JPS6254892A - ダイナミツク半導体記憶装置のリフレツシユ方法および装置 - Google Patents

ダイナミツク半導体記憶装置のリフレツシユ方法および装置

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JPS6254892A
JPS6254892A JP60179274A JP17927485A JPS6254892A JP S6254892 A JPS6254892 A JP S6254892A JP 60179274 A JP60179274 A JP 60179274A JP 17927485 A JP17927485 A JP 17927485A JP S6254892 A JPS6254892 A JP S6254892A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目 次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段 作用 実施例 本発明の第1の形態(第1A図、第1B図)第1の形態
を実行する回路(第2図) 本発明の第2の形態(第3A図、第3B図)第2の形態
を実行する回路(第4図) 発明の効果 〔概 要〕 ECC回路をオンチップしたダイナミック半導体記憶装
置にあって、ECC回路の動作を行わずにリフレッシュ
動作を行うリフレッシュモードと、ECC回路の動作と
共にリフレッシュ動作を行うリフレッシュモードとを選
択可能にしたものである。
〔産業上の利用分野〕
本発明はECC回路を内臓したダイナミック半導体記憶
装置のリフレッシュ方法および装置に関する。
〔従来の技術〕
最近、MOSダイナミックランダムアクセスメモリ (
DRAM)の集積度が64K 、 256に、 I M
ビットと進んでくると、1メモリセル当りの蓄積容量が
小さくなり、この結果、α線によるソフトエラー率が大
きくなる。このようなソフトエラー率を低減するために
ECC回路をオンチップしたDRAMは既に知られてい
る(参照:J、Yamada+T、Mano、J、In
oue。
Technical Digest+1)I) 104
−105+1984 ;および伊達、山田、真野r1M
b DRAMにおける自己訂正回路」電子通信学会、半
導体トランジスタ研究会資料、5SD84−21. p
p51−58.1984年5月)。
上述のECC回路内内蔵内蔵AMでは、メモリセルアレ
イの特定番地の複数セルデータを特定の方法で水平群と
垂直群とに分類し、各水平群と各垂直群毎のバリティチ
ェック情報をパリティチェック用セルアレイに記憶する
といういわゆる水平垂直方式が採用されている。このよ
うな方式において、あるメモリセルのデータを読出す際
には、このメモリセルに属する水平セルおよび垂直セル
の各パリティを演算し、この演算されたパリティとパリ
ティチェック用セルアレイに記憶されている対応のパリ
ティとの比較結果に応じてメモリセルから続出されたデ
ータを訂正するものである。
上述のECC回路の動作はリフレッシュ動作と同期して
実行されている。つまり、リフレッシュ動作と共に特定
メモリセルの記憶データを検査し、誤りが検出されたと
きには正しいデータを再書込みするというリード・モデ
ィファイ・ライトモードによりECCパトロールが実行
される。たとえば、マトリクス状に配列された複数のメ
モリセルに対して、リフレッシュ動作を行うために、リ
フレッシュアドレスカウンタにより行(ワード線)を順
次指定し、ECCパトロールを行うためにECC用コラ
ムアドレスカウンタにより列(ビット線対)を順次指定
する。この場合、リフレッシュサイクルを811Isと
し、1列のビット幅を11024(Lピッ)RAM)と
すれば、パトロール周期は約83である。すなわち、上
記リフレッシュサイクル毎に上述のECC用コラムアド
レスカウンタは+1歩進されている。従って、1リフレ
ツシユサイクル毎に1列(1024ビツト)の記憶デー
タが検査されて正しいデータが書込まれ、この結果、I
MビットRAMの全メモリセルのECCパトロールはリ
フレッシュサイクル×1行のビット幅1024=約83
で行われる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述のリフレッシュモード時にECCパトロールを行う
方式においては、リフレッシュ動作に要する時間が、E
CC回路を内蔵しないD−RAMにおけるリフレッシュ
