JPS6255155A - インキジェットプリントヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、インキジェットプリントヘッド内の電気的に
加熱される加熱素子における泡発生によって推進される
インキ滴が上記プリントヘッドのオリフィスを通って放
出されるという形式のインキジェット式印書に関し、特
に高密度熱式インキジェットプリントヘッド及びその製
作方法に関する。

（従来の技術） 従来から行なわれている熱式インキジェット印書におい
ては、プリントヘッドは、米国特許第４．４６３，３５
９号に開示されるようなｆつまたはそれ以上のインキで
充填されるチャネルを備えており、上記チャネルは、そ
の一端部が比較的小形のインキ供給室と連通しており、
反対端部は、ノズルと屡々呼ばれるオリフィスを有して
いる。通例は抵抗体である熱エネルギー発生器または加
熱素子が、上記チャネル内に上記ノズルの近くに該ノズ
ルからの所定距離に配置されている。上記抵抗体は個別
的に電流パルスを与えられて一時的にインキを気化させ
、インキ滴を放出させる泡を形成する。

上記泡が成長するにつれて、上記インキはノズルから膨
れ出、インキの表面張力によってメニスカスとして保有
される。上記泡が崩壊し始めると、上記チャネル内に上
記ノズルと泡との間になお在るインキは上記崩壊しつつ
ある泡へ向かって移動して上記ノズルにおいてインキの
体積を収縮させ、その結果、上記膨れ出しつつあるイン
キはインキ滴として分離する。上記泡が成長しつつある
間に上記ノズルから出るインキの加速は、用紙のような
記録媒体の方へ向かうほぼ直線方向におけるインキ滴の
運動量及び速度を提供する。

米国特許第４．４６３．３５９号には、１つまたはそれ
以上のインキ充填チャネルを有する熱式インキジェット
プリンタが開示されており、上記チャネルは毛管作用に
よってインキを補給される。メニスカスが各ノズルに形
成され、これからインキがしたたるのを防止する。抵抗
体または加熱体が各チャネル内に上記ノズルから所定距
離に配置されている。データ信号を表わす電流パルスが
上記抵抗体に与えられ、これと接触しているインキを一
時的に気化させ、各電流パルスに対して泡を形成する。

上記泡の生長によって各ノズルからインキ滴が放出され
る。即ち、成る量のインキが上記ノズルから膨れ出、上
記泡が崩壊し始めると分裂してインキ滴となる。上記電
流パルスは、各インキ滴が放出された後に上記メニスカ
スが分裂してチャネル内に余りに遠く引っ込むことを防
止するように形成される。熱式インキジェット装置の線
形アレイの種々の実施例が示されている。即ち、例えば
、放熱式基体の頂部及び底部に千鳥形の線形アレイを取
付けたもの、及び多色印書のための異なる色のインキを
有するものが示されている。一つの実施例においては、
両端にノズルを有する比較的短いチャネルの中央に抵抗
体が配置されている。

他の通路が上記の端部開口チャネルに連結され、且つこ
れと垂直になっておって丁字形構造を形成している。イ
ンキが毛管作用によって上記通路から上記端部開口チャ
ネルに補給される。従って、泡が上記端部開口チャネル
内に形成されると、２つの異なる記録媒体に同時に印書
することができ、る。

ＩＢＭ技術発表紀要（ＩＢＭ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｄ
ｉｓｃｌｏｓｕｒｅＢｕｌｌｅｔｉｎ　）、第２１巻、
第６号（ｌ９７８年１１月）の第２５８５頁ないし第２
５８６頁には、（ｌ００）配向シリコンウェーハの両面
における互いに垂直の溝の差別エツチングが開示されて
いる。上記溝の深さが上記ウェーハの厚さの２に等しく
なると、ノズルのアレイが形成される。

アーネスト・バソース（Ｅｒｎｅｓｔ　Ｂａ５ｓｏｕｓ
　）にがかるｒ　（ｌ００）及び（ｌ１０）シリコンの
異方性エツチングによる新規な三次元微小構造の製作」
（Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｎｏｖｅｌ　Ｔｈｒ
ｅｅ−ＤｉｍｅｎｓｉｏｎａｌＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔ
ｕｒｅ　ｂｙ　ｔｈｅ　Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ　Ｅｔ
ｃｈｉｎｇｏｆ　（ｌ００）　ａｎｄ　（ｌ１０）　５
ｉｌｉｃｏｎ　）なる論文が電子装置に関するＩＥＥＥ
会報、第ＥＤ−２５巻、第１０号（ｌ９７８年１０月）
に記載されており、この論文は、（ｌ００）及び（ｌ１
０）配向の単結晶シリコンの異方性エツチング及び３つ
の形式の微小構造について述べている。即ち、（ｌ）イ
ンキジェットノズルとして使用するための薄膜内の高精
度円形オリフィス、（２）低温用に適する８面空洞を有
する多重ソケット式小型電気接続器、及び（３）（ｌ０
０）及び（ｌ１０）シリコン内の多重チャネルアレイに
ついて述べている。これら構造のうちの成るものを作る
ために、シリコンウェーハを燐珪酸ガラス膜と融着させ
るだめの新しい接着技術が開発された。上記の円形オリ
フィスを有する薄膜型ノズルは、穴の異方性エツチング
を、エツチング剤内における強くドーピングしたｐ＋形
シリコンのエツチング抵抗性を利用した方法と組み合わ
せて行なうことによって製作された。

米国特許第４，４３８，１９１号には、多重部分品式組
立体を作るための接着剤を使用する必要のない一体式泡
駆動インキジェットプリントヘッドを作る方法が開示さ
れている。この方法によれば、標準的の集積回路及びプ
リント回路の処理法により、層形構造を作ることができ
る。基本的には、泡発生用抵抗体及び個別的アドレッシ
ング電極を有する基体に、標準的の半導体処理によって
インキ室及びノズルを形成する。

米国特許第４，３３５，３８９号には、液体と接触する
電気熱変換器の部分が、泡が成長及び崩壊するという作
動環境において過度に摩耗することのないように特定の
重を減少試験を通過した材料で作られているということ
を特徴とする液滴放出式記録ヘッドが開示されている。

急速に発生及び崩壊させられる泡によって生ずるキャビ
テーション力が、保護なしの加熱素子を激しく腐食し、
稼働寿命を短縮させる。

米国特許第４，３７７．８１４号には、相隣る液滴放出
ハウジング間に、これらを互いに隔離するために波形部
材を設け、これにより、混線、即ち、選定したちの以外
のハウジング内のノズルの賦勢を防止するようにしたも
のが開示されている。

米国特許第４，４１７，２５１号には、インキ溜めから
ノズルまでのインキ流路を構成するチャネルが、基体上
に設けられた感光材料の層内に形成されているというイ
ンキジェットヘッドを製造する方法が開示されている。

特開昭５５〜４９２７４号には、複数のメサを作るだめ
の型を単結晶材料の異方性エツチングを介して作ること
によってノズル板を製作するための方法が開示されてい
る。

特開昭５５−４９２７５号には、２つの単結晶層の間に
挟着したエツチング保護層を、上記結晶層の相対向する
面の一方に硼素をドーピングすることによって形成した
ものが開示されている。同じパターンの保護層を上記結
晶層の各々の外面に形成する。両方の結晶層を中央の上
記保護層まで異方性エツチングする。露出した中央保護
層を除去し、ノズル板を、インキとの相互作用を防止す
るために保護膜で被覆し、上記中央保護層にオリフィス
があるノズルを得る。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的は安価な高解像度のインキジェットプリン
トヘッドを提供することにある。

