JPS6244944A - 電子顕微鏡用シヤツタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は電子顕微鏡のシャッタ装置、特に走査透過電
子顕微鏡において極微小回折を行うためのシャッタ装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

走査透過電子顕微鏡において極微小回折を行う場合、蛍
光板に穴を開け、この穴を通過した拡大像を透過電子検
出器に入れ、ロッキングに同期させてＣＲＴ上に回折像
を形成させる。電子顕微鏡の一般的な機能は、蛍光板の
下にフィルムを置き、通常はそのまま観察し、写真撮影
する時のみ蛍光板を上げて電子線を下のフィルムに当て
撮影するようになっている。このため蛍光板に穴が有る
と一般の使用からは不都合となる。従って極微小回折を
行う時のみに穴を開けるようなシャッタ装置が必要とな
る。

第３図および第４図は従来のシャッタ装置を示す斜視図
であり、第３図は通常の使用状態、第４図は極微小回折
を行う場合を示している。図において、１は大蛍光板、
２は小蛍光板であり、小蛍光板２に光軸３」−に絞り穴
４を開け、この絞り穴４を小蛍光板２の背面において軸
５を中心に回転可能なシャッタ６が塞いでいる。シャッ
タ６の一端にはフック７が設けられ、小蛍光板２の溝８
を通して表側に突出している。

電子顕微鏡の通常の使用時には第３図の状態で使用され
る。極微小回折を行う場合は第４図に示すように、真空
外から操作可能な開閉器９を、小蛍光板２を通してシャ
ッタ６から突出しているフック７に引っ掛けて引くと、
シャッタ６は軸５を中心に回転し、光軸３」−に開けた
絞り穴４より電子線が通り透過電子検出器に入る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来のシャッタ装置において
は、開閉器９が小蛍光板２と一体でないため、操作によ
り小蛍光板２に傷を付けるおそれがあり、またフック７
に開閉器９を引っ掛けるのが困難であるとともに、小蛍
光板２に軸５、フック７、溝８等が付くため、一般の使
用時に影等により観察の障害となるなどの問題点があっ
た。

この発明は上記問題点を解決するためのもので、簡Ｂな
構造と操作により、容易にシャッタを開閉でき、電子線
および二次電子等を確実に遮断するとともに、故障や傷
の発生がなく、かつ観察の障害とならない電子顕微鏡用
シャッタ装置を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、絞りを有する蛍光板と、前記絞りにほぼ対
応する位置に穴を有しかつ前記蛍光板を保持して観察位
置から回折位置を経て待避位置まで回転させる保持板と
、観察位置において前記絞りを閉じるとともに回折位置
において絞りを開くように前記保持板の回転に伴って回
転するシャッタとを備え、前記絞りおよび穴は観察位置
において光軸から外れかつ回折位置において光軸」二に
並ぶように配置されたことを特徴とする電子顕微鏡用シ
ャッタ装置である。

〔作　用〕

この発明の電子顕微鏡用シャッタ装置においては、観察
位置では蛍光板は電子線の照射を受ける位置にあり、こ
のとき絞りおよび保持板の穴は光軸から外れ、かつシャ
ッタは絞りを閉じる位置にあるため、電子線は遮断され
、二次電子の通過も妨げられ、蛍光板上で観察が行オ〕
れる。この位置から保持板を回転させて蛍光板を回折位
置に−１−昇させると、シャッタは絞りを開くとともに
、絞りおよび穴は光軸上に並ぶため電子ビームは通過し
、これにより極微小回折が行われる。保持板をさらに回
転させて蛍光板を待避位置に移動させると、蛍光板等は
電子線のビーム広がり角から外れ、写真撮影等が行われ
る。

〔実施例〕

以下、この発明を図面の実施例について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図はその一
部の拡大断面図である。図において、１１は蛍光板であ
って、絞り■２を有し、保持板１３の上側に取付けられ
ている。保持板１３は絞り１２にほぼ対応する位置に穴
１４を有し、ホルダ１５を介して軸１６とともに回転で
きるように筺体１７に固定されている。軸１６は図示し
ないモータにより回転し、蛍光板１１および保持板１３
をＡ、Ｂ、Ｃ位置に移動させるようになっている。

Ａ位置は観察位置で、通常の使用時において蛍光板１１
−１−で！ｌ！察する場合に使用される。Ｂ位置は回折
位置で、極微小回折を行う場合であり、蛍光板１１は若
干上昇している。Ｃ位置は待避位置で、一般の使用時に
おいて、写真撮影、エネルギアナライザ、走査透過電子
顕微鏡等に利用される。

保持板１３の下側には室１８が設けられて、その下部に
穴１９が形成されている。室１８の側壁の開口部２０に
はシャッタ２１が軸２２を中心に回転するように取付け
られており、Ａ位置において穴１４と対向する部分にカ
ーボン２３が設けられている。シャッタ２１にはアーム
２４が伸びて自重により常に矢印Ｘ方向に回転するよう
に重心がセットされており、ストッパ２５によって係止
されている。アーム２４の先端にはストッパ２６が形成
され、Ａ位置において、筐体１７によって係止されると
ともに、保持板１３の係合部２７と係合するようになっ
ている。