動作に要する時間に比較して著しく長くなり、この結果
、リフレッシュオーバヘッドが著しく長くなるという問
題点がある。
なぜなら、ECC回路を内蔵しないDRAMにおけるリ
フレッシュ動作はリフレッシュアドレスカウンタによる
ワード線選択と、その後のセンスアンプの動作で書込み
時と同一の初期電圧レベルをメモリセルに与えるのみで
あり、つまり読出し動作の前半部分だけを行えばよいの
に対し、ECC回路内蔵のDRAMにおけるECCパト
ロールをも行うリフレッシュ動作は、上述のリフレッシ
ュ動作に加えて、記憶データの検査および書込み回路の
駆動を行う必要があるからである。なお、リフレッシュ
動作期間中は、メモリセルの正規の続出しあるいは書込
みのアクセスができない非アクセス可能時間すなわちリ
フレッシュオーバヘッドであり、このようなリフレッシ
ュオーバヘッドを短縮することは記憶装置の利用効率を
向上せしめるための課題である。さらに、ECC回路内
蔵のDRAMにおいては、リフレッシュ中にコラム系の
回路たとえばクロックジェネレータ、コラムデコーダ、
ECC回路等をも駆動するために消費電力も増大すると
いう問題点がある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の目的は、上述の問題点に鑑み、ECC回路内蔵
のDRAMにおいてリフレッシュオーバヘッドを短縮し
かつ消費電力を低減することにあり、その手段は、EC
C回路の動作を伴わないリフレッシュ動作と、ECC回
路の動作を伴うリフレッシュ動作とを選択可能にし、こ
れにより、前者のリフレッシュ動作を従来のごとく行い
、必要に応じて必要な時間間隔毎に後者のリフレッシュ
動作を行うようにしたことにある。
〔作 用〕
上述の手段によれば、たとえばすべてのセルのリフレッ
シュを、従来のどと< ECC回路動作なしで64回行
う毎に、ECC回路動作付きのリフレッシュを行うと、
ECC回路動作に伴うリフレッシュオバーヘッドの増大
はほぼ無視でき、消費電力も少なくなる。
なお、上述のごとく、たとえばリフレッシュ64回毎に
1回のECC回路動作を行うと、ECCパトロール周期
は上述の約85から約9 minとなり、保持データの
エラー検査頻度は当然低下する。
しかしながら、近い将来の高集積度RAMを考慮しても
ソフトエラー率は1000 FIT(100万回に1回
)程度悪(とも100OOFIT (10万回に1回)
程度であり、したがって、必ずしも、秒単位のエラー検
査は必要なく、分単位のエラー検査で十分である。
この点を考慮すれば、エラー検査頻度を多少下げても何
ら問題ない。
〔実施例〕
始めに、従来のECC回路内蔵のDRAMのリフレッシ
ュ動作を第5図のタイミング図を参照して説明する。通
常のすべてのアクセス動作たとえば読出しサイクルはコ
ラムアドレスストローブ信号(以下、CAS信号)の非
活性状態(CAS=“1”もしくはハイレベル)のとき
にローアドレスストローブ信号(以下、RAS信号)を
活性化(〃RAS=″0”もしくはローレベル)させる
ことにより開始するが、リフレッシュ動作はRAS信号
の活性化に先立ちでτ子信号を活性化させることにより
開始する(CA 5beforeRA Sリフレッシュ
という)。言い換えると、RAS信号が活性化した時点
でCAS信号がローレベルであれば通常のアクセス動作
が行われ、CAS信号がハイレベルであればリフレッシ
ュ動作が行われる。このリフレッシュ動作はチップ内蔵
のリフレッシュ用ローアドレスカウンタの指示でリフレ
ッシュアドレスが与えられるので、外部からリフレッシ
ュアドレスを与える必要ない。したがって、第5図にお
いて、時刻L0以前はアクセス動作たとえば読出しサイ
クルである。時間t0〜t1は続出しサイクル延長のリ
フレッシュサイクル(” hidden refres
h”と言われる)であり、時間1t#1.ちリフレッシ
ュサイクルである。なお、時刻t1にてCAS信号を非
活性化するのは出力データ端子り。U?を高インピーダ
ンスにするためである。いずれのリフレッシュサイクル
(I)。
(II)においても、RAS信号の立下りでリフレッシ
ュを開始し、立ち上りで1つのローリフレッシュを終了
してリフレッシュ用ローアドレスを1ビツトだけインク
レメントする。このサイクルをリフレッシュサイクル数
だけ行うことによりメモリセル全部のECC機能付きリ
フレッシュ動作を完了する。
第1A図、第1B図は本発明の第1の形態を示すタイミ
