JPS5921038A - ペレツト剥離方法 - Google Patents

ペレツト剥離方法

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JPS5921038A
JPS5921038A JP57130960A JP13096082A JPS5921038A JP S5921038 A JPS5921038 A JP S5921038A JP 57130960 A JP57130960 A JP 57130960A JP 13096082 A JP13096082 A JP 13096082A JP S5921038 A JPS5921038 A JP S5921038A
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adhesive
pellet
adhesive sheet
pellets
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Akihiro Yanagi
柳　明広
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NEC Corp
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NEC Home Electronics Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 この発明は、一枚のウェーハより多数の半導体素子を得
る場合に、現在数〈実施されている粘着シー　ト貼着力
式（・τおけるペレットｉｌｌ　１１ｆ技？ｎｉ　ｖｃ
　関するもので”１）る。
背景技術 従来より１”７エーへの細分区画Ｃ′とに多数１１７）
素イを形成させて後、区１ｉ！ｌ　ＩＸ分線に’ｉ’Ａ
って各べＬ・ットに分割するには、次に−示す粘着シー
ト貼米方式が一般に普及している。すなわち、第１図に
示すように、伸展性が良好゛なポリ塩化ビニル等の粘着
シー）ｌへ、多数の素子を形成済みのウー丁−／＼２を
貼着させて、ウェーハ２十の素子区画境界線３゜３、・
・　（で沿って形成１．、、たスクライブ溝３’　＋　
”’　１・・・・・・で引裂き分割する方法で、粘着シ
ー　計１を矢１０ｉ４　、４　、・・・・・で示す」こ
うにつ３丁−）１２とともに放射方向に引延すやり方を
採用している。しかし、このやり方は、粘着ジートコを
引延ず際に、ウェーハ２の中央部と周縁部とで廷びに差
が生じる。
換言すれば、ウェーハ全面に亘って均一に引延すことが
困難である。よってウェーハ２十の急激な延びが生じる
部分５，５．・・・・　においては、第２図に示すよう
に、分割時の引裂き衝撃によって微細なりラック６，６
．・・・・・・を招いたり、ペレット７．７．・・・・
・・　と粘着シー）１との接着力が著しく弱くなり位置
ずれを生じたりする欠点があった。
これらの欠点があると、単にウェーハ２をペレット’７
．’７．・・・・・・に分割する作業性の低下たけでな
く、ペレットマウントエ゛程へ供給する能率へも悪影普
する問題がある。
そこで、」二記問題解決のために１．第３図に示すヨウ
に、ウェーハ２′＼スクライブ溝を形成する際に、ダイ
サ８により粘着シート１’ｌＨで切り込み、ウェーハ２
を完全区画カットするスルーカット溝９．９．・・・・
・・を設けるやり方が考えられる。ところが、このやり
方は、粘着シート１０表面粘着層をも削ることとなるの
で、粘着剤１１　、１１．・・・・・がウェーハ２上や
ダイサ８に付着してし捷い、ペレツ）７，７．・・・・
・・を汚染してしまう問題があった。
またウェーハ２を完全に区画カットしても、各々のペレ
ット？、７．・・・・・・の裏面は、粘着シート１に貼
着されたままであり、ペレット剥離作業が困難である新
な問題を生じていた。
発明の開示 この発明は、上述の事情を検討・考察した結果提唱され
たもので、粘着シートの引勉しを行わないスルーカット
溝を股″けるやり方を採るにもかかわらず、従来よりの
問題を解決した独特の特徴があるものである。すなわち
、この発明は、粘着シートの粘着剤に紫外線硬化性樹脂
を用いて、つ工−ハヲ粘着シートへ貼着し、ペレットの
区画毎にスルーカット溝を設けるダイシング作業後、貼
着構体へ紫外線を照射して粘着シートの粘着力を低下さ
せ、ペレット剥離棒にてウェーハ突き上げや衝撃を与え
るしごき等の物理的手段によってペレット剥離を行う方
法とするものである。したがって、この発明は、粘着シ
ート貼着方式を採るにもかかわらず、従来の諸欠点を排
除し、しかもペレットマウント工程に好適な利点をもた
らすことができるものである。
発明実施のための最良の形態 第４図〜第８図は、この発明の一実施例となるペレット
剥離方法による剥離作業工程を示している。まず第４図
は、ウエーノ１貼着構体１０の断面図で、１１は、透明
なポリ塩化ビニル製シート１２の表面に紫外線硬化性の
アクリル系粘着剤１３を塗着形成した粘着シートで、例
えば、拡散法によりＰｙｋ合を形成して各区画区分毎に
多数のトランジスタ等の素子を作ったウエーノ＼１４を
貼着したものである。この時ウエーノＸ１４は、この実
施例では従来の一例を示した第３図の構体と少し異り、
ベレツ）　１５，１５．・・・・・・の区画区分線１６
　、１６゜・・・・・・に沿って切削するスルーカット
溝１７．ｌ’７゜・・・・・・を、ウエーノ１１４の厚
さ寸法ｔより若干率さい深さ寸法８に設定されている。
つぎに第５図は、ウェーハ貼着構体１０への紫外線照射
