JPS6254776A

JPS6254776A - 感圧接着性シート

Info

Publication number: JPS6254776A
Application number: JP19654085A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kuroda; 黒田　秀雄; Masao Taniguchi; 谷口　正雄
Original assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Current assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Priority date: 1985-09-04
Filing date: 1985-09-04
Publication date: 1987-03-10
Anticipated expiration: 2010-06-05
Also published as: JPH0751697B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートに関し
、詳しくは、紫外線照射によって接着力を低減させるこ
とかできる感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートに関
する。

（従来の技術）一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応じ
て種々の機能性が要求されるに至っている。

例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウェハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なってダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフィルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウェハーを載置し、ダ
イシングフィルム上に感圧接着固定し、裁断した後、こ
れをダイシングフィルムからピックアップ、即ち、剥離
して取り上げる。従って、シリコンウェハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシングフ
ィルムがシリコンウェハーに対して強い接着力を有し、
一方、得られたダイスをダイシングフィルムからピック
アップするに際しては、ダイシングフィルムはその接着
力が弱いことが必要である。何ら制限されるものではな
いが、例えば、シリコンウェハーのダイシングに際して
は、ダイシングフィルムは１００〜５００　ｇ　／　２
５　＊＊程度又はこれ以上の接着力を有し、一方、ダイ
スのピックアップに際しては、ダイシングフィルムは約
２０〜５０ｇ／２５ｗ程度又はこれ以下の接着力を有す
ることが望ましいといわれている。

しかし、このように、被着面に適用後に、必要に応じて
、その接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及びかか
る特性を備えた感圧接着性シートは、未だ知られていな
い。

他方、例えば、一般に接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性オリマー１光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、−波型の接着剤であり、速硬化
性であって、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。

（発明の目的）本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減し得る感圧接着剤を得るために鋭意研
究した結果、予期しないことに、飽和共重合ポリエステ
ル樹脂と紫外線架橋性アクリル酸エステルとを主成分と
して含有する混合物からなる感圧接着剤組成物が、これ
に紫外線を照射するとき、その接着力が著しく低減する
ことを見出して、本発明に至ったものである。

従って、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができる感圧接着剤及び感圧接
着性シートを提供することを目的とする。

（発明の構成）本発明の紫外線照射によって接着力を低減し得る感圧接
着剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂と紫外線架橋性ア
クリル酸エステルと重合開始剤とを主成分として含有す
ることを特徴とし、また、本発明の紫外線照射によって
接着力を低減し得る感圧接着性シートは、紫外線を透過
させ得る基材シート上に飽和共重合ポリエステル樹脂と
紫外線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤とを主成
分として含有する感圧接着剤の層が形成されていること
を特徴とすることを特徴とする。

先ず、本発明による感圧接着剤組成物において用いる飽
和共重合ポリエステル樹脂は、例えば、「工業材料」第
２５巻第１１号第１０１〜１０６真に記載されているよ
うに、通常、異なる２種以上の飽和２価カルボン酸と飽
和２価アルコールとを重縮合させて得られるガラス転移
点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、飽和２価
カルボン酸として、芳香族２価カルボン酸と脂肪族２価
カルボン酸とが併用され、飽和２価アルコールとして脂
肪族又は脂環式２価アルコール、即ち、グリコールが用
いられる。特に、本発明においては、芳香族２価カルボ
ン酸／脂肪族２価カルボン酸モル比が８０／２０乃至２
０／８０、好ましくは７０／３０乃至５０１５０である
飽和２価カルボン酸混合物とグリコールどを等モルにて
重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル樹脂が好
ましく用いられる。本発明においては、芳香族２価カル
ボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カルボン酸とし
てセバシン酸、アジピン酸、グリコールとしてエチレン
グリコール、１．４−ブタンジオール、プロピレングリ
コール等を用いて得られる飽和共重合ポリエステル樹脂
が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、飽和共重合
ポリエステル樹脂の製造においては、カルボン酸成分と
して３価以上の飽和多価カルボン酸や、３価以上の多価
アルコールが一部併用されてもよい。

本発明において用いる紫外線架橋性アクリル酸エステル
は、紫外線の照射によって架橋するオリゴマー又はモノ
マーとしてのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エス
テルをいい、分子内に少なくとも２つのアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有する。具体的には、かかるオ
リゴマーとしては、例えばオリゴエステルアクリレート
等を、また、モノマーとしては、例えば、１，６−ヘキ
サンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアク
リレート、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート
等の多価アルコールとアクリル酸のエステル、或いは１
．６−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロー
ルプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタ
ンテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タメタクリレート等の多価、アルコールとメタクリル酸
のエステル等を挙げることができる。

