JPS6249984A

JPS6249984A - 基板清掃装置

Info

Publication number: JPS6249984A
Application number: JP18728285A
Authority: JP
Inventors: 鳥脇　雅雄; 河上　錦家; 智明石野; 吉村　信雄
Original assignee: Hakuto Co Ltd; Toyo Netsu Kogyo Kaisha Ltd
Current assignee: Hakuto Co Ltd; Toyo Netsu Kogyo Kaisha Ltd
Priority date: 1985-08-28
Filing date: 1985-08-28
Publication date: 1987-03-04
Also published as: JPH0326117B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明はプリント基板等の製造ラインに設置する基板
清掃装置に関する。

〔従来の技術〕

プリント基板製造ラインで印刷工程のところ１基板上に
塵埃があって、スクリーン印刷膜に塵埃が付着すると、
凡ての製品に塵埃を−しよに印刷してしまい、プリント
配線間の絶縁不良が起き。

不良品が多く発生し歩留りが悪くなる。

そこで基板上の塵埃を除く必要が生ずる。従来のやり方
で簡単なものフは第４図に示す如く、粘着テープをロー
ラ状にした粘看剤付ローラ５０を基板１０上に圧接して
基板１０上の越埃５２を除去しようとするものがある。

図−１？５１Ｕ基板１０の送りローラ、矢印Ｒは基板の
移動方向、矢印Ｕは各ローラの回転方向を示している。

この方法〒は初めは効果があるが、繰返し使用されてい
ると、すぐに粘着性が失われ、逆に基板上へ塵埃を付着
させることになシ、ローラ５０の父換を頻繁に行なわな
ければならず、保守に難点があった。

次に第５図は従来の技術の別な装置６０の側断面図、第
６図は第５図に示す装置をＸ方向からみた端面説明図で
ろって、Ｒは基板１０の進入方向。

Ｄは出口方向〒あり、第５図は第６図の上半分の基板の
清掃部分を示すＹ−Ｙ方向矢視図に相当する。

図〒６１は外板ケーシング、６２は除電及び剥離用ブラ
シ、６６、・・・は基板送りローラ、６４はイオン発生
装置でろって、針状電極よりなり、イオンを発生させて
基板１００表面にイオン風を当て基板表面の静電力で付
着している塵埃を中和させ、剥離しやすい状態にして除
電及び剥離用シラシロ２にて塵埃を剥離させ、バンカー
ルーツ々型吹出ノズル６８から矢印ａ′ｔ％示す如く清
浄空気を吹き出し、乱流空間に塵埃を浮遊させ、その空
気は矢印ａ′ｆ示す如くプレフィルタ６７１大きい塵埃
をとり、送風機６５によって、ＨＥＰＡフィルタ６６を
経て再び循還させる。第５図！点線で示すルー・Ｓ６８
は反対側にあるルーツ々を示している。図に示す例では
基板の移動空間を仕切パネル７０．７１によって順次Ａ
、Ｂ、Ｃの３室に分け、下流側に向うに従って空間の清
浄度を上げると共に、各室においても、イオン発生装置
６４によって、くりかえし基板表面にイオン風を当て塵
埃の剥離及び基板表面の静電気の除電を行ない、基板表
面を清掃する。尚６８はローラ、ブラシの駆動装置部を
示す。

このような従来の装置では次のような欠点がめった。

（１）　　基板表面に静電気力ｆ付着している塵埃には
有効であるが、水分、油分を持つ粘着性の強い塵埃は清
掃↑きない。

（２）空間が乱流域のため再付着が起き易い。

（３１基板の移動方向のコンベア機長が長くなり。

大きな設置スペースを必要とする。

（４）装置が大きくなるので価格が高くなる。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明においてはノズルから吹き出す高速清浄気流で
塵埃を吹きとばし、その際汚染されている外気が侵入し
ないようにその周辺に微風速の清浄空気を吹き出すよう
にし、プリント基板製造ラインにおける印刷前の工程に
おいて、洗浄乾燥工程ｆとれなかった塵埃及び再付着し
ｆｃ塵埃を少ないスペースフ完全にとり除き、さらに再
付着させないで印刷工程へ供給し、基板の製品の品質向
上及び歩留りの向上を図っている。