ング図であって、第1A図はECC回路動作なしのリフ
レッシュ動作を示し、第1B図はECC回路動作付きの
リフレッシュ動作を示す。
第1A図においては、リフレッシュ時間t0〜t、にお
いでは、RAS信号をトグルさせると共にCAS信号を
トグルさせている。したがって、RAS信号が活性化し
たときにCAS信号は活性化しているので、リフレッシ
ュ動作(CA S beforeRAS)が行われる。
この場合に、RAS信号の活性化によりロー系回路が動
作するが、一定時間内にCAS信号を非活性化するので
、これ以降コラム系回路の動作は抑止され、したがって
、ECC回路の動作も抑止される。この結果、ECC回
路動作なしのリフレッシュが行われる。
他方、第1B図においては、CAS信号を活性化したま
まRAS信号をトルグさせている。この場合は第5図の
場合と同様であり、コラム系回路の動作およびECC回
路の動作が行われて、ECC回路動作付きのリフレッシ
ュが行われる。
第1A図、第1B図に示すリフレッシュ動作を行う回路
を第2図を参照にして説明する。第2図において、1は
たとえば256にビットのメモリセルアレイであって、
そのワード線はローアドレスバッファ2およびローデコ
ーダ3によって選択され、ビット線はコラムアドレスバ
ッファ4およびコラムデコーダ5によって選択される。
6はセンスアンプ(■10)ゲートも含む)である。
ロー系回路であるローアドレスバッファ2、ローデコー
ダ3、およびセンスアンプ6はロー系のクロックジェネ
レータフのブリチャージングクロック信号φ、によって
動作する。なお、φ4はクロック信号の集合であり、各
部2,3.6には異なるタイミングでクロック信号が供
給される。クロックジェネレータフにはRAS信号と共
にCAS信号が供給されており、RAS信号の活性化に
先立ちCAS信号を活性化したときには、クロックジェ
ネレータ7はクロック信号φIIEFを発生してリフレ
ッシュ制御回路8を動作させてリフレッシュ動作を行わ
せる。すなわち、リフレッシュ制御回路8はリフレッシ
ュアドレスカウンタ9により行(ワード線)を順次指定
させ、分周器10を介してパトロール用アドレスカウン
タ11により列(ビット線)を順次指定させる。
コラム系回路であるコラムデコーダ5はコラム系のクロ
ックジェネレータ12のブリチャージングクロック信号
φ、によって動作する。クロックジェネレータ12には
クロックジェネレータフの出力クロックとCAS信号と
の論理信号すなわちゲート13によってゲートされたC
AS信号が供給されている。
14はクロックジェネレータ12の出力およびライトイ
ネーブル信号WEによって動作するライトクロックジェ
ネレータ、15は人力データD = nを入力するデー
タ入カバソファ、16はECC回路、17は出力データ
D。UTを出力する化カバソファ、VCClVSSは電
源電圧である。
なお、ローアドレスバッファ2には、外部アドレス信号
A0〜A、とリフレッシュアドレスカウンタ9のアドレ
ス信号とがマルチプレクサされて供給されており、リフ
レッシュモードにおいては図示しないマルチプレクサに
よってリフレッシュアドレスカウンタ9のアドレス信号
が供給される。
また、コラムアドレスバッファ4には、外部アドレス信
号A0〜A、とパトロール用アドレスカウンタ11のア
ドレス信号とがマルチプレクサされて供給されており、
リフレッシュモードにおいては図示しないマルチプレク
サによってパトロール用アドレスカウンタ11のアドレ
ス信号が供給される。さらに、外部アドレス信号A o
 ”’−A llはローアドレスおよびコラムアドレス
として時分割的に転送される。
検査系回路すなわちECC回路16はクロックジェネレ
ータ信号φ。とでAS信号との論理和を発生するオアゲ
ート18のブリチャージングクロック信号φiceによ
って動作する。
第1A図、第1B図における通常の読出しサイクルにお
いては、■τ丁倍信号活性化した後にCAS信号が活性
化する。この結果、クロックジェネレータ7よりロー系
プリチャージングクロフク信号φ8が発生され、次いで
、クロックジェネレータ12よりコラム系ブリチャージ
ングクロツタ信号φゎが発生されて読出し動作が行われ
る。
ロー系゛ブリチャージングクロフク信号φ8とてAS信
号とはゲート13によってアンド論理がとられているの
で、RAS信号が非活性化するとCAS信号は活性状態
であってもでτ丁′信号は非活性化しくGated C
AS方式)、シたがって、コラム系回路は自動的に非活
