JPS6248178B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、MTF測定用周波数チヤートに関
する。

MTF（モヂユレーシヨン・トランスフアー・
フアンクシヨン）なる関数によつて、結像光学系
の結像性能を総合的に評価できることが知られ、
MTF検査方法も種々のものが提案されている。
このようなMTFの測定方式として、出願人は、
先に、自己走査型の固体走査素子を用いるものを
提案した（特願昭53−92987号）。すなわち、
MTFを測定しようとする空間周波数の１次元格
子状パターンの像を、被検結像光学系を介して、
固体走査素子の受光域に結像させ、この像を固体
走査素子に走査させ、得られる電気信号を所定の
演算式に従つて演算処理し、上記被検結像光学系
のMTFを算出するという測定方式である。

１次元格子状パターンを有する周波数チヤート
は、被検結像光学系の物体面上に１個以上配置さ
れ、固体走査素子は、上記結像光学系の像面上
の、周波数チヤートの像の結像位置に配置され
る。

ところで、MTFは、測定しようとする像高に
おいて、所謂ラジアル方向とタンジエンシアル方
向の２方向の値が測定されるのが普通である。こ
れを行なうには、上記２方向に対応して２つのチ
ヤートを直交させて近接配置し、これに対応して
２つの固体走査素子を近接させ、直交的に配置す
ればよいが、固体走査素子の数が多くなるため、
装置のコストが高くなる。そこで、周波数チヤー
トと、これに対応する固体走査素子の双方を回動
可能とし、まず、上記２方向のうちの、例えば、
ラジアル方向のMTFを測定したのち、周波数チ
ヤート、固体走査素子ともに、90度回動させて、
タンジエンシアル方向のMTFを測定する測定方
法が意図された。しかし、一度に、複数の像高に
おけるMTFを測定すべく、複数のチヤート・素
子対を用いる場合、これらを一時に連動して回動
させるには、それ相応に複雑な機構が必要とな
る。それで次に、チヤート・素子対のうち、固体
走査素子のみを回動可能とし、周波数チヤートと
しては、第１図に例示するものの如く、１次元格
子状パターンを２つ、直交的に配置したチヤート
を用いる方法や、あるいは、受光素子を２次元マ
トリツクス状に配列し、その走査方向を、行方
向・列方向に切換えられるようにした固体走査素
子を、このようなチヤートとともに用いる方法が
意図された。すなわち、まず、固体走査素子の走
査方向を、第１図のＡ方向に対応させて例えばラ
ジアル方向のMTFを測定し、その後、固体走査
素子を回動させるか、あるいは走査方向の切換を
行つて、走査方向をＢ方向に対応させ、タンジエ
ンシアル方向のMTFを測定するのである。

第１図に示すパターンにおいて、Ａ方向の下端
部およびＢ方向の左端部に、黒ベタ部および白ベ
タ部があるが、このパターンは、空間周波数０の
MTF測定用に用いられ、この０空間周波数の
MTF値は、測定すべき空間周波数に対するMTF
値の正規化に供せられる。

ところで、第１図に示す如きパターンを有する
周波数チヤートには、次のような欠点がある。す
なわち、Ａ方向およびＢ方向の１次元格子状パタ
ーンの交叉部では、２方向のパターンが影響し合
い、正確な高密度パターンが得られないこと、固
体走査素子における回転中心とパターンの回転の
対称点とが、正確に対応する必要があり、被検結
像光学系の設置に非常な高精度が要求されるこ
と、などである。

本発明の目的は、周波数チヤートを固定し、固
体走査素子を90度回動させるか、又は走査方向を
90度切換えて、２方向におけるMTFを測定する
測定方式において、上記問題を解消しうる、
MTF測定用周波数チヤートを提供することであ
る。

以下、図面を参照しながら、本発明を説明す
る。

第２図は、本発明を実施した周波数チヤートの
１例におけるパターンを示している。いうまでも
なく、本発明による周波数チヤートの特徴は、そ
の有するパターンの形状にある。

さて、このパターンは３つの部分により構成さ
れている。すなわち、パターン中央部の測定パタ
ーン領域１と、この測定パターン領域を直接的に
囲繞する白ベタの部分２と、この部分２をさらに
囲繞する黒ベタの部分３とである。

測定パターン領域１には、１次元格子状パター
ンが配されているが、このパターンにおける格子
の配列方向は、測定方向Ａ、Ｂとπ／４ラジアンすな わち、45度傾いている。

一方、部分２および３は、測定方向Ａ、Ｂに垂
直又は、平行となつている。この、部分２および
３は、０空間周波数のMTFを測定し、測定すべ
き空間周波数に対するMTFの値を正規化するた
めのパターンを構成している。

固体走査素子による走査方向は、第２図におけ
るＡ、Ｂ方向に対応させられる。いま例として、
第３図に示す如く、Ｂ方向を取れば固体走査素子
によりＢ方向の走査を行うとき、測定パターン領
域１におけるパターンは、ピツチPsの空間周期
のパターンとして走査される。このピツチPs
は、パターンの格子の固有のピツチＰに対して、
Ps＝Ｐ／sinπ／４＝√２Ｐで与えられる。Ａ方向の 走査を行なうときのピツチもこのPsと同じ値と
なる。従つて、格子のピツチＰを、測定空間周波
数Psに対して√２Ｐの大きさに定めておけば、
Ａ、Ｂの両方向において、ピツチPsの空間周波
数に対するMTFを測定することができる。実施
例のものでは、測定パターン領域における１次元
格子状パターンは、ただ一種の空間周波数を含ん
でいるが、複数種の空間周波数を含ませても良い
ことは、いうまでもない。また、第２図の実施例
においては、測定パターン領域は正方形々状であ
るが、これを長方形形状としてもあるいは、第４
図の如き円形状としても良い。規格化用のパター
ンの黒ベタ部（白ベタ部）は必らずしも、測定パ
ターン領域を完全に囲繞するように設ける必要は
なく、第５図の実施例に示す如く、測定方向Ａ、
Ｂの測定領域に位置すればよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来、意図されたMTF測定方式に
用いられる周波数チヤートのパターン例を示す
図、第２図は、本発明の１実施例を示す図、第３
図は測定すべき空間周波数のピツチと、パターン
のピツチとの関係を説明するための図、第４図、
第５図は、本発明の他の実施例の２例を示す図で
ある。 １……測定パターン領域、２，３……正規化用
のパターン。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 測定パターン領域に、ｎ種（ｎ≧１）の空間
   周波数を含む、１次元格子状パターンを配し、 この測定パターン領域の周囲に、正規化用のパ
   ターンを配し、 上記１次元格子状パターンの配列方向が測定方
   向とπ／４ラジアン傾斜し、 且つ、１次元格子状パターンのピツチPi（ｉ＝
   １〜ｎ）が、MTFを測定すべき空間周波数のピ
   ツチPsi（si＝１〜ｎ）に対し、Pi＝Psi sinπ／４に 定められたことを特徴とする、MTF測定用周波
   数チヤート。