〔実施例〕

第１図、第２図、第６図はこの発明の一実施例４０を示
し、第１図は側方からみた説明図、第２図は第１図のＹ
−Ｙ方向矢視図、第６図は第２図の上半分の基板の洗浄
と送り部分の拡大図である。

図において４１はケーシング筐体、４２は基板１０が入
って来たことを検知するビームスイッチ。

４６は１１宣体移動用キャスター、４４はレベルアジャ
スター、４５ｆ′ｉ操作盤、配電盤等を示す。Ｒは基板
の移動方向を示している。基板１０がケーシング４１に
入ってくると、ビームスイッチ４２が検知し、可変速モ
ータ４６が作動し、清掃ローラ１１及び除電及び送りロ
ーラ１５．・・・を矢印ｕｉ’示す方向に駆動する。１
６はローラ１５の軸を示す。１２は清掃ローラ１１の軸
、１６は軸のまわりのスポンジ状ゴム質部分、１４に外
周の不織布部分を示す。この清掃ローラ１１は送りロー
ラ１５の約１．５倍の円周接線速度で回転し、基板の速
度と相対速度をもち、基板表面をこすり基板表面の塵埃
を剥離させる。この清掃ローラの軸１２のまわりは前述
の如く発泡したスポンジ状の弾力あるゴム質で囲まれ、
外周は不織布↑めるからやわらかく基板をこすり基板に
キズをつけることはない。

そして基板１０の進行方向のこの清掃ロール１１より前
方に高速吹き出しノズル１が約４５°後方に傾いて設け
られ、約３ＱＴｒＬ／Ｓｅｃの高速気流が基板表面に吹
き付けられ、基板上の塵埃を吹きとげし後方に逃げる。

（尚第１図〜第３図に示す実施例ｆは基板の片面のみを
清掃する装置の例が示されている。）この高速気流はタ
ーゼブロワ−６０からダクト３１を経て矢印ａ１で示す
如く上方のプレナムチャンバー５に入り、プレフィルタ
−４、ＨＥＰＡフィルター３を介してプレナムダクト２
に入り。

ノズル１から吹き出される。６０′はター２！ロツク６
０の駆動モータを示す。

次に汚染外気の侵入を防ぐために、シロッコファン３２
からの微風速空気はダク）５５′１に経て矢印ａ２↑示
す如く上方のプレナムチャンバー５′に入り、プレフィ
ルタ−４’−Ｉ（ＥＰＡフィルター６′を介して吸気ダ
クト２１及び２６に入り、夫々有孔板２２．２４から約
０．５１ｒＬ／　ｓｅｃの微風速の清浄空気が吹き出さ
れる。３２′ハシロツコフアンの駆動モータ、又６はプ
レナムチャンノ々−５，５′間の仕切りである。

これらの高速及び微風速で吹き出された空気の一部に吸
引ダクト２５又は２８に吸われる。矢印ｆ′ｔ％示す如
く吸引ダクト２５に吸込口２６から吸引された空気は左
右のダクトホース３４．３５によって、又吸引ダクト２
８に吸引孔２９から吸引された空気はダクトホース３６
．６７によって。

夫々集合チャンＡ−３８に導かれ、シロッコファン６２
に戻る。又空気の残部は矢印ｆで示す如くＭ孔板２７か
ら下方のケーシング４１内にゆきター２ゾロワ３０にゆ
く。ケーシング４１には外気と連通ずる有孔板部分４７
を設け、冷却も兼ねて外気を取り入れている。（尚基板
は一定間隔ｆ送られてくるの１．ノズルの下に丁度基板
がない時は、高速空気はそのま＼下部の吸引ダクト２８
に吸いこまれる。）清掃ローラ１１は中実〒コンベア巾全体に亘っているが
、除電及び送９０−ラ１５．・・・は９ｍｍ巾程度！弾
力のあるゴムでできており、軸方向に約７０ｍｍのピッ
チ受段けられる。５〜１０ＫＱ程度の電気抵抗の導電性
″ｔ％あるから基板上の静電気を十分アースマきる。高
速気流〒このローラをも清掃ｆきる。スルて導電性ｆｆ
１ｉるの〒、除電する機会が多く静電気を逃がすのに好
都合である。除電及び送９０−ラ、清掃ローラは十分弾
力があるのマ。

基板の厚みが変化しても０．５〜２ｍｍ位の変化は十分
カバーでき、又ローラも７０ｍｍピッチ〒並んフいるの
で、１５０ｍｙｎ平方〜６１０順平方位ま〒基板の大き
さが変化しても力・ζ−〒きる。

