JPS6248177B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6248177B2 JPS6248177B2 JP7708679A JP7708679A JPS6248177B2 JP S6248177 B2 JPS6248177 B2 JP S6248177B2 JP 7708679 A JP7708679 A JP 7708679A JP 7708679 A JP7708679 A JP 7708679A JP S6248177 B2 JPS6248177 B2 JP S6248177B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- mtf
- solid
- scanning element
- state scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0292—Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、MTF測定用周波数チヤートに関
する。
する。
MTF（モヂユレーシヨン・トランスフアー・
フアンクシヨン）なる関数によつて、結像光学系
の結像性能を総合的に評価できることが知られ、
MTF検査方法も種々のものが提案されている。
このようなMTFの測定方式として、出願人は先
に、自己走査型の固体走査素子を用いるものを提
案した（特願昭53−92987号）。すなわち、MTF
を測定しようとする空間周波数の１次元格子状パ
ターンの像を、被検結像光学系を介して、固体走
査素子の受光域に結像させて、この像を固体走査
素子に走査せしめ、得られる電気信号を所定の演
算式に従つて演算処理して、被検結像光学系の
MTFを算出するという測定方式である。
フアンクシヨン）なる関数によつて、結像光学系
の結像性能を総合的に評価できることが知られ、
MTF検査方法も種々のものが提案されている。
このようなMTFの測定方式として、出願人は先
に、自己走査型の固体走査素子を用いるものを提
案した（特願昭53−92987号）。すなわち、MTF
を測定しようとする空間周波数の１次元格子状パ
ターンの像を、被検結像光学系を介して、固体走
査素子の受光域に結像させて、この像を固体走査
素子に走査せしめ、得られる電気信号を所定の演
算式に従つて演算処理して、被検結像光学系の
MTFを算出するという測定方式である。
１次元格子状パターンを有する周波数チヤート
は、被検結像光学系の物体面上に１個以上配置さ
れ、固体走査素子は、上記結像光学系の像面上
の、周波数チヤートの像の結像位置に配置され
る。
は、被検結像光学系の物体面上に１個以上配置さ
れ、固体走査素子は、上記結像光学系の像面上
の、周波数チヤートの像の結像位置に配置され
る。
ところで、MTFは、測定しようとする像高に
おいて、所謂ラジアル方向とタンジエンシアル方
向の２方向の値が測定されるのが普通である。そ
こで、これを容易に行なうため、周波数チヤート
とこれに対応する固体走査素子の双方を回動可能
とし、まず上記２方向のうちの一方、たとえばラ
ジアル方向のMTFを測定し、しかるのち、周波
数チヤートと固体走査素子の双方を対応的に90度
回動させて、タンジエンシアル方向における
MTFを測定する測定方法が意図された。しか
し、一度に複数の像高におけるMTFを測定すべ
く、複数のチヤート．素子対を用いた場合、これ
らのチヤート．素子対の回動を、一度に連動的に
行なうには、それ相応に複雑な機構が必要とな
る。
おいて、所謂ラジアル方向とタンジエンシアル方
向の２方向の値が測定されるのが普通である。そ
こで、これを容易に行なうため、周波数チヤート
とこれに対応する固体走査素子の双方を回動可能
とし、まず上記２方向のうちの一方、たとえばラ
ジアル方向のMTFを測定し、しかるのち、周波
数チヤートと固体走査素子の双方を対応的に90度
回動させて、タンジエンシアル方向における
MTFを測定する測定方法が意図された。しか
し、一度に複数の像高におけるMTFを測定すべ
く、複数のチヤート．素子対を用いた場合、これ
らのチヤート．素子対の回動を、一度に連動的に
行なうには、それ相応に複雑な機構が必要とな
る。
そこで、チヤート．素子対のうち、固体走査素
子のみを回動可能とし、周波数チヤートとして
は、第１図に示す如く、１次元格子状パターンを
直交的に配置したパターンを有するものをもちい
る方法が意図された。すなわち、まず、固体走査
素子の走査方向を、第１図のＡ方向に対応させて
例えばラジアル方向のMTFを測定し、その後、
固体走査素子のみを90度回動させて、その走査方
向を図のＢ方向に対応させて、タンジエンシアル
方向におけるMTFを測定するのである。
子のみを回動可能とし、周波数チヤートとして
は、第１図に示す如く、１次元格子状パターンを
直交的に配置したパターンを有するものをもちい
る方法が意図された。すなわち、まず、固体走査
素子の走査方向を、第１図のＡ方向に対応させて
例えばラジアル方向のMTFを測定し、その後、
固体走査素子のみを90度回動させて、その走査方
向を図のＢ方向に対応させて、タンジエンシアル
方向におけるMTFを測定するのである。
さらに、第１図に示す如きパターンのチヤート
を用い、固体走査素子として、受光素子を２次元
マトリツクス状に配列し、その走査方向を行方
向、列方向で切換える方式のものを用いることに
よつて、チヤート．素子の、いずれも回動させる
ことなく、互いに直交する２方向におけるMTF
