支持装置内の空気圧が低下され
る。斯様にして、空気ばね支持装置２内の空気圧
が低下すると、搭載板１が下降し、それに従つて
プローブ８も下降し、該プローブ８が所定レベル
になると制御弁９の排気弁が閉塞して空気の排出
が停止し、搭載板１従つて精密機器はその所定レ
ベルに維持される。

また、上記防振台においては、搭載板１上に搭
載された機器を操作したり、機器の部品が水平方
向に移動停止を繰り返するような場合、或いは、
床に防振台水平方向の固有振動数に近い大きな振
動があつたような場合、搭載板１が水平方向に大
きく揺り動かされる。

第２図は、上述のごとき防振台に水平方向の振
動が加わつた場合の様子を示す要部概略構成図
で、前述のようにして搭載板１が水平方向に動か
されると、ダイヤフラム３が球面座のような動き
をし、弾性支持部材（例えば防振ゴム）４は、図
示のように、一方の側が圧縮され、他方の側が引
張られるような動きをするが、この動きに対して
減衰作用として働くものは、主として、圧縮、引
張りを繰り返す弾性支持部材４の内部摩擦であ
る。而して、防振台上での機器の操作や部品の移
動のないものについては、上記弾性支持部材４に
よる減衰作用で、上述のごとき水平方向の振動を
十分に減衰させることができたが、防振台上で機
器の操作、移動等が行われるものについは、減衰
作用が小さいため、揺動振幅が大きくなつたり、
振動がいつまでも止まらないといつた欠点があつ
た。なお、このような問題を解決するために、従
来、固定部分にダンパーを設け、揺動時、該ダン
パーに搭載板を直接当てるようにしているが、こ
のようにすると、床の振動が該ダンバーを通して
搭載板に伝達されてしまい、防振性能が低下され
てしまうという問題があつた。

目 的 本考案は、上述のごとき従来技術の欠点を解決
するためになされたもので、特に、防振台の水平
方向の大きな揺動をできるだけ小さく抑え、か
つ、該揺動をできるだけ早く止めることを目的と
してなされたものである。

構 成 第３図は、本考案の一実施例を説明するための
要部構成図で、図中、第１図と同様の作用をする
部分には、第１図の場合と同一の参照番号が付し
てある。而して、本考案においては、例えば、補
助空気槽５内に液（油）槽１１を設け、該液槽１
１内に空気ばね支持装置２の底部より吊下した制
動翼１２を浸漬するようにしている。従つて、本
考案において、搭載板１が水平方向に動かされる
と、第２図に関連して説明したように、弾性支持
部材４が変形して空気ばね支持装置２が傾斜し、
これに伴なつて制動翼１２も傾斜し、その際、該
制動翼１２は液槽１１内の液体の摩擦抵抗を受け
る。その場合、制動翼１２の動きの支点は、高さ
方向において防振ゴム４の略中間点Ｐにあるの
で、搭載板１の動きに対する制動翼１２の先端部
の動きは、該支点Ｐからダイヤフラム３までの距
離l₁と、該支点Ｐから制動翼１２の先端部までの
距離l₂との比に比例する。従つて、搭載板１の動
きに対して制動翼１２の先端部の動きは数倍大き
くなり、大きな減衰作用を受けることができる。

なお、第３図には、液槽１１を補助空気槽５内
に配設する例を示したが、本考案は、上記実施例
に限定されるものではなく、例えば、弾性支持部
材４を液槽１１で支持するようにし、補助空気槽
は任意所望の箇所例えば防振台の梁１３内に設け
るようにしてもよい。

効 果 以上の説明から明らかなように、本考案による
と、搭載板１の水平方向の動きに対して制動翼１
２を数倍大きく動かすことができるので、大きな
減衰作用を受けることができ、しかも、制動液
（油）の量、粘度等を変えることにより、減衰量
を変えることができる。また、床振動は、液槽、
該液槽内の液体を経て制動翼に伝達されるが、こ
の制動翼の振動は、空気ばね支持装置（ダイヤフ
ラム）によつて防振されるので、床振動が搭載板
１に伝達される割合は小さく、従つて、減衰装置
を付加することによつて防振性能が大きく損なわ
れるようなことはない等の利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の防振台の一例を説明するため
の要部概略構成図、第２図は、第１図に示した防
振台において水平方向の振動が加わつた場合の様
子を示す要部概略構成図、第３図は、本考案の一
実施例を説明するための要部構成図である。 １……搭載板、２……空気ばね支持装置、３…
…ダイヤフラム、４……弾性支持部材、５……補
助空気槽、１１……液槽、１２……制動翼、１３
……梁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 機器等の物体を載置するための搭載板と、該搭
   載板を支持する空気ばね支持装置と、該空気ばね
   支持装置を支持する弾性部材と、前記空気ばね支
   持装置に連通している補助空気槽とを有する防振
   台において、前記弾性部材を支持する液槽を有
   し、該液槽内に前記空気ばね支持装置の底部より
   垂下された制動翼が浸漬されていることを特徴と
   する防振台の水平方向振動減衰装置。