性化する。読出しサイクルにあっては、コラム系回路と
同時に検査系回路すなわちECC回路16はプリチャー
ジされ、出力データD outの検査を行う。ページモ
ードにおいても、CAS信号のトグルに応じて検査系回
路はその度にプリチャージされるので動作することがで
きる。第1A図の時間t0〜t1に示すごとく、RAS
信号が活性化したときにCAS信号が活性化していると
、クロックジェネレータ7はリフレッシュ制御回路8と
共にロー系回路すなわちローアドレスバッファ2、ロー
デコーダ3、およびセンス回路6を順次動作させる。し
かし、CAS信号は一定時間内に非活性化されてしまう
ためにゲート13の出力であるCAS’信号の活性化が
抑制され、クロックジェネレータ12の動作も抑制され
、したがってコラム系回路すなわち19ムデコーダ5は
動作しない。このように、リフレッシュ動作を短くする
ために、RAS信号の活性化後ただちにCAS信号を非
活性化すれば、オアゲート18の出力であるブリチャー
ジングクロック(S号φzccはハイレベルに保持され
、ECC回路16内部の一連のクロック信号の発生は停
止され、ECC回路16の動作は禁止される。
第1B図のリフレッシュ時間t0〜むい t2〜t、は
、第5図の場合と同様である。すなわち、CAS信号を
活性かしたままRAS信号をトグルさせると、上述のゲ
ー) 13  (Gated CAS方式)によりコラ
ム系回路および検査系回路が動作し、エラー検査が行わ
れ、正しいデータが再書込みされることになる。なお、
第1B図の場合、エラー検査を行う分だけRAS信号の
トグル幅は第1Aこのように、第1A図に示すRAS信
号、CAS信号のタイミングにより第2図の回路を動作
させると、ECC回路の動作なしつまりエラー検査なし
のリフレッシュが行われ、第1B図に示すRAS信号、
CAS信号のタイミングにより第2図の回路を動作させ
ると、ECC回路の動作付きつまりエラー検査ありのリ
フレッシュが行われる。
第3A図、第3B図は本発明の第2の形態を示すタイミ
ング図であって、第3A図はECC回路動作なしのリフ
レッシュ動作を示し、第3B図はECC回路動作付きの
リフレッシュ動作を示す。
第3A図、第3B図の形態では、後述のごとく、ECC
回路16はゲーテイドCAS方式ではなくCAS信号に
より直接動作させられる。このため、通常のアクセス動
作では、CAS信号の活性化と共にECC回路16が動
作するノテ、RAS−CAS −t−一ド、ページモー
ドと共続出しサイクルでECC回路16は動作する。
第3A図においてはリフレッシュ時間t0〜L、、t、
〜L4においては、CAS信号を活性化したままRAS
信号をトグルさせる。したがって、RAS信号が活性化
したときにCAS信号は活性化しているので、リフレッ
シュ動作(CASbefore  RA S )が行わ
れる。この場合、CAS信号が非活性化しない限り、E
CC回路16はプリチャージされず、したがって、エラ
ー検査は行われない。なお、時刻t、にててτ丁信号を
非活性化するのは、第5図の場合と同様に、出力データ
端子D outを高インピーダンスにするためである。
他方、第3B図においては、RAS信号のトグルに先立
ちCAS信号を活性化させ、かっCAS信号をトグルす
ることにより、コラム系回路をリフレッシュの毎にプリ
チャージし、かっECC回路16を動作させている。
第3A図、第3B図に示すフレッシュ動作を行う回路を
第4図を参照にしてする。第4図においては、第3図の
オアゲート18を設けておらず、CAS信号をブリチャ
ージングクロツタ信号φECCとしてECC回路16に
供給しである。
第3A図、第3B図における通常の読出しサイクルにお
いても、RAS信号が活性化した後にCAS信号が活性
化する。この結果、クロックジェネレータ7よりロー系
ブリチャージングクロック信号φ7が発生され、次いで
、クロックジェネレータ12よりコラム系ブリチャージ
ングクロック信号φ、が発生ン゛れて読出し動作が行わ
れる。ロー系ブリチャージングクロツタ信号φ、とCA
S信号とはゲート13によってアンド論理がとられてい
るので、RAS信号が非活性化するとCAS信号は活性
状態であってもCAS ’信号は非活性化しくGate
d CAS方式)、シたがって、コラム系回路は自動的
に非活性化する。読出しサイクルにあっては、コラム系
回路と同時に検査系回路すなわちECC回路16はプリ
チャージされ、出力データD a u tの検査を行う