本発明の他の目的は２つの同構造の部分品から組立てる
ことのできる簡単なプリントヘッド構造を提供すること
にある。

本発明の更に他の目的は、シリコンウェーハの面上の絶
縁層上に複数組の泡発生用加熱素子及びそのアドレッシ
ング電極を形成することにより、及び上記加熱素子相互
間の絶縁層の平行ストリップを除去し、そこのシリコン
を、これに７字形溝を作る異方性エツチングにさらすこ
とにより、多数の同構造の部分品を一括生産することに
ある。

本発明の更に他の目的は、同構造のＶ字形溝付き部分品
を面向き合わせに組み合わせて、加熱素子及びアドレッ
シング電極を含むランドを上記Ｖ字形溝と重ね合わせ、
これにより、上記部分品を自動的に整合させ、一方の部
分品上の７字形溝と他方の部分品のランドを含む加熱素
子との間にインキチャネルを形成することを可能ならし
めることにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明においては、複数のインキジェットプリントヘッ
ドを単一の（ｌ００）　　シリコンウェーハから作るこ
とができる。本発明の実施例においては、プリントヘッ
ドは熱式即時応答滴下型のものであり、往復キャリジ型
プリンタから一段ずつ進ませられる記録媒体上に一行ず
つ印書するようになっている。複数組の加熱素子及びそ
の個別的アドレッシング電極をシリコンウェーへの面上
の絶縁層上に形成する。各加熱素子間の上記絶縁層の平
行ストリップを除去して上記ウェーハの面を異方性エツ
チングにさらし、該エツチングによって上記ウェーハに
長く伸びた平行のＶ字形溝の組を作る。一実施例におい
ては、長く伸びた凹所を、各組の７字形溝と垂直に、ウ
ェーハの両面に作り、これにより、長く伸びた凹所の底
をＶ字形溝の各組内の各Ｖ字形溝の底と連通させる。こ
の長く伸びた凹所は、後で、各プリントヘッドに対する
インキ供給層インキ溜めとして働く。他の実施例におい
ては、絶縁層の平行ストリップをパターン付けし、これ
により、加熱素子及びアドレッシング電極を含む上記平
行絶縁層ストリップ内に浅い切欠き部を形成する。この
構成においては、異方性エツチングはチャネルのための
Ｖ字形溝を作るだけではなく、更に、各７字形溝の壁に
切欠き部を作る。この切欠き部は、後で、チャネル間の
相互連通の手段として働き、長く伸びた凹所の必要がな
くなる。一つのＶ字形溝に接続する極めて小さな凹所で
も十分であり、または、外部の露出した切欠き部の一つ
に挿入された管でもインキカートリッジからプリントヘ
ッドへインキを供給するための手段を提供することがで
きる。

各組のＶ字形溝及び加熱素子電極の端部を、上記Ｖ字形
溝と垂直に行なう平行ダイシング切断によって除去して
上記Ｖ字形溝の端部を開口させる。

各組のＶ字形溝及び加熱素子と平行にそれらの間で行な
うダイシング切断により、−組の加熱素子及びＶ字形溝
を有する個別的部分品を作る。一方の部分品の加熱素子
及びアドレッシング電極含むランドを他方の部分品のＶ
字形溝と組み合わせてこれら２つの同構造の部分品を接
着し合わすことにより、各プリントヘッドを作る。各プ
リントヘッドをＬ字形電極盤またはドータボードの一つ
の縁に固定配置し、チャネルの開口端部が上記ドータボ
ードの縁と平行になり、ノズルとして働（ことのできる
ようにする。上記チャネルの反対端部を、長く伸びた凹
所がある実施例の場合を除き、例えばエポキシ樹脂で閉
塞する。そこでは、プリントヘッドの一方の部分品内の
Ｖ字形溝間の少な（とも１つの通路が他方のプリントヘ
ッド部分品内のＶ字形溝の一つと接続される。上記他の
実施例の外部切欠き部も閉塞される。上記プリントヘッ
ド電極を上記ドータボード上の対応の電極に接続する。

この接続のだめの手段として、電極を有する中間可撓盤
を用いてもよい。プリントヘッド、及び場合によっては
中間可撓盤を取付けた上記ドータボードをインキ供給カ
ートリッジに取付ける。

このインキ供給カートリッジは使い捨て式のものであっ
てもよい。露出しているプリントヘッド凹所インキ溜め
を上記カートリッジ内のアパーチャの上に密閉的に配置
することにより、上記プリントヘッド内に所定の圧力で
インキを充填して保持する。

上記のプリントヘッド、ドータボード及びカートリッジ
の組合せ体を、例えば、インキジェットプリンタのキャ
リジに取付ける。このキャリジは、用紙のような記録媒
体の面を横切って往復運動す、　　るようになっている
。上記用紙は、上記プリントヘッドの往復運動方向が、
他の行を印書するために逆転するたびごとに、所定の距
離だけ一段ずつ進ませられる。この構成におけるプリン
トヘッドノズルのアレイは、上記記録媒体の移動方向と
平行であり、且つ上記キャリジの横走行方向と垂直であ
る。電流パルスが、プリンタ内の制御器によるディジタ
ル化データ信号の受信に応答して該制御器から各チャネ
ル内の加熱素子に選択的に与えられる。

上記電流パルスにより、上記加熱素子はインキに熱エネ
ルギーを伝達し、この熱エネルギーは、業界に周知のよ
うに、該インキを気化させて一時的に泡を作る。上記加
熱素子は上記電流が流れ終ると冷却し、上記泡は崩壊す
る。上記泡の核生成及び膨張によってインキ滴が形成さ
れ、上記記録媒体へ向かって推し進められる。

或いはまた、任意の所望の長さのプリントヘッドを、同
構造の部分品から、ノズル間の中心間間隔の損失なしに
組立てることができる。これは、面向き合わせに組立て
られる最初の２つの部分品を７字形溝の個数だけずらす
ことによってなされる。このようにずらすことにより、
第３の部分品を突き合わせること、及び対向する７字形
溝のうちの若干を上記突き合わせを受ける両方の部分品
によって共有することができる。従って、引き続いて追
加される片即ち部分品は、部分品が次から次へと向かい
合わせに組み合わされるにつれて、自己整合し続ける。

即ち、２つの並置された部分品は、向かい合わせとなる
共通の部分品を常に共有するからである。かかるアレイ
においては、頁中印書が可能となり、そして、この構成
においては、いうまでもなく、この頁中アレイは固定さ
れ、且つ記録媒体の移動方向と垂直の方向に向けられる
。印書作業中は、記録媒体は一定速度で絶えず移動する
。

（実施例） 代表的なキャリジ型多色熱式インキジェットプリンタ１
０を第１図に示す。インキ滴生成用チャネルの線形アレ
イが、各インキ供給カートリッジ１２の各プリントヘッ
ド１１内に格納されている。