工程を示す棚５略構成図で、ウエーノ１貼着構体ｌＯは
、そのシート１２側を上面にして基台１８上に載置し、
第６図にて明らかなように、ウエーノ＼１４の剥離不要
な斜線で示した端縁部対応部１２′及びその外方を紫外
線遮光マスク１９にて覆い、つまり、ペレッ）１５，１
５．・・・・・　粘着状態の中央部分を露出室２０に設
定している。そして、２１，２１．・・・・・・　５− は、紫外線発生源である高圧水銀灯、２２，２２゜・・
・・・　は高圧水銀灯２１　、２１　、・・・・・・よ
り発生した紫外線２３，２３．・・・・　を平行線群に
束ねて露出室２０へ照射きせるための放物線形凹面鏡で
ある。
以上の工程によって紫外線を照射されたウェーハ貼着構
体１０は、剥離すべきペレツ）１５，１５゜・・・・・
・が貼着されている粘着剤１２が、硬化して粘着力が著
しく低下している。例えば、Ｊ工５ＺＯ２３７規格によ
った粘着力試験結果では、初期粘着力が９　ｅ　ｇ　／
　２５冑であったものが、０〜５９　／　２５　ｔｔｓ
程度に低下することが確認されている。しかし粘着剤１
３は硬化してもペレット１５，１５．・・・・・・を接
着していることには変りないので、従来の第２図に示さ
れたようなペレット位置ずれを生じる恐れはない。、そ
の原因は、紫外線によって粘着剤の分子構造が固相状態
に近づき粘性は低下するが、接着エネルギは分子構造の
変化にもかかわらず粘着剤へ吸着される公知の接着理論
に基〈ものと考えられる。
さて、紫外線を照射されたウェーハ貼着構体ｌＯ６− は、第７図に示すように、筒状保持グイ２３とその外周
枠体２４と（（よって粘着シート］１の外周端縁部］］
′を挾みイ」け゛されて張架され、任意のベレット１５
へ−Ｌ方より真空吸引コレット２５を接近させてｊ♂き
、下方よりシート１２を介したま１ヘレツ）１５のみを
剥離棒２６により突き上げてウェー八貼着構体１０より
引き千切るとともに真空吸引コレット２５へ吸着させて
、ベレット］５の剥離を行う。ＰＪ　Ａ部を拡大して示
す第８図は、ベレツ）　Ｊ５の剥離中の状態である。
以１−の実施例で示したベレット剥離方法は、つニー八
貼着構体〕Ｏのシー）１２の引廷ばしを行わずに、しか
も粘着剤］２を削り取ることなくベレン）１５，１５．
・・・・・　を剥離することができるので、ペレット剥
離離における位置ずねや汚染の危険性が皆無となり、そ
の上に、照射する紫外線のマスキングを適宜パターン変
化させて所望のベレットのみを選択的に、先行パイロッ
ト剥離させることが可能である。１な、このベレット剥
離方法は、スルーカット溝１７．〕７．・・・・・・を
ウェーへ切断寸前捷で深く切り込むこノーがてきるので
、ベレットの切断側面が従来よりも著しく整い、べｌ〜
フットの区画４法が細かい場合でも作業性を損わない利
点がある。
尚、以−にの実施例は、物理的な剥離手段として、突き
上げるｆ段を採ったが、この発明は、紫外線照射によっ
て、ベレツ）１５，１５．・・・・・・の粘着力を低下
させでいるので、第９図に示ずようにつ工−ノＸ貼着構
体ＪＯを一ト側より水平に１．ごき棒２７にてしごき、
−斉に多数のベレツｌ−１５、］、　５　。
を完全カットしてやり、剥離１−でもよい。要し するこの発明における物理的剥離手段は、引き離し力と
なる衝撃を加えるためのものである。
この発明によれば、ベレット剥Ｍにおいて、従来不都合
にも併発していたべｔ〜・ツト位置づれや破損全防止で
き、１〜かもウェーハ中の一部のベレットのみの先行剥
離テストが可能であり、剥離作業が完壁となる。そして
さらに、べｔ−ットの切断側面を整わずことができ、ウ
ェーへのベレット化歩留り向上、高品質化にも寄与する
優れた諸効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１１図は、従来のウェー八貼着構体の斜視図、第２図
はそのベレット分割時の分割不良状態の要部斜視図、第
３図はウェーハのスルーカットを行う方式の貼着構体の
断面図、第４図はこの発明の一実施例であるベレット剥
離方法にて使用するつニー八貼着構体の断面図、第５図
はその紫外線照射工程を示す概略構成図、第６図は、そ
の貼着構体に紫外線遮光マスキングを施した平面図、第
７図は、その貼着一体よりベレット剥離を行う断面視概
略構成図、第８図は、第７図における円Ａ部を拡大した
要部断面図、第９図は、この発明のその′他の実施例に
て使用ウェー八貼着構体のペレット剥離を行う要部拡大
断面図である。 １０・・・・・・ウェー八貼着構体、 １１・・・・・・粘着シート、　　　１２・・・・・・
シート、１３・・・・・・粘着剤、 １５．１５．・・・・・　・・・・・・ベレット、　９
− ２３　、２３　、・・・・・・・・・・・　紫外線、２
６・・・・・剥離棒、　　２７・・・・　しごき棒。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 朱子を多数１し成４７ｊ）みのウェーハを粘着シートに
    貼着して、憲子区両ことに々゛イシング後ペレットに−
    ／し・−キング［−１個々のペレットを粘着シートより
    剥離する方法に関して、前記粘着シートの粘着剤に紫外
    線？１ｌｌｌ化性樹脂を用いて５ダイシング後詰着構休
    −＼紫外線を照射して粘着シートの粘着力を低丁させて
    、剥離棒にてのウェーへ突き上げや（資）撃を与える１
    〜どき等の物理的手段により剥離′させることを特徴と
    するペレット剥離方法。
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