上述の状態にあって、第3A図の時間t0〜jl S 
t、〜t4に示すごとく、RAS信号がトグルすると、
すなわち、CAS信号を非活性のままRAS信号をトグ
ルすると、クロックジェネレータ7はリフレッシュ制御
回路8と共にロー系回路tなわちローアドレスバッファ
2、ローデコーダ3、およびセンス回路6を順次動作さ
せるが、CAS信号の非活性によりコラム系回路および
ECC回路16はプリチャージされない。
第3B図における時間t0〜t1においては、CAS信
号を活性化してRAS信号をトグルしているので、リフ
レッシュ毎にゲート13を介してコラム系回路が動作し
、しかも、CAS信号がトグルしているので、ブリチャ
ージングクロツタ信号φtcc  (= CA S)に
よりリフレッシュ毎にECC回路16はプリチャージさ
れる。この結果、エラー検査が行われ、正しいデータが
再書込みされることになる。なお、第3B図の場合、エ
ラー検査を行う分だけRAS信号のトグル幅は第3A図
の場合に比べて太き(設定する必要がある。
このように、第3A図に示すRAS信号、CAS信号の
タイミングにより第4図の回路を動作させると、ECC
回路の動作なしつまりエラー検査なしのリフレッシュが
行われ、第3B図に示すRAS信号、CAS信号のタイ
ミングにより第4図の回路を動作させると、ECC回路
の動作付きつまりエラー検査ありのリフレッシュが行わ
れる。
なお、上述のECC回路16としては、水平垂直方式の
ものあるいはハミングコード型式のもののいずれも用い
ることができるが、後者は同時に多ビツト検査可能であ
り、検査効率がその分よく、したがって、検査頻度を下
げることが容易かつ有効である。
また、上述の実施鈴では、エラー検査なしのリフレッシ
ュモードとエラー検査つきのリフレッシュモードとを、
新たな入力ピンを設けることなく、RAS信号、CAS
信号のタイミングの相違により選択している。しかし、
このような選択をメモリ内部で機械的にたとえばリフレ
ッシュ64回にエラー検査付きリフレッシュ1回の割合
で行うこともできる。この場合には、メモリの外部から
いずれのリフレッシュモードが行われているかを判別す
る必要がある。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、ECC回路動作を
伴うリフレッシュ動作回数を低減できるので、リフレッ
シュオーバヘッドを短縮でき、また、ECC回路の動作
に伴う消費電力も低減できる。
【図面の簡単な説明】
第1A図、第1B図は本発明の第1の形態としてのリフ
レッシュ動作を示すタイミング図、第2図は第1A図、
第1B図のタイミング図によるリフレッシュ動作を行う
ECC回路内蔵のダイナミック半導体記憶装置の回路図
、 第3A図、第3B図は本発明の第2の形態としてのリフ
レッシュ動作を示すタイミング図、第4図は第3A図、
第3B図のタイミング図によるリフレッシュ動作を行う
ECC回路内蔵のダイナミック半導体記憶装置の回路図
、 第5図は従来のリフレッシ−動作を示すタイミ 1ング
図である。                 (1:
メモリセル、              [7:クロ
ックジェネレータ(ロー系制御回路)、12:クロック
ジェネレータ(コラム系制御回路)、 16 S ECC回路、 RAS :ロードアドレストローブ信号、CAS :コ
ラムアドレストローブ信号、φREF  :リフレッシ
ュプリチャージングクロツタ信号、 φR=ロー系ブリチャージングクロック信号、 (φC
:コラム系ブリチャージングクロツタ信号、〔φECC
:検査系ブリチャージングクロツタ信号。 FCCあり ECC回路動作を伴わないリフレッシュ動作 。 ′$3A図 ECC回路動作を伴うリフレッンユ動作第3B図 手続補正書く自発) 昭和61年8月20日 特許庁長官 黒 1)明 a  殴 1、 事件の表示 昭和60年特許願第179274号 2、発明の名称 グイナミソク半導体記憶装置のリフレッシュ方法および
装置 3、補正をする者 事件との関係   特許出願人 名称 (522)富士通株式会社 4、代理人 住所 〒105東京都港区虎ノ門−丁目8番IO号静光
虎ノ門ビル 電話504−07215、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 6、補正の内容 1)明細書第9頁第10行目および第12頁第13行目
「続出」を「読出jと補正する。 2)明細書第14頁第2行目「トルグ」を「トグルjと