を測定する方法も意図されている。
を用い、固体走査素子として、受光素子を２次元
マトリツクス状に配列し、その走査方向を行方
向、列方向で切換える方式のものを用いることに
よつて、チヤート．素子の、いずれも回動させる
ことなく、互いに直交する２方向におけるMTF
を測定する方法も意図されている。
ところで、第１図に示す如きパターンを有する
周波数チヤートには、以下の如き欠点がある。す
なわち、Ａ方向およびＢ方向の１次元格子状のパ
ターンの交叉部では、２方向のパターンが影響し
合つて正確な高密度パターンが得られないこと、
固体走査素子における回転中心と、パターンの回
転の対称点とが、きちんと対応する必要があるた
め、被検結像光学系の設置精度が非常に高く要求
されること、などである。
周波数チヤートには、以下の如き欠点がある。す
なわち、Ａ方向およびＢ方向の１次元格子状のパ
ターンの交叉部では、２方向のパターンが影響し
合つて正確な高密度パターンが得られないこと、
固体走査素子における回転中心と、パターンの回
転の対称点とが、きちんと対応する必要があるた
め、被検結像光学系の設置精度が非常に高く要求
されること、などである。
本発明の目的は、２方向性のパターンを有する
周波数チヤートを固定し、固体走査素子を回転さ
せるか、又は、その走査方向を90度切換えて、２
方向におけるMTFを測定する測定方式におい
て、上記問題を解決しうる、MTF測定用周波数
チヤートを提供することである。
周波数チヤートを固定し、固体走査素子を回転さ
せるか、又は、その走査方向を90度切換えて、２
方向におけるMTFを測定する測定方式におい
て、上記問題を解決しうる、MTF測定用周波数
チヤートを提供することである。
以下、図面を参照しながら、本発明を説明す
る。
る。
第２図は、本発明を実施した周波数チヤートの
１例におけるパターンを示している。もちろん、
本発明による周波数チヤートの特徴は、そのパタ
ーンの形状にあるのである。さて、第２図に示す
パターンは、Ａ方向に向う１次元格子状パターン
部ＬA、Ｂ方向に向う１次元格子状パターン部Ｌ
B、両格子状パターン部ＬA，ＬBの交叉部に設け
られた白地部分Ｗ、この白地部Ｗに隣接して設け
られた黒ベタ部分NA，NBによつて構成されてい
る。
１例におけるパターンを示している。もちろん、
本発明による周波数チヤートの特徴は、そのパタ
ーンの形状にあるのである。さて、第２図に示す
パターンは、Ａ方向に向う１次元格子状パターン
部ＬA、Ｂ方向に向う１次元格子状パターン部Ｌ
B、両格子状パターン部ＬA，ＬBの交叉部に設け
られた白地部分Ｗ、この白地部Ｗに隣接して設け
られた黒ベタ部分NA，NBによつて構成されてい
る。
白地部Ｗおよび黒ベタ部NA，NBは、空間周波
数ＯのMTF測定用に用いられ、このＯ空間周波
数のMTF値は、測定すべき空間周波数に対する
MTF値を正規化するのに用いられる。この白地
部Ｗおよび黒ベタ部NA，NBのはたす役割は、第
１図Ａ方向下部、Ｂ方向左端部にある、白地部、
黒ベタ部の役割と同じである。
数ＯのMTF測定用に用いられ、このＯ空間周波
数のMTF値は、測定すべき空間周波数に対する
MTF値を正規化するのに用いられる。この白地
部Ｗおよび黒ベタ部NA，NBのはたす役割は、第
１図Ａ方向下部、Ｂ方向左端部にある、白地部、
黒ベタ部の役割と同じである。
１次元格子状パターン部ＬA，ＬBの空間周波数
は、測定すべき空間周波数である。この例では、
これらパターン部における空間周波数はただひと
つであるが、２種以上の空間周波数を有していて
もよい。
は、測定すべき空間周波数である。この例では、
これらパターン部における空間周波数はただひと
つであるが、２種以上の空間周波数を有していて
もよい。
Ａ方向におけるパターンとＢ方向におけるパタ
ーンとは、相互に等価である。換言すれば、両者
の交叉部の中心を軸として、Ａ方向のパターン
を、時計方向へ90度回動させれば、このパターン
は、Ｂ方向のパターンと重ね合せられるのであ
る。
ーンとは、相互に等価である。換言すれば、両者
の交叉部の中心を軸として、Ａ方向のパターン
を、時計方向へ90度回動させれば、このパターン
は、Ｂ方向のパターンと重ね合せられるのであ
る。
従つて、固体走査素子の走査方向をＡ方向に対
応させ、次にＢ方向に対応させても、固体走査素
子の対応するパターンは全く同じものとなる。
応させ、次にＢ方向に対応させても、固体走査素
子の対応するパターンは全く同じものとなる。
第３図（）は、固体走査素子の走査方向をＡ
方向に対応させた場合の素子の出力を例示し、
（）は、Ｂ方向に対応させた場合の素子の出力
の例を示している。測定すべき像高における
MTFが、Ａ方向とＢ方向とで同一であれば、第
３図（）に示す出力と（）に示す出力とは全
く同じになる訳である。
方向に対応させた場合の素子の出力を例示し、
（）は、Ｂ方向に対応させた場合の素子の出力
の例を示している。測定すべき像高における
MTFが、Ａ方向とＢ方向とで同一であれば、第
３図（）に示す出力と（）に示す出力とは全
く同じになる訳である。
第４図には、本発明を実施した周波数チヤート
における、他のパターン例を示す。この例では、
Ａ方向、Ｂ方向に向かう１次元格子状パターン
と、これらの交叉部に設けられた正規化用のパタ
ーンとが、チヤートパターンを構成している。１
次元格子状パターンは、Ａ方向に向うものと、Ｂ
方向に向うものとで、相互に等価である。固体走
査素子の走査方向の向きを、Ａ方向、Ｂ方向にお