本発明による感圧接着剤組成物は、前記飽和共重合ポリ
エステル樹脂１００重量部について、上記紫外線架橋性
アクリル酸エステルを１５〜２００重量部、好ましくは
５０〜１５０重量部の範囲にて含有する。飽和共重合ポ
リエステル樹脂１００重量部について、上記紫外線架橋
性アクリル酸エステルが１５重量部よりも少ないときは
、得られる接着剤組成物に紫外線を照射しても、その接
着力は実質的に変化せず、一方、２００重量部を越える
ときは、紫外線照射によって、その接着力を低減させる
ことはできるが、例えば、シリコンウェハーのダイシン
グ後のダイスのピックアップ時に、ダイスに接着剤が残
留することがあり、好ましくないからである。

本発明による感圧接着剤組成物は、好ましくは、粘着付
与剤を含有する。用い得る粘着付与剤は特に制限されず
、従来より一般に粘着剤と呼ばれている感圧接着剤組成
物の製造において用いられているものが適宜に用いられ
る。このような粘着付与剤として、例えば、キシレン樹
脂、ロジンや重合ロジン、水添ロジン、ロジンエステル
等のロジン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフェノール
樹脂、ロジンフェノール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪
族系、芳香族系及び脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、
スチレン系樹脂、アルキルフェノール樹脂等を挙げるこ
とができる。

粘着付与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂１００重量
部について、通常、１０〜２００重量部の範囲で用いら
れる。粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、接着
力又は粘着力が不十分であり、他方、多すぎるときは、
得られる接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着力の
低下幅が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイシン
グフィルムに適用した場合、シリコンウェハーのダイシ
ング後のダイスのピックアップ時に、ダイスに粘着付与
剤が残留することがあり、好ましくないからである。

本発明による感圧接着剤組成物は、更に重合開始剤又は
光増感剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を含有する
。重合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
の紫外線照射による架橋を促進するために用いられる。

このような重合開始剤は、一般に、紫外線架橋重合の技
術分野においてよく知られており、本発明においては、
従来より一般に知られている重合開始剤を用いることが
できる。かかる重合開始剤の具体例として、例えば、ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエー
テル等のベンゾインアルキルエーテル類や、ベンゾイン
、ベンジル、ベンゾフェノン等の芳香族オキシケトン類
や芳香族ケトン類を挙げることができるが、これらに限
定されるものではない。

熱重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
が紫外線照射によらず、例えば、熱によって重合するこ
とを防止するために、必要に応じて添加されるもので、
かかる重合禁止剤としても、従来より知られている通常
の重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁
止剤としては、例えば、ピクリン酸、フェノール、ハイ
ドロキノン、ハイトルキノンモノメチルエーテル等を用
いることができる。

上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫外線架橋
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル１００重量部について１〜２０重量
部、重合禁止剤は必要に応じて０．１〜１重量部の範囲
で用いられる。

更に、本発明による感圧接着剤組成物は、必要に応じて
、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリブテン、鉱油
、ラノリン等の可塑剤や、また、充填剤、老化防止剤等
を適宜に含有していてもよい。

本発明による感圧接着剤組成物は、上記した配合量にて
飽和共重合ポリエステル樹脂、粘着付与剤、紫外線架橋
性アクリル酸エステル、重合開始剤、必要に応じてこれ
らに加えて重合禁止剤その他の添加剤をこれらを溶解す
る適宜の有機溶剤、例えば、芳香族炭化水素、ケトン類
、又はこれらの混合物に溶解することによって得ること
ができる。溶剤としては、例えば、具体的にはトルエン
とメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく用いられ
るがしかし、これに限定されるものではない、また、接
着剤組成物における飽和共重合ポリエステル樹脂の含有
量は、用途等に応じて適宜に選ばれるが、通常、１０〜
５０重量％の範囲であるが、これに限定されるものでは
ない。

通常、飽和共重合ポリエステル樹脂及び粘着付与剤は溶
液の形態にて入手することができるので、本発明による
感圧接着剤組成物は、例えば、飽和共重合ポリエステル
樹脂溶液と粘着付与剤溶液とを混合し、これに前記紫外
線架橋性アクリル酸エステルや重合開始剤、その他の必
要な添加剤を添加混合することによって、容易に調製す
ることができる。

本発明による感圧接着性シートは、紫外線を透過させ得
る基材シート上に上記したような飽和共重合ポリエステ
ル樹脂、紫外線架橋性アクリル酸エステル及び重合開始
剤とを主成分として含有する感圧接着剤の層が形成され
ている。従って、例えば、上述したような本発明による
感圧性接着剤組成物の溶液を基材シート上に塗布し、乾
燥することによって得ることができる。

上記基材シートとしては、紫外線を透過し得る限りは、
特に制限されることなく、種々のシートを用いることが
できるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが
用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩
化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、ア
セチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアミド
、ポリエステル、ポリカーボネート等からなる樹脂シー
トが好適に用いられる。