このカートリッジは、例えば使い捨て式のものである。

１つまたはそれ以上のインキ供給カートリッジが往復式
キャリジ組立体１４に交換可能に取付けられている。こ
のキャリジ組立体は、ガイドレール１５上を矢印１３方
向に前後に往復運動する。上記チャネルの末端はオリフ
ィスまたはノズルとなっており、上記ノズルは、上記キ
ャリジの往復方向（矢印１３）と垂直に、且つ、用紙の
ような記録媒体１６の面と平行に整列している。このよ
うにして、上記プリントヘッドは上記記録媒体上に情報
の一行を印書する。即ち、上記キャリジが走行している
間、上記記録媒体は静止させられているからである。上
記記録媒体は、上記キャリジ組立体が一つの方向におけ
るその横移動を完了すると直ちに、且つ該キャリジ組立
体がその往復方向に逆転して反対方向に走行し始める前
に、上記印書済み行に等しい距離だけ矢印１７方向に進
ませられる。上記プリントヘッド付きのキャリジ組立体
が上記反対方向に移動するにつれて、上記情報の行の続
きである情報の他の行が印書される。プリンタ制御器（
図示せず）に受信されるディジタルデータ信号に応答し
上記ノズルから上記記録媒体へ向かってインキ滴１８が
放出且つ推進される。上記プリンタ制御器は、上記プリ
ントへラドのチャネル内に上記ノズルからの所定の距離
８：：！ｔｇｔＬ”？：ｕ＞４４１１“０１１°゛）“
１″！、［ｔｌｌ　　　　　。

に電流パルスを与える。上記プリントヘッドの加熱素子
を流れる上記電流パルスは、該加熱素子と接触するイン
キを蒸発させて一時的の蒸気の泡を生成させ、インキの
滴を上記ノズルから放出させる。或いはまた、いくつか
のプリントヘッドを互いに突き合わせ、第７図に示し且
つ後で詳述する如きノズルの頁中アレイを形成してもよ
い。この後者の構成においては、ノズルは静止しており
、用紙が一定速度で上記ノズルの前を通って連続的に移
動する。ノズルの１つまたはそれ以上の頁巾アレイを積
み重ね、各アレイが個々の色のインキを放出して多色頁
中印書を行なうようにすることもできる。

第１図に示すように、インキ供給カートリッジ１２と、
固定されている電極盤またはドータボード１９との各々
の間に、破線で示すプリントヘッド１１が挟着されてい
る。上記プリントヘッドは上記ドータボードに永久的に
取着されており、そのそれぞれの電極は接続し合わされ
ている。後で詳述するプリントヘッド充填穴またはイン
キ溜めが、上記カートリッジ内のアパーチャ（図示せず
）に対して密閉的に配置されてこれと合致しており、こ
の印書装置の作動中はインキが上記カートリッジから上
記インキ溜めを介して上記インキ溝に絶えず供給される
ようになっている。このカートリッジは、本願と同じ譲
受人に譲渡されたイバン・レザンカ（Ｉｖａｎ　Ｒｅｚ
ａｎｋａ　）にかかる１９８４年１２月３日出願の米国
特許出願第６７７．４２６号に詳細に記載されているも
のと同様のものである。各ドータボード１９の下部２０
には電極端子２１があり、該端子は、カートリッジ組立
体１４内の雌リセプタクル（図示せず）への差し込みを
容易化するようにカートリッジ底部２２の下に延びてい
る０本実施例においては、上記プリントヘッドは中心距
離２５ないし７５ミクロン（工ないし３ミル）の４８個
のチャネルを有し、２５．４ｍｍ（ｌインチ）当り３０
０ないし６００スポツト（３００ないし６００ｓｐｉ　
）の解像度で印書するようになっている。各ドータボー
ド上のこのような高い密度のアドレッシング電極２３は
、該電極のうちの若干を両側面で終端させることにより
、取扱いがより便利になる。第１図において、図示の側
面２４は、上記プリントヘッドを含んでいる側面と反対
の面である。上記電極は、全て、上記プリントヘッドが
ある側面で始まっているが、そのうちの若干は上記ドー
タボードを貫通している。全ての電極２３はドータボー
ド端部即ち下部２０で終っている。

Ｌ字形ドータボード１９の平面図−を第２図に示す。こ
の図は、プリントヘッド１１を含んでいる側面である。

ドータボード電極即ちアドレッシング電極２３は上記プ
リントヘッドと１対１の比率になっている。図示の実施
例においては、１つのプリントヘッド片２８が上記ドー
タボードに密閉的に固定され、その電極３３はドータボ
ード電極２３にワイヤ接続されている（第１２図）。第
１１図について後で詳述するように、他のプリントヘッ
ド片の電極は、先ず、例えばカプトン０（Ｋａｐｔｏｎ
■）のような可視丁字形盤５０上の中間電極５５にワイ
ヤ接続され、これに上記プリントヘッド片が接続されて
いる。２つの同構造の片２８を噛み合わせ、互いに接着
してプリントへラド１１を形成させると、第１３図につ
いて後で詳述するように、上記可撓盤の片持ちばり成端
部５６を撓ませて適切なドータボード電極と接触させ、
次いで、例えば接着剤で永久的に固着させることができ
る。ワイヤ接続体（図示せず）が接続されている場所で
上記可撓、盤が撓むのを防止するために補強材５２が該
可撓盤に接着される。本実施例においてはこの構成を用
いであるが、業界に周知の他のいろいろの方法を用い、
２つの同構造のプリントヘッド片２８を組み合わせてプ
リントヘッド１１を形成する前または後に、該プリント
ヘッド片の電極をドータボード電極に接続することもで
きる。プリントヘッドインキ溜め充填穴３５　（第３図
）は、上記可撓盤及び補強材にそれぞれある穴５工及び
５３と整合し、上記カートリッジから上記プリントヘッ
ドへのインキの移動のためのじゃま物のない通路を作る
ようになっている。上記ドータボードの長脚部上にある
ドータボード電極２３の約半分はその反対面上にあり、
従って、ドータボード端部２０の両側面は端子２１のほ
ぼ同構造の平行アレイを有す。上記ドータボードの反対
側面上の電極は、位置２６において該ドータボードを通
って電気的に接続されている。

本発明のプリントヘッドの一つの独特の特徴は、簡単な
２片式本体構造を有しているということである。２つの
片２８は互いに同構造であり、組立てまたは組み合わせ
て、加熱領域、加熱素子、インキトンネルまたはチャネ
ル、及び放出ノズルを具備する完全なプリントヘッドを
作ることができる。本発明の２片式プリントヘッドは、
後で詳述するように、加熱素子３０の列相互間で異方性
エツチングされた特別に形成したＶ字形の溝２９によっ
て可能となる。この溝付き構造においては、同構造の片
２８を自己整合的に面と面とを向き合わせ、第３図に示
すようにそれぞれのランド３１及び溝２９を重ね合わす
ことができる。即ち、第３図は、ドータボード１９上に
取付けられたこのプリントヘッド１１の前面を示す拡大
斜視図である。この図においては、インキ滴放出ノズル
２７のアレイを示しである。一般にはプリントヘッドに
おけるノズルの個数は総計で４８から１２８またはそれ
以上になるが、図ではそのうちの６個を示しである。ト
ンネルまたはチャネルは、加熱素子を包含しているラン
ド３１の高さを、該ランドが嵌入する溝の深さよりも小
さくすることによって形成される。各月２８は、溝２９
によって分離された加熱素子３０を包含しているから、
一つの片における加熱素子相互間の空所は第２の片のラ
ンドで埋められ、及びこの逆となる。かかる構成により
、インキ滴放出ノズルの密度が可及的最高となり、且つ
、混線を防ぐためのチャネル相互の適切な離隔が得られ
る。即ち、加熱素子に電流パルスが与えられているチャ
ネルに付属するノズルの隣りのノズルから不時のインキ
放出が防止される。

