JPH0160896B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は電子顕微鏡のシヤツタ装置、特に走
査透過電子顕微鏡において極微小回折を行うため
のシヤツタ装置に関するものである。

〔従来の技術〕

走差透過電子顕微鏡において極微小回折を行う
場合、蛍光板に穴を開け、この穴を通過した拡大
像を透過電子検出器に入れ、ロツキングに同期さ
せてCRT上に回折像を形成させる。電子顕微鏡
の一般的な機能は、蛍光板の下にフイルムを置
き、通常はそのまま観察し、写真撮影する時のみ
蛍光板を上げて電子線を下のフイルムに当て撮影
するようになつている。このため蛍光板に穴が有
ると一般の使用からは不都合となる。従つて極微
小回折を行う時のみに穴を開けるようなシヤツタ
装置が必要となる。

第３図および第４図は従来のシヤツタ装置を示
す斜視図であり、第３図は通常の使用状態、第４
図は極微小回折を行う場合を示している。図にお
いて、１は大蛍光板、２は小蛍光板であり、小蛍
光板２に光軸３上に絞り穴４を開け、この絞り穴
４を小蛍光板２の背面において軸５を中心に回転
可能なシヤツタ６が塞いでいる。シヤツタ６の一
端にはフツク７が設けられ、小蛍光板２の溝８を
通して表側に突出している。

電子顕微鏡の通常の使用時には第３図の状態で
使用される。極微小回折を行う場合は第４図に示
すように、真空外から操作可能な開閉器９を、小
蛍光板２を通してシヤツタ６から突出しているフ
ツク７に引つ掛けて引くと、シヤツタ６は軸５を
中心に回転し、光軸３上に開けた絞り穴４より電
子線が通り透過電子検出器に入る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来のシヤツタ装置
においては、開閉器９が小蛍光板２と一体でない
ため、操作により小蛍光板２に傷を付けるおそれ
があり、またフツク７に開閉器９を引つ掛けるの
が困難であるとともに、小蛍光板２に軸５、フツ
ク７、溝８等が付くため、一般の使用時に影等に
より観察の障害となるなどの問題点があつた。

この発明は上記問題点を解決するためのもの
で、簡単な構造と操作により、容易にシヤツタを
開閉でき、電子線および二次電子等を確実に遮断
するとともに、故障や傷の発生がなく、かつ観察
の障害とならない電子顕微鏡用シヤツタ装置を提
供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、絞りを有する蛍光板と、前記絞り
にほぼ対応する位置に穴を有しかつ前記蛍光板を
保持して観察位置から回折位置を経て待避位置ま
で回転させる保持板と、観察位置において前記絞
りを閉じるとともに回折位置において絞りを開く
ように前記保持板の回転に伴つて回転するシヤツ
タとを備え、前記絞りおよび穴は観察位置におい
て光軸から外れかつ回折位置において光軸上に並
ぶように配置されたことを特徴とする電子顕微鏡
用シヤツタ装置である。

〔作 用〕

この発明の電子顕微鏡用シヤツタ装置において
は、観察位置では蛍光板は電子線の照射を受ける
位置にあり、このとき絞りおよび保持板の穴は光
軸から外れ、かつシヤツタは絞りを閉じる位置に
あるため、電子線は遮断され、二次電子の通過も
妨げられ、蛍光板上で観祭が行われる。この位置
から保持板を回転させて蛍光板を回折位置に上昇
させると、シヤツタは絞りを閉くとともに、絞り
および穴は光軸上に並ぶため電子ビームは通過
し、これにより極微小回折が行われる。保持板を
さらに回転させて蛍光板を待避位置に移動させる
と、蛍光板等は電子線のビーム広がり角から外
れ、写真撮影等が行われる。

〔実施例〕

以下、この発明を図面の実施例について説明す
る。第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、
第２図はその一部の拡大断面図である。図におい
て、１１は蛍光板であつて、絞り１２を有し、保
持板１３の上側に取付けられている。保持板１３
は絞り１２にほぼ対応する位置に穴１４を有し、
ホルダ１５を介して軸１６とともに回転できるよ
うに筺体１７に固定されている。軸１６は図示し
ないモータにより回転し、蛍光板１１および保持
板１３をＡ，Ｂ，Ｃ位置に移動させるようになつ
ている。

Ａ位置は観察位置で、通常の使用時において蛍
光板１１上で観察する場合に使用される。Ｂ位置
は回折位置で、極微小回折を行う場合であり、蛍
光板１１は若干上昇している。Ｃ位置は待避位置
で、一般の使用時において、写真撮影、エネルギ
アナライザ、走査透過電子顕微鏡等に利用され
る。

保持板１３の下側には室１８が設けられて、そ
の下部に穴１９が形成されている。室１８の側壁
の開口部２０にはシヤツタ２１が軸２２を中心に
回転するように取付けられており、Ａ位置におい
て穴１４と対向する部分にカーボン２３が設けら
れている。シヤツタ２１にはアーム２４が伸びて
自重により常に矢印Ｘ方向に回転するように重心
がセツトされており、ストツパ２５によつて係止
されている。アーム２４の先端にはストツパ２６
が形成され、Ａ位置において、筐体１７によつて
係止されるとともに、保持板１３の係合部２７と
係合するようになつている。

