JPS625546A

JPS625546A - 回転陽極型ｘ線管装置

Info

Publication number: JPS625546A
Application number: JP14377385A
Authority: JP
Inventors: Katsuhiro Ono; 勝弘小野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1985-06-29
Filing date: 1985-06-29
Publication date: 1987-01-12
Also published as: JPH0515028B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕この発明は回転陽極型Ｘ線管装置に係り、陽極ターゲッ
トを磁気軸受で非接触で支承しながら高速度で回転させ
、更にこの陽極ターグツトに正の高電圧を供給し、陰極
に負の高電圧を供給し、真空容器及び磁気軸受用ロータ
ーを実質的に接地電位に保ち、磁気軸受のステーターと
ローターの間隔ｔ−４■以下に保ち、且つコンパクトな
構造とした回転陽極型Ｘ線管装置に関する。

〔発明の技術的背景〕

一般にＸ線管は、例えばＸ線診断として医療用に利用さ
れているが、胃の検診などの場合には、従来第３図に示
すようなＸ線管が用いられている。このＸ線管は、いわ
ゆる回転陽極型といわれるもので、外囲器１の一方に陰
極２が配設され、熱電子を放出する陰極フィラメント及
び集束電極を内蔵した陰極３が偏心して設けられている
。又、外囲器１の中央付近には、陰極構体２に対向して
略傘状の陽極ターゲット４が配設されている。この陽極
ターダット４は、上記陰極構体２との間に高電位差を設
け、陰極フィラメントから放出された電子を加速して衝
突させ、制動輻射によってＸ線を発生させるとともに、
その際に発生する多量の熱を貯蔵および放熱するための
ものであシ、熱発生面積を実効的に広げるために高速度
で回転できるようになっている。このような陽極ターゲ
ット４は支持柱５を介して有蓋円筒状ローター６に連結
されている。このローター６は、外囲器１外に配設され
たステータ７が発生する回転磁界を受けて回転力を生じ
るもので、ステータ７と共に誘導電動機を形成している
。尚、支持柱５とローター６は一体になっている。ロー
ター６の内側には、軸心に沿って回転軸８が配設され、
この回転軸８の一端はねじ等（図示せず）によりロータ
ー６に固着されている。この回転軸８と前記ローター６
との間には有底筒状の固定子９が同軸的に配設され、一
端が封着リング１０，１１を介して上記外囲器１に固定
されている。尚、この固定子９は一部が管外に露出して
おり、Ｘ線管全体を外部に支持固定する役目も果してい
る。そして固定子９と上記回転軸８との間には、ベアリ
ング１２．１３が介在配設され、回転軸８が自由に回転
するようになっている。さて、動作時には陰極フィラメ
ントから放出された電子がターゲット４に到達した時の
ノタワーは、陽極電圧５０　ｋＶ電流２０　ｍＡの場合
、１　ｋＷに達する。

このパワーの９９チ以よが熱に変換されるので、ターゲ
ット４は外部への熱輻射と他の部分への熱伝導を伴いな
がら高温度に加熱される。熱輻射は温度の４乗に比例し
て増加するので、高温になると放熱が大きく増加し、短
時間で熱平衡に達する。例えば前記の条件では５分後に
１１００℃で平衡する。一方、熱伝導による熱の伝達は
、伝導媒体の他端が熱的にフリーの場合には、長時間か
かって徐々に端部が高温となる。セしてターゲット４の
熱はローター６、回転軸８に伝えられ、これらを高温に
する。ローター６が高温になれば、前述したように熱輻
射が増加して熱的に平衡に達する。上記した条件では、
支持柱５上の０点は通電開始後約１５分で８００℃、ロ
ーター６の０点では通電開始後３０分で５５０℃、ベア
リング１３の近傍の０点では通電開始。

後約５０分で４００℃で熱平衡に達する。ベアリング１
３の熱伝導が悪化すれば、０点の温度は０点と大略同一
となシ、５５０℃にも達することになる。ベアリング１
２．１３中のゴールの回転状況によっては熱膨張により
外輪、内輪とのクリアランスが不良となり、ベアリング
破損等の不都合が発生することとなる。又、ベアリング
１２．１３が５００℃以上にもなれば、ゴールの硬度低
下をき念じ、回転停止等の管球破損が発生することにな
る。又、真空中でベアリング１２．１３を介してロータ
ー６及びターゲット４を回転する場合、回転速度を大き
くすると、極端に回転寿命が低下することが判っている
。現実に使用されているＸｌｓ管はｉｏ、ｏｏ。