この形式のプリントヘッドは、標準的なシリコン集積回
路製作技術により、比較的安価に量産することができる
。組立てに必要なのは、２つの同構造の片を面を向かい
合わせて配置するという格別むずかしさのない１つの工
程であある。上記２つの片の整合及び重ね合わせは自動
的且つ精密になされる。接着剤の使用というような標準
的な密閉技術を、必要に応じてこの組立て工程に取り入
れることができる。

第３図において、向かい合う両片２８は、溝２９相互間
のランド３１上に形成された加熱素子３０及びアドレッ
シング電極３３を有す。図には、ノズル２７があるプリ
ントヘッドの縁が示されており、そして、溝２９で形成
されたチャネルの反対端部付近には、該溝の底部または
頂点３７にある穴３４（この図には示してない）が共通
のマニホルドまたはインキ溜め３５と連通している。従
って、上記加熱素子のそれぞれの一つが、一方の片肉の
溝と他方の片内のランドとによって形成された各チャネ
ル内に配置されている。可撓盤５０及び補強材５２内に
それぞれ同心穴５１．５３が、カートリッジアパーチャ
（図示せず）とマニホルド３５との間を連通させる。イ
ンキは、プリントヘッド１１が密閉的に取付けられてい
るインキカートリッジ１２から、該カートリッジ内の穴
（図示せず）を通り、上記同心穴を介して、長く伸びた
凹所即ちインキ溜め３５に入る。要すれば、上記カート
リッジ穴と隣りの穴３５との間にＯリングシールを用い
ることができる。プリントヘッドがドータボードに永久
的に取着されるときに、他方のプリントヘッド片肉の同
様の凹所が該ドータボードに対して密閉され、従って、
上記プリントヘッドのこの半分部内のインキ溜めは、そ
れぞれの片２Ｂの各々内のチャネル間の少なくとも１つ
の通路（図示せず）を介して充填されることになる。一
方のプリントヘッド片のアドレッシング電極を適当する
ドータボード電極に接続した後、他方の同構造のプリン
トヘッド片を、中間電極５５が形成されている可撓盤の
面５４に接着する。次に、補強材５２を可撓盤５０の反
射面５７に接着し、該可撓盤がこの補強領域においては
撓むことができないようにする。なお、後で説明する第
１１図を参照されたい。上記プリントヘッド片電極を上
記可撓盤の中間電極にワイヤ接続する。補強材５２は、
ワイヤ接続体が取着されている場所で上記可撓盤が撓む
ことを防止する。プリントヘッド、可撓盤及び補強材の
組立部品を、上述したように、ドータボードに既に接着
されているプリントヘッド片に取付ける。上記ノズルと
反対のチャネル開口端部を、上記プリントヘッド片の各
々内のチャネルの少なくともそれぞれの一つを相互接続
している少なくとも１つの通路（図示せず）を除き、密
閉する。チャネル端部を密閉する従来からある任意の方
法、例えば熱硬化性樹脂を使用するという方法を用いる
ことができる。各プリントヘッド片２８上の露出してお
って使用されない電極３３及び加熱素子３０を、美観上
の目的でダイシングまたは研削によって除去してもよい
が、プリントヘッドは第３図に示す如くに完全に機能す
るので、この作業は全く随意的のものである。

いうまでもなく、上記の溝、加熱素子、及び電極のパタ
ーンを、平衡した対称的なプリントヘッドが得られるよ
うに設計し、随意選択的グイシング工程の必要をなくす
るようにすることができるが、これは、上部及び下部の
片が同形でないこともあるということを意味するもので
ある。

一実施例においては、第４図に示すように、両面研摩し
た（ｌ００）シリコンウェーハ３６から複数の片２８を
作る。上記ウェーハを化学的に清浄化した後、熱分解Ｃ
ＶＤ窒化シリコン層４１を両面に沈着させる。通例のホ
トリソグラフィを用い、複数の片２８の各々に対する共
通のインキ溜め凹所３５のための道を、ウェーハ３６の
一方の面４２上の所定の場所にプリントする。上記一方
の面は、第４図に示しである面の反対の面である。

上記窒化シリコンを、凹所３５を表わしている上記道の
パターンからプラズマエツチングで除去する。水酸化カ
リウム（ＫＯＨ）異方性、エツチングを用いて上記凹所
をエツチングする。この場合には、上記（ｌ００）ウェ
ーハの（ｌ１１）面は該ウェーハの面４２と５４．７°
の角度をなす。長く伸びた凹所３５の巾は約０．５ｆｌ
（約２０ミル）であり、従って、上記凹所は、上記ウェ
ーへの厚さの約４分の３までの途中にある頂点までエツ
チングされて終る。上記の比較的中小の凹所は、エツチ
ングを継続しても大きさが更に増すということがなく、
不変である。従って、上記凹所に対しては格別の時間的
制限がない。このエツチングには約２時間かかり、多数
のウェーハを同時に処理することができる。

次に、ウェーハ３６の反対面４３をホトリソグラフィで
パターン付けし、例えばＺｒＢｚのような、加熱素子３
０の組として働く複数組の抵抗材料の沈着体を形成する
。或いはまた、上記抵抗材料は、化学蒸着（ｃＶＤ）に
よって沈着されるドーピングした多結晶シリコンであっ
てもよく、この場合には、ウェーハのこの面上の窒化シ
リコン層を、５０００人ないし１ミクロンの厚さを有す
るＳｉｎｇのような被覆または下地層で置き換えてもよ
い。

アドレッシング電極３３は、第４Ａ図、第５図及び第６
図に示すように、上記下地層または窒化シリコン上に、
上記加熱素子の縁を覆って沈着されたアルミニウムリー
ド線である。電極３３ば０．５ないし３．０ミクロンの
厚さに沈着されるが、好ましい厚さは１．５ミクロンで
ある。電極不動態化のために、燐をドーピングした厚さ
２ミクロンのＣＶ　Ｄ　５ｉＯｚ膜（図示せず）を、上
記加熱素子とアドレッシング電極との複数の組の全体を
覆って沈着し、次いで、ドータボード電極及び後で沈着
される共通帰線との接続を後で行なうために、端子端部
から工・ノチングで除去する。このエツチングは湿式ま
たは乾式のいずれのエツチング方法でもよい。或いはま
た、電極不動態化をプラズマ沈着される５ｉｓＮａで行
なってもよい。

多結晶シリコン加熱素子を用いる場合には、その多結晶
シリコンの一小部分を５ｉ０２に変換するために、アル
ミニウムリード線の沈着に先立って、該加熱素子を５０
ないし８０分間にわたって約１１００℃の比較的高温で
水蒸気または酸素中で酸化させる。このようにすると、
上記加熱素子は熱酸化され、実質的にピンホールのない
良好な完全性を有する約５００人ないし１ミクロンのＳ
ｉＯ□の上掛けＮ（図示せず）となる。上記の熱的に成
長した下地を、後で沈着させる電極の取着のために、多
結晶シリコン加熱素子の両端縁から除去する。多結晶シ
リコン加熱素子を用いる場合には、抵抗材料及び付随の
熱酸化物層を覆っている電極不動態化の部分を、電極端
子からのその除去と同時に除去する。