絞り１２、穴１４および穴１９はＡ位置においては光軸
３−ｔ：から外れるとともに同じ中心線−１−になく、
Ｂ位置においては光軸３上に並ぶように配置されている
。２８は電子線であり、αはビーム開き角を示す。第１
図ではＡ位置は破線、Ｂ位置は１点鎖線、Ｃ位置は実線
で示されており、第２図ではＡ位置は実線、Ｂ位置は１
点鎖線で示され、Ｂ位置の各部の符号にはｂが付されて
いる。

上記の構成において、図示しないモータを駆動して軸１
６を回転させると、保持板１３が回転し、これに伴って
蛍光板１１がＡ位ＩＭからＣ位置に回転する。Ａ位置に
おけるシャッタ２１はストッパ２６が筐体１７によって
係止されるとともに、保持板１３の係合部２７と係合す
る。この状態でシャッタ２１は絞り１２および穴１４を
閉じ、カーボン２３は穴１４に対向した状態になる。ま
た絞り１２、穴１４および穴１９は光軸３−Ｆ、から外
れ、かつ−直線−にに並ばない。このため電子線２８は
シャッタ２１によって遮断され、下側に通過しないため
、蛍光板１１−■−で観察が行われる。

光軸３−ヒの電子線２８のみを考えれば、光軸３から絞
り１２ａがずれていれば蛍光板１１より下には通らない
が、蛍光板１１−１−で像を観察する時は電子線２８が
広がるため、絞り１２を通して電子線２８の一部が下へ
通過する。これを防止するために穴１４．１９が同一直
線上に並ばないように設けられ、これにより電子線２８
が遮断される。

シャッタ２１はＡ位置では筺体１７に当り、絞り１２お
よび穴１４を塞ぐので、像観察時に絞り１２を通過した
電子線２８を遮断する。カーボン２３は絞り１２および
穴１４の壁等に当った電子線が方向を変えて穴１９を通
過するのを防ぐとともに、絞り１２の壁で発生する二次
電子等の通過を防ぐ。また散乱した二次電子は室１８に
閉じ込められる。

軸１６を回転させて蛍光板１１をＢ位置に回転させると
、シャッタ２１．ｂは筺体１７から離れて自重で矢印Ｘ
方向に回転するため、カーボン２３ｂは穴１４ｂの対向
位置から移動し、シャッタ２１ｂは開いて絞り１２ｂお
よび穴１４ｂの遮断を解除するとともに、絞り１２ｂ、
穴１４ｂおよび穴１９ｂは光軸３−にに一直線上並び、
光軸３上の電子線２８は絞り１２ｂ、穴１４ｂおよび穴
１９ｂを通して下側に通過し、極微小回折が行われる。

さらに軸１６を回転させ、蛍光板１１をＣ位置に回転す
ると、蛍光板１１、保持板】３およびこれに取付けられ
た各部は電子線２８のビーム開き角α内に入らないため
、これらの影は発生せず、写真撮影、エネルギアナライ
ザ、走査透過電子顕微鏡等として使用される。

上記のシャッタ装置では、シャッタ２１は蛍光板１１の
回転方向と逆の回転方向で自重により動くため、構造が
簡単で、故障が少ない。また蛍光板１１が回転すると、
絞り１２と穴１．４．１９が一直線上に並ぶため操作が
簡単になり、故障の心配がなく、蛍光板１１の損傷の発
生や影等によるＩ察の障害もない。

なお、上記実施例ではシャッタ２１の移動を自重による
回転で行ったが、モータと連動させてもよい。

〔発明の効果〕

この発明によれば、蛍光板を保持板により回転させ、シ
ャッタで絞りを開閉するとともに蛍光板の絞りおよび保
持板の穴を光軸上に並びまたは外れるように配置したの
で、簡単な構造と操作により、容易にシャッタを開閉で
き、電子線および二次電子等を確実に遮断できるととも
に、故障や傷の発生がなく、かつ観察の障害とならない
などの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の断面図、第２図はその一部の拡大断面
図、第３図および第４図は従来のシャッタ装置の斜視図
である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、３は光
軸、１１は蛍光板、１２は絞り、１３は保持板。 １４．１９は穴、１６．２２は軸、１７は筐体、１８は
室、２１はシャッタ、２３はカーボン、２８は電子線で
ある。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）絞りを有する蛍光板と、前記絞りにほぼ対応する
   位置に穴を有しかつ前記蛍光板を保持して観察位置から
   回折位置を経て待避位置まで回転させる保持板と、観察
   位置において前記絞りを閉じるとともに回折位置におい
   て絞りを開くように前記保持板の回転に伴って回転する
   シャッタとを備え、前記絞りおよび穴は観察位置におい
   て光軸から外れかつ回折位置において光軸上に並ぶよう
   に配置されたことを特徴とする電子顕微鏡用シャッタ装
   置。
2. （２）シャッタは保持板の穴に対応する位置に穴を有す
   る室に回転可能に取付けられた特許請求の範囲第１項記
   載のシャッタ装置。
3. （３）シャッタは自重により回転して絞りを開閉するよ
   うにされた特許請求の範囲第１項または第２項記載のシ
   ャッタ装置。