ｒｐｍ程度であるが、この場合でも回転寿命は十分では
ない。

更に、ターゲット４の熱容、ｔが増え九場合に、ターゲ
ット重量が大きくなり、中はＩ）回転寿命が短かくなる
欠点があった。これを解決するために、米国特許明細書
４，４１７，１７１号、特公昭５８−４３８６０号、特
開昭５９−６３６４６号に記載されている磁気浮上形Ｘ
線管が提案されているが、これらは次のような欠点を有
している。

即ち、米国特許明細書４，４１７，１７１号では、ロー
ターの外径が極めて大きくなり、Ｘ線管全体が大きくな
るだけでなく、中央部の支柱を高電圧にしなければなら
ないので、その保持が困難である。特公昭５８−４３８
６０号では、ローターとターゲットの剛性が小さく、共
振周波数が低くなり、高速回転ができない欠点がある。

特開昭５９−６３６４６号では、陽極を接地電位に保た
なければならず、特別の高電圧電源及び高電圧ケーブル
が必要となり不便である。

〔背景技術の問題点〕

ところでよ記のような従来のＸ線管には、次のような欠
点がある。即ち、ベアリング１２゜１３の内輪は高温度
になり易いが、外輪は低温となっておジ、この点の温度
は６０℃から５５０℃の間で、ベアリング１２．１３中
のゴールの回転状況によって変化する。上述のようにベ
アリング１２．１３の２−ルの温度が高ぐなると、ゴー
ルと内輪及び外輪とのクリアランスが不足するだけでな
く、これらの間に存在する潤滑材が蒸発してしまい、ベ
アリング１２．１３が破損する場合がある。これらの理
由により回転停止事故が多発し易い欠点がある。この防
止のためにターゲット４の黒化度の増大、ローター６の
表面の黒化度の増大、ターゲット４とローター６の間に
熱遮蔽板の設置等が考えられているが、これらの効果は
比較的少なく、ターゲット４への入カッ々ワーを過少に
しているのが実状である。

又、この構造では高速回転をすると、回転寿命が極めて
短かくなる。そして、ターゲット４の熱容量を増すと、
ターゲット４の重量が増すため、益々回転寿命が短かく
なる。これらの問題を除去するために、磁気軸受を用い
た回転陽極型Ｘ線管が既述のように米国特許明細書４．
４１７，１７１号、特公昭５８−４３８６０号、特開昭
５９−６３６４６号に提案されている。しかしながら、
これらはそれぞれ前述したように欠点を有している。

〔発明の目的〕

この発明の目的は、大容量のＸ線発生用タープ、トを磁
気軸受を用いて非接触で回転自在に支承し、この磁気軸
受の剛性を十分大きく保ち、しかも回転部の剛性を大き
くして共振周波数を高くし、低掻動の超高速回転を可能
とし、回転寿命を極めて長クシ、且つターゲットを正の
高電圧に、陰極を負の高電圧に、真空容器及び磁気軸受
のローター及びステータを実質的に接地電位に保つこと
により、磁気ギヤ、グを小さくして剛性を高くすると共
に、ローターの変位を検出する位置センサーにノイズが
入らないようにして、信頼性を著しく向上した回転陽極
型Ｘ線管装置を提供することである。

〔発明の概要〕

この発明は、磁気軸受用ローターの内部に絶縁物を挿入
固着し、この絶縁物を介してこの絶縁物の軸方向で分離
した位置にＸ線発生用ターダットを機械的に固着して、
このターゲットと上記磁気軸受用ローターとを分離した
上記絶縁物の部分で電気的に絶縁し、上記磁気軸受用ロ
ーターを実質的に接地電位に保ち、少なくとも１個のロ
ーターの内部に貫通して設けられた導電路を通って管外
から上記ターゲットに正の高電圧を供給するように構成
されている。そして、陰極には負の高電圧を加えること
ができ、従来の回転陽極型Ｘ線管と同じ中性点接地形の
高電圧電源で使用することができ、従来のＸ線管と同じ
程度の重量及び外形寸法を有し、しかも大容量のタープ
、トを超高速度で回転させることができ、極めて長寿命
で低振動、低騒音の回転陽極型Ｘ線管装置である。