上記プリントヘッドの作動中に崩壊するインキ蒸気の泡
によって発生するキャビテーション力に対する加熱素子
の保護を増すために、所望ならば、該加熱素子を覆って
いる酸化済み多結晶シリコン上掛は層または不動態化層
の上にタンタル（Ｔａ　）層（図示せず）を約１ミクロ
ンの厚さに沈着してもよい。上記Ｔａ層は、上記加熱素
子のほかは、例えばＣＦ４１０□プラズマエツチングを
用いて除去する。

その次の工程において、ウェーハ面被覆即ち窒化シリコ
ン層４１及び電極加熱素子不動態化層の複数組の平行ス
トリップをホトリソグラフィでパターン付けして除去し
、上記加熱素子及び電極の列間のウェーハ面４３を露出
させる。面被覆４１及び不動態化層を、業界に周知の方
法で除去し、上記露出したウェーハ面４３とともに傾斜
縁４６を有する壁を得る。第３図及び第８図に示すよう
に、２つの同構造のプリントヘッド２８は、その保護層
が傾斜縁を有している場合の方がより緊密に嵌り合う。

上記の露出したシリコンを例えばＫＯＨ中で異方性エツ
チングすると７字形溝２９が形成される。上記の窒化物
及び／又は他の不動態化層内の道鵜、その後に形成され
るべきインキチャネルよりも長い長さを有し、且つ２５
ないし１００ミクロン（ｌないし４ミル）の巾を有す。

（Ｉ　Ｑ　Ｏ）シリコンウェーへの異方性エツチングは
、エツチング（ｌ１１）面に沿ってなされるように、常
に、正方形または矩形の道を介して行なわれねばならな
い。即ち、このエツチングで作られる各凹所はウェーハ
面と５４．７°の角度をなす壁を有し、そして、上記道
がウェーハの厚さに対して十分に小さいならば、７字形
の溝が形成され、該ウェーハに穴が貫通形成されること
はない。業界に周知のように、内側の角部のみが異方性
エツチングされる。即ち、外側または凸状の角部は、エ
ツチングを導くべき（ｌ１１）面を有しておらず、そし
てエツチング剤はかかる角部を極めて急速にエツチング
して溶除するからである。これが、上記チャネルがその
端部で開口することがないという理由であり、開口させ
るには、ダイシングまたはフライス削りのような別個の
工程が必要である。従って、１字形溝凹所２９を形成し
た後、個々のプリントヘッド片２８を線４４及び線４５
に沿ってダイシングし、第３図に示すような面向き合わ
せ組立てに適する完成プリントヘッド片を作る。第４図
における片２８の拡大平面図の４Ａ−４Ａ線に沿う断面
図を第４Ａ図に示す。

■字形溝２９をエツチングするのに用いられる道の巾は
極めて狭いから、エツチング処理は頂点３７における凹
所壁の交点で停止する。ウェーハ面４３からのこの頂点
の深さは、各Ｖ字形溝またはチャネル２９内に穴３４が
形成されるように、インキ溜め凹所３５のＶ字形溝の底
と若干交差するように設計されており、従って、各プリ
ントヘッド片のチャネルに対する共通のインキ溜めまた
はマニホルド３５が形成される。

説明を解り易くするために、アドレッシング電極付きの
４つの加熱素子及び３つのチャネルだけを有するプリン
トヘッド片２８を示す拡大斜視図を第５図及び第６図に
示す。第５図は、加熱素子３０及びアルミニウム電極３
３相互間にあってウェーハ面４３を露出させる道３８を
示すものである。第６図は、異方性エツチングを行なっ
てＶ字形凹所チャネル２９を作った後、及び第５図に破
線で示す線４４及び４５に沿ってダイシング切断を行な
った後のプリントヘッド片２８を示すものであり、上記
ダイシング切断は、最終的にノズルとして働く上記チャ
ネルの端部を開口させるため、及び溝２９のうちの一つ
の底において片２８を分割するためのものである。上に
加熱素子及び電極が形成されている窒化シリコン層４１
は、チャネル凹所２９のだめの道の位置を限定するエツ
チングマスクとして働く。このエツチングの深さは、前
述したように、上記道または窒化物層ストライプの巾に
よって制御される。プリントヘッド片面４７から所定距
離だけ間隔をおいている加熱素子は共通帰線４０に接続
されている。この共通帰線は、例えば、アルミニウムの
ような金属の無指向性スパッタリング（即ち、面４４ａ
上の全ての方向に向かうスパッタリング）により、プリ
ントヘッド面４４ａの全体に形成される。かかる共通帰
線の配設は、最終的にはノズル２７として働くチャネル
開口端部を閉塞または妨害することなしに行なうことが
必要である。共通帰線４０は、次いで、ワイヤ接続体５
８が所定位置に配設された後インキから該帰線を保護す
るために不動態化層（図示せず）で被覆される。上記ア
ドレッシング電極の遠い方の端部に形成されるワイヤ接
続体まタハヒームリードの端部は可撓盤ストリップ線で
または付属の縁コネクタで終り、これらのうちのいずれ
かは、次いで、上記ドータボード電極にワイヤ接続され
る。

或いはまた、共通インキ溜め３５を同じ面からの７字形
溝チャネル２９と直角に配置するならば片面研摩した（
ｌ００）ウェーハを用いることができる。即ち、先ず共
通インキ溜めをエツチングし、次いでこれを、加熱素子
形成前に多結晶シリコンガラス（ＰＳＧ）で充填する。

本体製作が柊ったら、上記ＰＳＧをエツチング除去して
上記インキ溜めを各チャネルに連結することができる。

上記ＰＳＧの上に作られたアドレッシング電極３３は上
記インキ溜めを横切って橋掛かりする。

第７図の正顯図に示すように、任意の所望の長さのプリ
ントヘッドを、プリントヘッド片２８か、　　ら、ノズ
ル２７相互間の中心間間隔の損失なしに組立てることが
できる。これを行なうには、常態で一つのプリントヘッ
ドを形成している最初の２つの片２８を所定個数のチャ
ネル溝２９だけすら、　　して置く。この並置領域に付
は加えられる後続の片は自己整合して突き合わさる。即
ち、図示のプリントヘッド片２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、
２８ｄ、２８ｅ、等を組合わせる如くである。第３図、
第５図及び第６図においては、簡単さ及び理解の容、　
　易さのために、プリントヘッドを、４つの加熱素子及
び３つの溝を有するものとして示しであるが、商用品は
一般に少なくとも４８個のチャネルまたはノズルを有し
ている。また、プリントヘッド電極を、ディジタル化デ
ータ信号を表わす電流パルス源に接続する手段、例えば
第３図及び第８図に示す可撓盤上に中間電極を用いると
いうような手段も、明瞭化のために省略しである。第７
図の構成を用いることにより、頁中のプリントヘッドが
提供される。このプリントヘッドは静止保持され、一方
、記録媒体が、印書作業中に、ノズル線形アレイと垂直
方向に一定速度で上記プリントヘッドを通り過ぎる。頁
中印書の一つの主な利点は、いうまでもなく、印書速度
が大巾に増すということである。即ち、記録媒体は、キ
ャリッジ弐プリンタでは必要である静止保持の必要がな
いからである。また、第７図に示す如き頁中プリンタを
積み重ね、各々が、別々のインキ溜め（図示せず）から
の異なる色のインキを使用するようにすることができる
。