ける矢印の向きと一致させることによつて、Ａ、
Ｂ両方向において、同一パターンを、固体走査素
子に対応させることができる。第５図は、固体走
査素子による、第４図に示すパターンのＡ方向又
はＢ方向における出力を示している。第３図の出
力図が、受光素子ごとの出力を示しているのに対
し、第５図の出力図では、受光素子ごとの出力の
最大値を結んで得られる曲線を示している。
における、他のパターン例を示す。この例では、
Ａ方向、Ｂ方向に向かう１次元格子状パターン
と、これらの交叉部に設けられた正規化用のパタ
ーンとが、チヤートパターンを構成している。１
次元格子状パターンは、Ａ方向に向うものと、Ｂ
方向に向うものとで、相互に等価である。固体走
査素子の走査方向の向きを、Ａ方向、Ｂ方向にお
ける矢印の向きと一致させることによつて、Ａ、
Ｂ両方向において、同一パターンを、固体走査素
子に対応させることができる。第５図は、固体走
査素子による、第４図に示すパターンのＡ方向又
はＢ方向における出力を示している。第３図の出
力図が、受光素子ごとの出力を示しているのに対
し、第５図の出力図では、受光素子ごとの出力の
最大値を結んで得られる曲線を示している。
以上、本発明によれば、任意の像高における、
互いに直交する方向におけるMTFを容易且確実
に測定することを可能ならしむる、MTF測定用
周波数チヤートを提供できる。
互いに直交する方向におけるMTFを容易且確実
に測定することを可能ならしむる、MTF測定用
周波数チヤートを提供できる。
第１図は、従来、意図されたMTF測定方式に
用いられる周波数チヤートのパターンを示す図、
第２図は、本発明の１実施例を示す図、第３図
は、第２図に示す実施例に対応する固体走査素子
の出力を説明するための図、第４図は、本発明の
他の実施例を示す図、第５図は、第４図に示す実
施例に対応する固体走査素子の出力を説明するた
めの図である。 ＬA，ＬB……１次元格子状パターン部、Ｗ……
白地部、NA，NB……黒ベタ部。
用いられる周波数チヤートのパターンを示す図、
第２図は、本発明の１実施例を示す図、第３図
は、第２図に示す実施例に対応する固体走査素子
の出力を説明するための図、第４図は、本発明の
他の実施例を示す図、第５図は、第４図に示す実
施例に対応する固体走査素子の出力を説明するた
めの図である。 ＬA，ＬB……１次元格子状パターン部、Ｗ……
白地部、NA，NB……黒ベタ部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ MTFを測定しようとする１以上の空間周波
数を含み、相互に等価な、２つの１次元格子状パ
ターンを交叉角90度で交叉させ、 上記１次元格子状パターンの交叉部、または、
交叉部およびその近傍に、正規化用のパターンを
配したことを特徴とする、MTF測定用周波数チ
ヤート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7708679A JPS561330A (en) | 1979-06-19 | 1979-06-19 | Frequency chart for measuring mtf |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7708679A JPS561330A (en) | 1979-06-19 | 1979-06-19 | Frequency chart for measuring mtf |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS561330A JPS561330A (en) | 1981-01-09 |
| JPS6248177B2 true JPS6248177B2 (ja) | 1987-10-13 |
Family
ID=13623963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7708679A Granted JPS561330A (en) | 1979-06-19 | 1979-06-19 | Frequency chart for measuring mtf |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS561330A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100349976C (zh) * | 2004-09-24 | 2007-11-21 | 中国石油化工股份有限公司 | 橡胶改性的尼龙组合物 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0522847Y2 (ja) * | 1987-05-18 | 1993-06-11 |
-
1979
- 1979-06-19 JP JP7708679A patent/JPS561330A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100349976C (zh) * | 2004-09-24 | 2007-11-21 | 中国石油化工股份有限公司 | 橡胶改性的尼龙组合物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS561330A (en) | 1981-01-09 |
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