本発明による感圧接着剤組成物又は感圧接着シートへの
紫外線の照射手段及び照射方法は特に制限されず、紫外
線硬化性樹脂塗料や紫外線硬化性接着剤の技術分野にお
いて、従来より通常に行なわれている手段及び方法によ
ることができる。例えば、照射手段として、キセノンラ
ンプ、低圧、中圧、高圧或いは超高圧水銀灯灯のような
紫外線源を使用し、数秒乃至数分、照射すればよい。

（発明の効果）以上のように、本発明による感圧接着剤組成物は、飽和
共重合ポリエステル系粘着剤と粘着付与剤と紫外線架橋
性アクリル酸エステルとを主成分として含有し、その理
由は必ずしも明らかではないが、紫外線を照射する前は
強い接着力を有し、一方、紫外線の照射によってその接
着力が著しく低減する。

従って、また、かかる感圧接着剤組成物の層を有する感
圧接着性シートは、前記したように、シリコンウェハー
のダイシング用フィルムとして好適に用いることができ
る。

（実施例）以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。

実施例１離型紙上に第１表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、１
２０℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として
１０μｍ厚みに形成した。ここに、飽和共重合ポリエス
テル樹脂としては、テレフタル酸／セバシン酸モル比７
０／３０の飽和２価カルボン酸混合物とエチレングリコ
ールとを等モルにて重縮合させて得られるガラス転移魚
釣１０℃の樹脂を用いた。次に、平均重合度１３００の
ポリ塩化ビニル１００部、ジオクチルフタレート３５部
及び適宜量の安定剤からなる塩化ビニル樹脂組成物から
成形した厚み０．１ｆｉのシートを上記感圧接着剤層を
重ねて貼り合わせて、本発明による感圧接着性シートを
得た。

離型紙を剥離して、そのままにて接着力を測定し、また
、別に塩化ビニル樹脂シート側から主波長３６５ｍμ、
１２０Ｗ／ａｍにて紫外線を７秒間照射した後、接着力
を測定した。結果を第１表に示す。また、比較のために
、紫外線架橋性アクリル酸エステルを含有しない感圧接
着剤を用いて、それぞれ上記と同様に感圧接着性シート
を調製し、紫外線照射前後の接着力を測定した。結果を
表に示す。

紫外線架橋性アクリル酸エステルを含有しない感圧接着
剤を用いて、感圧接着性シートとするとき、これに紫外
線を照射しても、接着力が実質的に低下しない、これに
対して、本発明の感圧接着性シートによれば、紫外線照
射による接着力の低下が顕著であり、適当な配合設計に
よって、当初２５０〜８００　ｇ／２５論の接着力を有
せしめ、紫外線照射後は数十ｇ　／　２５　Ｍ乃至約１
００ｇ／２５Ｗ程度にまで接着力を減少させることがで
きるので、前述したように、シリコンウェハーのダイシ
ングに好適に用いることができる。

尚、接着力の測定方法は次のとおりである。即ち、上記
感圧接着性シートを幅２５ｗ１長さ１００鶴に裁断して
試験片とし、これを被着体としてのステンレス板上に重
ね、３−ローラにて５回往復して押圧した後、ショツパ
ーにて引張速度３００寵／分にて１８０°剥離試験を行
なった。

実施例２実施例１におけると同じ飽和共重合ポリエステル系樹脂
を用いて、離型紙上に第２表に示す配合の感圧接着剤を
塗布し、１２０℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固
形分として１０／Ｊｍ厚みに形成した。次に、厚み０．
１鶴の種々の合成樹脂シートを上記感圧接着剤層を重ね
て貼り合わせて、本発明による感圧接着性シートを得た
。

このようにして得た感圧接着性シートについて、実施例
１と同様にして、紫外線照射後の接着力を測定した。結
果を第２表に示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）飽和共重合ポリエステル樹脂と紫外線架橋性アク
リル酸エステルと重合開始剤とを主成分として含有する
ことを特徴とする紫外線照射によつて接着力を低減し得
る感圧接着剤組成物。
（２）飽和共重合ポリエステル樹脂が芳香族２価カルボ
ン酸と脂肪族２価カルボン酸とグリコールとの重縮合に
よる共重合体であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の感圧接着剤組成物。
（３）粘着付与剤を含有することを特徴とする特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の感圧接着剤組成物。
（４）紫外線を透過させ得る基材シート上に飽和共重合
ポリエステル樹脂と紫外線架橋性アクリル酸エステルと
重合開始剤とを主成分として含有する感圧接着剤の層が
形成されていることを特徴とする紫外線照射によつて接
着力を低減し得る感圧接着性シート。
（５）飽和共重合ポリエステル樹脂が芳香族２価カルボ
ン酸と脂肪族２価カルボン酸とグリコールとの重縮合に
よる共重合体であることを特徴とする特許請求の範囲第
４項記載の感圧接着性シート。
（６）感圧接着剤組成物が粘着付与剤を含有することを
特徴とする特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感圧
接着性シート。