他の実施例を第８図、第９図及び第１０図に示す。これ
らの図においては、第３図、第５図及び第６図の実施例
と同構造の部品には同じ参照番号を付し、類似の部品に
は同じ参照番号に添字ｒａＪを添えた番号で示しである
。上記他の実施例においては、一体的インキ供給トンネ
ルは、７字形溝の異方性エツチング中に、加熱素子３０
及びアドレッシング電極３３を保持する絶縁窒化物層ス
トライプを、その各々が巾小部６１を持つように限定す
ることによって形成される。これにより、７字形溝２９
の各側壁に凹部６２が作られる。２っの同構造の部品２
８ａを重ね合わせてプリントヘッドｌｌａを形成すると
、凹部６２は整合してインキトンネルを形成し、該イン
キトンネルは、■字形溝チャネルの開口部を、上記プリ
ントヘッドの巾を横切って連続的に相互接続する。上記
の一律的インキトンネルは、最外部の７字形溝２９から
凹部６２を除外するか、または外部トンネルの開口部を
エポキシのような密閉剤（図示せず）で密閉することに
よって終端させられる。インキは、例えば、管（図示せ
ず）により、または、頂点が７字形溝２９のうちの一つ
内への入口３４ａにおいて開口するようにプリントヘッ
ド片２８内に異方性エツチングされた凹所３５ａにより
、これら外部トンネル開口部のうちの一つを介して上記
プリントヘッドへ供給される。これ以外の全ての点に関
しては、第８図ないし第１０図の実施例は第１図ないし
第７図の実施例と同じ仕方で製作及び作動させられる。

第１１図、第１２図及び第１３図は、２つの同構造のプ
リントヘッド片２８または２８ａを組立て、これらをド
ータボード１９上に取付け、そしてこれらをドータボー
ド電極２３にワイヤ接続するための一つの方法を示すも
のである。先ず、第２２図に示すように、１つのプリン
トヘッド片をドータボードに接着する。こ９）際、７字
形溝２９を該ドータボードの短脚部の縁３９と垂直にし
、及び該プリントヘッド片の面がドータボードの縁３９
と共面の共通帰線４０を持つという状態にする。アドレ
ッシング電極３３及び共通帰線４０をドータボード電極
２３の近い方の端部４８にワイヤ接続する。次に、第１
１図に示すように、一つのプリントヘッド片２８を、一
部に中間電極５５を有する例えばカプトン■（Ｋａｐｔ
ｏｎ■　）のようなＴ字形可撓盤５０の面５４に接着す
る。補強材５２を上記可撓盤の反対面５７に接着して可
撓盤５０の一部を上記補強材とプリントヘッド片との間
に挟着する。上記補強材は、上記プリントヘッド片に隣
る上記中間電極の端部付近で上記可ａ盤が撓むことを妨
げる。プリントヘッド電極３３及び共通帰線４０を中間
電極５５の隣接端部にワイヤ接続する。上記補強材はワ
イヤ接続体５８．５９の剥離を妨げる。即ち、上記可撓
盤ば、上記ワイヤ接続体付近では、曲がることまたはね
じれることができないからである。第１３図に示すよう
に、上記プリントヘッド、可ｔｉｔ及び補強材を含む組
立部品を、上記ドータボードに接着されているプリント
ヘッド片に組み合わせ、加熱素子及びアドレッシング電
極を有する一方のプリントヘッド片のランドを他方のプ
リントヘッド片の■字形溝内に噛み合わせる。このよう
にして組み合わせたプリントヘッド片を接着し合わせ、
そして上記可撓盤の片持ちばり大部分５６をドータボー
ドへ向かって動かし、これにより、適当するトークボー
ド電極端子４９を上記可撓盤上の中間電極５５と電気的
に接触させ、この接触部においてこれらを接触し合わす
。全ての電極を不動態化し、ワイヤ接続体５９をエポキ
シのような電気絶縁材で包む。第３図について前述した
ように、可撓盤内の穴５１及び補強材内の穴５３を、長
く伸びたインキ溜め３５　（第３図）または補強材内の
穴即ち凹所３５ａ　（第８図）と整合させる。前述した
ように、これら穴５１．５３をインキ供給カートリッジ
１２内のアパーチャと密閉的に連結させる。

