JPS6240835U - - Google Patents

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JPS6240835U
JPS6240835U JP1985132698U JP13269885U JPS6240835U JP S6240835 U JPS6240835 U JP S6240835U JP 1985132698 U JP1985132698 U JP 1985132698U JP 13269885 U JP13269885 U JP 13269885U JP S6240835 U JPS6240835 U JP S6240835U
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JP
Japan
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wafer
orientation flat
fixing table
sensor
end point
Prior art date
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Pending
Application number
JP1985132698U
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  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例を示す概略図、第２図
はコントローラのブロツク図、第３図は各部の動
作状態を示す説明図である。 １：ウエハ、１ａ：オリフラ、２：センサ、３
：固定テーブル、４：モータ、５：コントローラ
、１１，１２：アンドゲート、１３，１４：反転
器、１５：１／２分周器、１６：カウンタ、１７
：判定回路、１８：オアゲート、１９：フリツプ
フロツプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 中心位置決めされたウエハを固定するとともに
    その中心軸の回りにモータによつて回転するウエ
    ハ固定テーブルと、同ウエハ固定テーブル上のウ
    エハのオリフラの有無を検知するセンサと、同セ
    ンサがオリフラの始端点を検出して終端点を検出
    するまでのウエハ固定テーブルの回転角度を算出
    する角度算出手段と、前記センサがオリフラの終
    端点を検出したときに前記角度算出手段によつて
    算出された回転角度の１／２だけ前記ウエハ固定
    テーブルを戻す手段とを備えたことを特徴とする
    ウエハのオリフラ方向位置決め制御装置。
JP1985132698U 1985-08-29 1985-08-29 Pending JPS6240835U (ja)

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JP1985132698U JPS6240835U (ja) 1985-08-29 1985-08-29

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JP1985132698U JPS6240835U (ja) 1985-08-29 1985-08-29

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JPS6240835U true JPS6240835U (ja) 1987-03-11

Family

ID=31032330

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1985132698U Pending JPS6240835U (ja) 1985-08-29 1985-08-29

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