補正する。 3)明細書第18頁第10行目「19ムデコーダ」をr
コラムデコーダ」と補正する。 4)明細書第19頁第4行目「第1AJの後に「図の場
合に比べて大きく設定する必要がある。」を付加する。 5)明細書第21頁第1行目「フレッシュ動作」を「リ
フレッシュ動作」と補正する。 6)明細書第23頁第16行目「実施−鈴」を「実施例
」と補正する。 7)明細書第25頁第11行目「ロードアドレストロー
プ」を「ロードアドレスストローブJと補正する。 8)明細書第25頁第12行目「コラムアドレストロー
ブ」を「コラムアドレスストローブ」と補正する。 以上

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.エラー検査訂正(ECC)回路(16)を内蔵した
    ダイナミック半導体記憶装置であって、 前記エラー検査訂正回路の動作を伴わないリフレッシュ
    動作と、 前記エラー検査訂正回路の動作を伴うリフレッシュ動作
    と、 を選択可能にしたダイナミック半導体記憶装置のリフレ
    ッシュ方法。
  2. 2.前記リフレッシュ動作の選択を前記半導体記憶装置
    の外部から行う特許請求の範囲第1項に記載のダイナミ
    ック半導体装置のリフレッシュ方法。
  3. 3.前記リフレッシュ動作の選択を前記半導体記憶装置
    の内部から行う特許請求の範囲第1項に記載のダイナミ
    ック半導体装置のリフレッシュ方法。
  4. 4.エラー検査訂正(ECC)回路(16)を内蔵する
    ダイナミック半導体記憶装置であって、 ローアドレスストローブ(@RAS@)信号に応じて前
    記装置のロー系を制御するロー系を制御回路(7)と、 該ロー系制御回路の出力(φ_R)とコラムアドレスス
    トローブ(@CAS@)信号とに応じた信号(@CAS
    @′)により前記装置のコラム系を制御するコラム系制
    御回路(12)と、 前記コラムアドレスストローブ信号の活性後の前記ロー
    アドレスストローブ信号の活性化に応じて前記装置をリ
    フレッシュするリフレッシュ制御回路(8)と、 前記コラムアドレスストローブ信号もしくは前記コラム
    系制御回路の出力(φ_C)に応じて前記エラー検査訂
    正回路を制御する制御回路(18)と、を具備し、 前記コラムアドレスストローブ信号の活性化に続いて前
    記ローアドレスストローブ信号の活性化した後に、一定
    時間内に前記コラムアドレスストローブ信号を非活性化
    したときには前記エラー検査訂正回路を動作させずに前
    記リフレッシュ制御回路を動作させ、他方、前記コラム
    アドレスストローブ信号を活性化してその状態に保持し
    て前記ローアドレスストローブ信号をトグルさせたとき
    には前記エラー検査訂正回路を動作させると共に前記リ
    フレッシュ制御回路を動作させるダイナミック半導体記
    憶装置のリフレッシュ装置。 5、エラー検査訂正(ECC)回路(16)を内蔵する
    ダイナミック半導体記憶装置であって、 ローアドレスストローブ(@RAS@)信号に応じて前
    記装置のロー系を制御するロー系制御回路(7)と、 該ロー系制御回路の出力(φ)とコラムアドレスストロ
    ーブ(@CAS@)信号とに応じた信号(@CAS@′
    )により前記装置のコラム系を制御するコラム系制御回
    路(12)と、 前記コラムアドレスストローブ信号の活性後の前記ロー
    アドレスストローブ信号の活性化に応じて前記装置をリ
    フレッシュするリフレッシュ制御回路(8)と、 を具備し、 前記コラムアドレスストローブ信号(@CAS@)に応
    じて前記エラー検査訂正回路を制御し、前記コラムアド
    レスストローブ信号を活性状態に保持して前記ローアド
    レスストローブ信号をトグルさせたときには前記エラー
    検査訂正回路を動作させずに前記リフレッシュ制御回路
    を動作させ、他方、前記コラムアドレスストローブ信号
    を前記ローアドレスストローブ信号のトグルに同期して
    トグルさせたときには前記エラー検査訂正回路を動作さ
    せると共に前記リフレッシュ制御回路を動作させるダイ
    ナミック半導体記憶装置のリフレッシュ装置。
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