本発明についての以上の説明から解るように、本発明の
範囲内で種々の変形及び変更を行なうことが可能である
。例えば、上述した本発明を連続流インキジェット式プ
リンタに用いることができる。即ち、この場合には、上
記加熱素子によって発生させられる泡を、上記ノズルか
ら連続的に流れ出るインキを撹乱するための手段として
用いて、上記ノズルからの一定距離において上記インキ
の流れをインキ溜に分裂させる。そこで、帯電用電極が
、記録媒体上の衝撃位置に従って上記インキ溜に電荷を
与えるか、または、上記インキ溜が再循環用の収集樋へ
導かれる。連続流インキジェットプリンタのために本発
明プリントヘッドを変形するのに必要な全ての変更は従
来の技術から十分に解る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を用いたカートリッジ型熱式インキジェ
ット印書装置の斜視図、第２図はドータボードの電極に
接続されたプリントヘッド電極を示す本発明のドータボ
ード及び固定されたプリントヘッドの平面図、第３図は
ドータボード上に取付けられてインキ滴放出ノズルを示
しているプリントヘッドの部分拡大斜視図、第４図は、
複数の加熱素子アレイ及び各加熱素子に対するアドレッ
シング電極を有するウェーハを、一つの加熱素子アレイ
を拡大して示す平面図、第４Ａ図は第４図の４Ａ−４Ａ
ｖＡに沿う拡大断面図、第５図は第４図の加熱素子アレ
イの部分拡大斜視図、第６図はプリントへ・ノドの同構
造の半割部の一方を形成するために７字形溝の異方性エ
ツチングを行なった後の第５図の加熱素子アレイの部分
拡大斜視図、第７図は単一の頁中プリントヘッドを形成
するために突き合わされた複数のプリントヘッドを示す
拡大正面図、第８図は第３図におけるプリントヘッドの
他の実施例の拡大斜視図、第９図は切欠き部付きの絶縁
層パターンを示す一つのプリントヘッド片の加熱素子ア
レイの他の実施例の部分拡大斜視図、第１０図は他の構
成のプリントヘッドの同構造の半割部の一方を形成する
ために各側壁に切欠き部があるＶ字形溝の異方性工・７
チングを行なった後の第９図の加熱素子アレイの部分拡
大斜視図、第１１図はドータボードの電極との電極相互
接続のために一つのプリントヘッド片に対して中間可撓
盤を用いた状態を示す他の実施例の拡大斜視図、第１２
図はドータボード電極に対する一つのプリントヘッド片
の電極のワイヤ接続の他の・実施例を示す拡大斜視図、
第１３図は第１１図及び第１２図に示す構成を用いてプ
リントヘッド電極をドータボード電極と相互接続する他
の手段の側面図である。 １２・・・インキ供給カートリッジ、 １９・　・　・　ドータボード、 ２３．３３・・・アドレッシング電極、２７・・・イン
キ滴放出ノズル、 ２８、　２８　ａ、　　２８　ｂ、　　２８　ｃ、　　
２８　ｄ。 ２８ｅ・　・　・プリントヘッド片、 ２９・・・Ｖ字形溝、　３０・・・加熱素子、３５・・
・インキ溜め、 ３６・・・　（ｌ００）シリコンウェーハ、４０・・・
共通帰線、 ５０・・・可撓丁字形盤、 ５２・・・補給材、　　６２・・・凹部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、プリントヘッドが、複数の平行チャネルを有する形
   式のものであり、各上記チャネルはインクを供給され、
   且つインキ滴放出ノズルとして働く一方の開口端部を有
   しており、加熱素子が各上記チャネル内に上記ノズルか
   ら所定の距離に配置されており、プリンタに受信される
   ディジタル化データ信号に応答して上記加熱素子に与え
   られる電流パルスの選択的適用によってインキ滴が上記
   ノズルから放出され、上記加熱素子はこれと接触するイ
   ンキに熱エネルギーを伝達して、上記インキ滴を放出す
   る一時的蒸気泡を形成及び崩壊させるようになっている
   即時応答滴下式インキジェットプリンタのためのインキ
   ジェットプリントヘッドにおいて、 少なくとも２つの実質的に同構造の部分品を備え、上記
   部分品は、互いに平行な反対の縁面と互いに垂直である
   第１及び第２の平坦面を有し、各上記部分品の第１の面
   は等間隔加熱素子の線形アレイを含んでおり、各上記加
   熱素子は互いに反対の側を有し且つ上記部分品縁面の一
   方から一定距離に配置されており、更に、上記加熱素子
   の一方の側を共通帰線に接続し且つ他方の側を電極端子
   に接続するアドレッシング電極を有し、上記アドレッシ
   ング電極は互いに平行で且つ上記部分品縁面と垂直であ
   り、更に、各上記加熱素子とその付属のアドレッシング
   電極との間にあって互いに及び上記アドレッシング電極
   と平行であるＶ字形の横断面積を有する溝を有し、上記
   溝は上記部分品の第１の面をほぼ横切って延び、及び上
   記縁面を貫通しており、上記２つの部分品は固定的に組
   み合わされてその第１の面を係合的に噛み合わせ、もっ
   てそれらのそれぞれの加熱素子及び付属のアドレッシン
   グ電極を他方の部分品の溝内に存在させ、上記係合した
   部分品の溝は上記加熱素子の回りにチャネルを形成し、
   上記加熱素子に近い上記チャネルの開口端部はノズルと
   して働き、上記チャネルの反対の開口端部は閉塞されて
   おり、上記各チャネルはそれらの閉塞端部の近くで互い
   に連通するための手段を有しており、更に、上記チャネ
   ルにインキを供給するための手段と、 上記アドレッシング電極に電流パルスを選択的に付与す
   るため及び上記共通帰線を接地するための手段とを備え
   て成るインキジェットプリントヘッド。 ２、ノズルを含んでいる組み合った部分品の縁面が共通
   帰線としての使用のために導電材料で被覆されており、
   上記共通帰線はこれをインキから保護するために不動態
   化層で被覆されている特許請求の範囲第１項記載のイン
   キジェットプリントヘッド。 ３、電流パルス付与及び接地手段が、 上に電極を有するドータボード、各プリントヘッドアド
   レッシング電極に対する１つの電極、及び共通帰線に対
   する少なくとも１つの電極を具備しており、プリントヘ
   ッドは上記ドータボード上に固定的の取付けられて一方
   のプリントヘッド部分品がその第２の平坦面を上記ドー
   タボードと接触させ且つプリントヘッドノズルがその一
   方の縁に配設されており、上記プリントヘッドアドレッ
   シング電極及び上記共通帰線は上記ドータボード電極に
   ワイヤ接続されている特許請求の範囲第２項記載のイン
   キジェットプリントヘッド。 ４、インキ供給手段が、 各々のプリントヘッド部分品の第２の平坦面内のＶ字溝
   形凹所を具備し、上記第２の平坦面の凹所は上記プリン
   トヘッド部分品の第１の平坦面内の平行Ｖ字溝と垂直で
   あって且つ上記第１の平坦面と交差するのに十分な深さ
   を有し、もってドータボードと接触する上記プリントヘ
   ッド部分品の第２の平坦面内の凹所が該ドータボードに
   よって密封閉塞されており、更に、一方の上記プリント
   ヘッド部分品の一つのチャネルをその閉塞端部を通じて
   他方の上記プリントヘッド部分品の一つのチャネルとそ
   の閉塞端部を通じて相互接続させるための管手段を具備
   し、もって全ての上記チャネルが互いに連通しており、
   更に、 アパーチャを有するインキ供給カートリッジを具備し、
   上記ドータボードと固定的には接触していない上記プリ
   ントヘッド部分品の第２の平坦面が上記カートリッジに
   取着され、上記第２の平坦面内の凹所が上記カートリッ
   ジのアパーチャと整合して密閉され、もって上記第２の
   平坦面の凹所が上記チャネルに対するインキ溜めとして
   働くようになっている特許請求の範囲第３項記載のイン
   キジェットプリントヘッド。 ５、更に、 一方の面上に１組の電極を有する中間可撓盤を備え、上
   記可撓盤はこれを貫通する穴を有し、且つ上記可撓盤の
   面の一部はドータボードに固定されてないプリントヘッ
   ド部分品の第２の平坦面に接着され、上記可撓盤の穴は
   上記プリントヘッド部分品の隣接の第２の平坦面の凹所
   と整合して密閉されており、隣接のプリントヘッド部分
   品のアドレッシング電極及び共通帰線は上記可撓盤の電
   極にワイヤ接続されており、更に、 貫通穴を有する平坦な補強材を備え、上記補強材はその
   一方の面を上記可撓盤に接着させてその穴を上記可撓盤
   の穴と整合させて密閉させており、上記補強材は、これ
   と隣接するプリントヘッド部分品との間に上記可撓板の
   一部を挟着することにより、上記可撓盤が上記ワイヤ接