絞り１２、穴１４および穴１９はＡ位置におい
ては光軸３上から外れるとともに同じ中心線上に
なく、Ｂ位置においては光軸３上に並ぶように配
置されている。２８は電子線であり、αはビーム
開き角を示す。第１図ではＡ位置は破線、Ｂ位置
は１点鎖線、Ｃ位置は実線で示されており、第２
図ではＡ位置は実線、Ｂ位置は１点鎖線で示さ
れ、Ｂ位置の各部の符号にはｂが付されている。

上記の構成において、図示しないモータを駆動
して軸１６を回転させると、保持板１３が回転
し、これに伴つて蛍光板１１がＡ位置からＣ位置
に回転する。Ａ位置におけるシヤツタ２１はスト
ツパ２６が筺体１７によつて係止されるととも
に、保持板１３の係合部２７と係合する。この状
態でシヤツタ２１は絞り１２および穴１４を閉
じ、カーボン２３は穴１４に対向した状態にな
る。また絞り１２、穴１４および穴１９は光軸３
上から外れ、かつ一直線上に並ばない。このため
電子線２８はシヤツタ２１によつて遮断され、下
側に通過しないため、蛍光板１１上で観察が行わ
れる。

光軸３上の電子線２８のみを考えれば、光軸３
から絞り１２ａがずれていれば蛍光板１１より下
には通らないが、蛍光板１１上で像を観察する時
には電子線２８が広がるため、絞り１２を通して
電子線２８の一部が下へ通過する。これを防止す
るために穴１４，１９が同一直線上に並ばないよ
うに設けられ、これにより電子線２８が遮断され
る。

シヤツタ２１はＡ位置では筺体１７に当り、絞
り１２および穴１４を塞ぐので、像観察時に絞り
１２を通過した電子線２８を遮断する。カーボン
２３は絞り１２および穴１４の壁等に当つた電子
線が方向を変えて穴１９を通過するのを防ぐとと
もに、絞り１２の壁で発生する二次電子等の通過
を防ぐ。また散乱した二次電子は室１８に閉じ込
められる。

軸１６を回転させて蛍光板１１をＢ位置に回転
させると、シヤツタ２１ｂは筺体１７から離れて
自重で矢印Ｘ方向に回転するため、カーボン２３
ｂは穴１４ｂの対向位置から移動し、シヤツタ２
１ｂは開いて絞り１２ｂおよび穴１４ｂの遮断を
解除するとともに、絞り１２ｂ、穴１４ｂおよび
穴１９ｂは光軸３上に一直線上並び、光軸３上の
電子線２８は絞り１２ｂ、穴１４ｂおよび穴１９
ｂを通して下側に通過し、極微小回折が行われ
る。

さらに軸１６を回転させ、蛍光板１１をＣ位置
に回転すると、蛍光板１１、保持板１３およびこ
れに取付けられた各部は電子線２８のビーム開き
角α内に入らないため、これらの影は発生せず、
写真撮影、エネルギアナライザ、走査透過電子顕
微鏡等として使用される。

上記のシヤツタ装置では、シヤツタ２１は蛍光
板１１の回転方向と逆の回転方向で自重により動
くため、構造が簡単で、故障が少ない。また蛍光
板１１が回転すると、絞り１２と穴１４，１９が
一直線上に並ぶため操作が簡単になり、故障の心
配がなく、蛍光板１１の損傷の発生や影等による
観察の障害もない。

なお、上記実施例ではシヤツタ２１の移動を自
重によると回転で行つたが、モータと連動させて
もよい。

〔発明の効果〕

この発明によれば、蛍光板を保持板により回転
させ、シヤツタで絞りを開閉するとともに蛍光板
の絞りおよび保持板の穴を光軸上に並びまたは外
れるように配置したので、簡単な構造と操作によ
り、容易にシヤツタを開閉でき、電子線および二
次電子等を確実に遮断できるとともに、故障や傷
の発生がなく、かつ観察の障害とならないなどの
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の断面図、第２図はその一部の
拡大断面図、第３図および第４図は従来のシヤツ
タ装置の斜視図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、３は光軸、１１は蛍光板、１２は絞り、１３
は保持板、１４，１９は穴、１６，２２は軸、１
７は筺体、１８は室、２１はシヤツタ、２３はカ
ーボン、２８は電子線である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 絞りを有する蛍光板と、前記絞りにほぼ対応
   する位置に穴を有しかつ前記蛍光板を保持して観
   察位置から回折位置を経て待避位置まで回転させ
   る保持板と、観察位置において前記絞りを閉じる
   とともに回折位置において絞りを開くように前記
   保持板の回転に伴つて回転するシヤツタとを備
   え、前記絞りおよび穴は観察位置において光軸か
   ら外れかつ回折位置において光軸上に並ぶように
   配置されたことを特徴とする電子顕微鏡用シヤツ
   タ装置。 ２ シヤツタは保持板の穴に対応する位置に穴を
   有する室に回転可能に取付けられた特許請求の範
   囲第１項記載のシヤツタ装置。 ３ シヤツタは自重により回転して絞りを開閉す
   るようにされた特許請求の範囲第１項または第２
   項記載のシヤツタ装置。