基板がある一定間隔（例えば６秒間隔）で送られてこな
い場合１例えば５分間程度の他のラインの故障等１基板
が送られてこない場合、オフディレータイマーを組みこ
むことにより１例えば１０秒以上送られてこない場合は
自動運転休止とするようにすることにより、自動運転も
可能である。

清掃ローラは長期間使用すると汚れてくるのフ、ワンタ
ッチで交換できるようにすることは勿￥ａｆある。

第７図はこの発明を基板１０の両面清掃に応用した装道
８０の概念的説明図を示す。８１はケーシング、９０は
ビームスイッチ、１１は清掃ロール、１５は送りロール
を示し、Ｒは基板の移動向。

Ｕはロールの回転方向フある。高速空気はプレナムダク
）８４．８４から高速吹き出しノズル８５゜８５から吹
き出す。微風速空気は給気ダクト８２゜８６から有孔板
８３．８７を経て吹き出し、空気は吸引ダクト８８に孔
８９から吸引される。このように上下対称に構成すれば
よい。

〔効果〕

（１）湿気のある粘着力の強い塵埃をも完全清掃ｆきる
。

（２）剥離した塵埃が基板に再付着しない。

（３）　コンベア長さが短くｔき、（従来のものの約１
）省スペース化になる。

（４）ローラの保守期間が大巾に伸びる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例の側面説明図、第２図は第１
図のＹ−Ｙ矢視図、第３図は第２図の部分拡大図、第４
図は従来の例の説明図、第５図は別な従来の例の説明図
、第６図は第５図のＸ方向矢視図、第７図はこの発明の
第２実施例の概念説明図１ある。符号の説明１・・・高速吹き出しノズル、　　２・・・プレナムダ
クト。６・・・ＨＥＰＡフィルター、　４・・・プレフィルタ
−１５・・・プレナムチャンノ々−１６・・・仕切り。１１・・・清掃ローラ、　　１２・・・軸、　　１３・
・・ゴム部分、１４・・・不織布、　　１５・・・ロー
ラ、　　１６・・・軸。２１・・・給気ダクト、　２２・・・有孔板、２６・・
・給気ダクト、　２４・・・有孔板。２５・・・吸引ダクト、　　２６・・・吸引孔。２７・・・有孔板、　２８・・・吸引ダクト、　　２９
・・・孔。６０・・・ター２ゾロワ、　　３０′・・・モータ。３１・・・ダクト、　　３２・・・シロッコファン。６２′・・・モータ、　　６３・・・ダクト。３４．３５，３６．３７・・・ダクトホース。３８・・・集合チャンノ々−１４１・・・ケーシング筺
体、４２・・・ビームスイッチ、　　４６・・・キャス
ター。４４・・・レベルアジャスター。４５・・・配電盤、操作盤、　４６・・・モータ。４７・・・外気椴入肩孔板、　　５０・・・粘着剤付ロ
ーラ、５０・・・送りローラ、　　６１・・・ケーシン
グ、６２・・・ブラシ、　　６６・・・送ジローラ。６４・・・イオン発生装置、　６５・・・送風機。６６・・・ＨＥＰＡフィルタ、　　６７・・・プレフィ
ルタ、６８・・・吹き出しノズル、　６９・・・ローラ
駆動装置。７０．７１・・・仕切パネル、　８１・・・ケーシング
、８２・・・給気ダクト、　　８３・・・有孔板。８４・・・プレナムダクト、８５・・・高速吹き出しノ
ズル。８６・・・給気ダクト、　８７・・・有孔板。８８・・・吸気ダクト、　　８９・・・吸引孔。第　　４　　図第　　１ｉ１第　　２　　図

Claims

【特許請求の範囲】

プリント基板等の製造ラインに設ける基板清掃装置にお
いて、基板移動方向に対して斜め後方吹出角度を持つ高
速空気吹き出しノズルから高速清浄空気を吹き出すと共
に、その周辺には有孔板から、上記の高速清浄空気より
もいちぢるしく低速の微風速清浄空気を吹き出し、これ
ら両方の空気は再び高速空気用ならびに微風速空気用の
送風機に循還させ、導電性ゴムローラによつて基板の送
り及び静電気の除電を行うようにしたことを特徴とする
基板清掃装置。