   続体の付近で撓むことを防止し、もって上記可撓盤の残
   部はそこから片持ちばり式に突出して該可撓盤の電極を
   ドータボード電極に対向させ、上記補強材はインキ供給
   カートリッジに取着されて該補強材の穴を上記カートリ
   ッジのアパーチャと整合させ且つこらからインキが漏れ
   ないように密閉させており、 上記可撓盤の片持ちばり式突出部は上記ドータボードへ
   向かって動かされてこれに貼着され、もつて適切な上記
   ドータボード電極が上記可撓盤の電極と電気的に接触し
   ており、更に、 上記ワイヤ接続部を不動態化及び保護するための手段を
   備えている特許請求の範囲第４項記載のインキジェット
   プリントヘッド。 ６、インキ供給手段が、 インキが一つのチャネルから他のチャネルへ流れること
   ができるように、上記チャネルを形成するのに使用され
   る各Ｖ字溝の壁内に切欠き部を具備し、２つの組み合わ
   さったプリントヘッド部分品のいずれかの端部にある上
   記切欠き部は、これからのインキの漏れを防止するため
   に閉塞されており、更に、 各上記プリントヘッド部分品の第２の平坦面内に、上記
   プリントヘッド部分品の第１の平坦面内の平行Ｖ字溝の
   一方に侵入するのに十分な深さを有する凹所と、 アパーチャを有するインキ供給カートリッジとを具備し
   ており、上記カートリッジは上記プリントヘッドに取着
   されてそのアパーチャを隣接の上記プリントヘッド部分
   品の第２の平坦面内の凹所と整合させ、且つこれからイ
   ンキが漏れないように密閉させている特許請求の範囲第
   ３項記載のインキジェットプリントヘッド。 ７、更に、 一方の面上に１組の電極を有する中間可撓盤を備え、上
   記可撓盤はこれを貫通する穴を有し且つ該可撓盤の面の
   一部はドータボードに固定されてないプリントヘッド部
   分品の第２の平坦面に接着されており、上記可撓盤の穴
   は隣接の上記プリントヘッド部分品の第２の平坦面の凹
   所と整合して密閉されており、上記隣接のプリントヘッ
   ド部分品のアドレッシング電極及び共通帰線は上記可撓
   盤の電極にワイヤ接続されており、更に、 貫通穴を有する平坦な補強材を備え、上記補強材はその
   一方の面を上記可撓盤に接着させてその穴を上記可撓盤
   の穴と整合させて密閉させており、上記補強材は、これ
   と上記隣接のプリントヘッド部分品との間に上記可撓盤
   の一部を挟着することにより、該可撓盤が上記ワイヤ接
   続体の付近で撓むことを防止し、もって上記可撓盤の残
   部をそこから片持ちばり式に突出して該可撓盤の電極を
   ドータボードの電極と対向させ、上記補強材はインキ供
   給カートリッジに取着されて上記補強材の穴を上記カー
   トリッジのアパーチャと整合させ、且つそこからインキ
   が漏れないように密閉させており、 上記可撓板の片持ちばり式突出部は上記ドータボードへ
   向かって動かされてこれに貼着され、もって適切なドー
   タボード電極が上記可撓盤の電極と電気的に接触してお
   り、更に、 上記ワイヤ接続部を不動態化及び保護するための手段を
   備えている特許請求の範囲第６項記載のインキジェット
   プリントヘッド。 ８、組立て合わされて固定線形アレイを形成する複数の
   実質的に同構造の部分品を備え、各上記部分品は第１及
   び第２の平坦面を有してその２つの互いに反対の平行縁
   は上記平坦面と垂直になっており、各上記部分品の第１
   の面は等間隔配置された加熱素子の線形アレイを含んで
   おり、各上記加熱素子は互いに反対の端部を有し、且つ
   上記部分品縁面の一方から一定距離に配置されており、
   アドレッシング電極が上記加熱素子の一端部を共通帰線
   に及び他端部を電極端子に接続しており、上記アドレッ
   シング電極は互いに平行で且つ上記部分品縁面と垂直で
   あり、各上記部分品は各上記加熱素子とその付属のアド
   レッシング電極との間にＶ字形横断面積がある溝を有し
   、上記溝は互いに及び上記アドレッシング電極と平行で
   あり、上記溝は上記部分品の第１の面を横切って延びて
   上記縁面に侵入しており、上記部分品の線形アレイは線
   形列の所定個数の上記部分品を突き合わせることによっ
   て作られ、もって全ての上記溝は互いに平行であり且つ
   各上記部分品の加熱素子は一方の上記部分品縁面と合致
   する平面から等距離にあり、及び、等個数の上記部分品
   を上記線形列の部分品と固定的に組み合わせて各上記部
   分品の第１の面を互いに向き合わせ、もってそれらのそ
   れぞれの加熱素子及び付属のアドレッシング電極が上記
   向き合わせ係合した部分品の溝内に存在するようにする
   ことにより、任意の２つの係合した上記部分品は所定個
   数の溝だけ互いにずれ、もって全ての突き合わさった上
   記部分品は互いに及びその向き合わせ係合した上記部分
   品と自己整合し、各上記溝は一つの上記加熱素子の回り
   にチャネルを形成し、上記加熱素子に近い方の上記チャ
   ネルの開口端部はインキ放出ノズルとして働き、上記チ
   ャネルの反対の開口端部は閉塞されており、更に、 上記チャネルにインキを供給するための手段と、 上記各チャネル間をその閉塞端部の近くで連通させるた
   めの手段と、 ディジタル化データ信号に応答して上記アドレッシング
   電極に電流パルスを選択的に付与するための、及び上記
   帰線を接地するための手段とを備えて成り、もって上記
   加熱素子がこれに接触する上記インキに熱エネルギーを
   伝達して一時的蒸気泡を形成及び崩壊させ、これにより
   インキ滴が上記ノズルから放出されることを特徴とする
   頁巾即時応答滴下熱式インキジェットプリンタ。 ９、（ａ）各々が第１及び第２の平行な面を有し、基体
   面が｛１００｝平面であるシリコン基体を清浄化する段
   階と、 （ｂ）上記基体の面上に絶縁材料の層を沈着させる段階
   と、 （ｃ）上記基板の第１の面上に加熱素子としての使用の
   ための所定の場所に複数組の等間隔をおいた抵抗材料の
   線形アレイを形成し、及び電流パルスでの各上記加熱素
   子の個別的アドレッシングを可能ならしめるために同じ
   基体面上に電極のパターンを形成する段階と、 （ｄ）上記加熱素子及びアドレッシング電極をおおって
   不動態化層を沈着させ、及びその後の電流パルス源への
   接続のために上記電極の端部から上記不動態化層を取り
   除く段階と、 （ｅ）各上記アレイの各抵抗材料とその付属のアドレッ
   シング電極との間の上記不動態化層及び絶縁層内に長く
   伸びた道を作って上記基体の第１の面を露出させるため
   に上記不動態化層をホトリソグラフィ的にパターン付け
   し、及び上記基体の第１の面内に複数の等間隔をおいた
   平行な長く伸びた溝の異方的エッチングを行なう段階と
   を有し、上記各溝は｛１１１｝面の側壁によって境界づ
   けされ、従ってその長さに沿ってＶ字形横断面積を有し
   、更に、（ｆ）上記抵抗材料の各組に対して上記溝相互
   間に連通路を提供する段階と、 （ｇ）上記基体を上記溝の各組の両端付近の場所で且つ
   これと垂直方向にダイシングして、各溝がそれぞれの抵
   抗材料とその電極との間にある開口溝の組を形成し、次
   いで上記基体を互いに垂直方向にダイシングして個別の
   プリントヘッド部分品を作る段階と、 （ｈ）少なくとも２つの同構造の上記部分品を、上記部
   分品が自己整合し及び開口端部のあるチャネルが形成さ
   れるように、その第１の面を互いに向き合わさせ、一方
   の上記部分品の抵抗材料及び電極を他方の上記部分品の
   溝内に存在させた状態で組み合わせる段階と、 （ｉ）上記少なくとも２つの部分品を永久的に接着して
   プリントヘッドを形成する段階と、 （ｊ）上記チャネル内にその開口端部近くに上記抵抗材
   料を位置させているチャネル開口端部を有する上記プリ
   ントヘッドの縁を共通の電気的帰線としての使用のため
   に被覆する段階とを有し、これらチャネル開口端部はノ
   ズルとして働くものであり、更に、 （ｋ）上記ノズルとして働くものの反対の上記チャネル
   の開口端部を閉塞する段階と、 （ｌ）上記チャネルを所定の圧力を有するインキで充填
   する段階と、 （ｍ）上記抵抗材料にディジタル化データ信号を表わす
   電流パルスを選択的に与え、これに応答してインキ滴を
   放出させるための手段を設ける段階とを有するインキジ
   ェットプリンタに使用するための複数のプリントヘッド
   を製作するための方法。