〔発明の実施例〕

この発明の回転陽極型Ｘ線管装置は第１図に示すように
構成され、従来例（第３図）と同一箇所は同一符号を付
すことにする。

即ち、真空容器であるハウジング１の中央部は金属製で
あり、接地電位に保たれている。そして、このハウジン
グ１は、Ｘ線発生用のターゲット４からの熱を吸収する
吸熱容器部１０１と、磁気軸堂内真空隔壁１ｏｚ、ｘｏ
’ｓと、位置センサー内真空隔壁１０４，１０５と、補
助ベアリング支持板１０６，１０７と、端部容器１０８
　、１０９から成り立っている。このようなハウジング
１は上記部分によって既述のように真空容器を形成し、
その内部は高真空に保たれている。

上記磁気軸堂内真空隔壁１０２，１０３の外側には、ラ
ジアル方向に吸引力を発生するラジアル磁気軸受用ステ
ーターｚｘｏ、ｘｘｘが設けられている。このラジアル
磁気軸受用ステーター１１０，１１１のそれぞれ横には
、スラスト方向に吸引力を発生するスラスト磁気軸受用
ステーター１１２，１１３が設けられている。

これら各ステーターの内側には、磁気軸受用ローター１
１４，１１５が配設されている。このＷｉ気軸軸受用ロ
ーター１１４１１５は純鉄等の磁性材料からなり、その
外周には磁性材料からなる積層板１１６，１１７が被覆
され、この積層板１１６．１１７と上記ラジアル磁気軸
受用ステーター１１０，１１１との間で吸入力を発生し
てラジアル磁気軸受を構成している。

又、上記磁気軸受用ローター１１４，１１５の端部には
、タンタルのような薄い耐熱金属又は表面がメタライズ
されたＳｉ３Ｎ４のようなセラミックででき九耐熱円筒
１１８，１１９を介して例えばバリウムインブレカソー
ドのような低温動作の陰極１２０，１２１が取付けられ
ており、加熱用ヒーター１２２，１２３との間で通電用
ダイオード１２４，１２５を形成している。

更にその近傍に固定陰極１２６．１２７が設けられてお
り、上記の回転する耐熱円筒１１８゜１１９の一部との
間に上記通電用ダイオード１２４．１２５と逆特性の通
電用ダイオード１２８．１２９を形成している。

これらのダイオードによりＷｉ気軸軸受用ローター１１
４１１５は両方共実質的に接地電位に保たれ、上記磁気
軸党内真空隔壁ｌθ２，１０３と実質的に同電位になっ
ている。このため、それらの間隔を０．５ｍ以内の小ギ
ヤ、グに保つことができ、上記ラジアル破気軸受用ステ
ーター１１０．１１１と磁気軸受用ローター１１４゜１
１５との間隔を１諺以内に小さくすることができる。こ
の結果、軸受剛性ｆｃｉめて大きくすることができる。

更に上記磁気軸受用ローター１１４，１１５の外周には
、上記積層板１１６，１１７に続いて非母性金属からな
る金属リング１３０，１３１が固着され、一方のロータ
ー１１５の外周には上記金属リング１３１に続いて銅リ
ング１３２、非磁性リング１３３が固着されている。上
記鋼ソング１３２の外側にはローター回転用ステーター
１３４が設けられており、これらは誘導モーターを形成
してローターを高速度で回転させる。ロータ一端部の外
側には、それぞれリング１０４．１０５を介してラジア
ルセンサー１３５゜１３６が設けられ、磁気軸受用ロー
ター１１４゜１１５の偏位を検出する。

又、上記磁気軸受用ローター１１４の内側に゛は、貫通
した電気絶縁物１３７が焼きばめ等によって機械的に剛
に固着されている。この電気絶縁物１３７のうちロータ
ー１１４のターダット側の端面１３７−＊には、モリブ
デン等からなる金属板１３８が接合されている。この接
合は、ろう付は等によって実現可能である。そして、こ
の金属板１３ｇＶＣは、Ｘ線発生用の陽極ターゲット４
の筒状支持体の端部フランジ４１がゲルト１３９により
セラミ、り等でできた断熱体リング１３Ｂ−＊ｔ−介し
て機械的に密に固定されている。

上記磁気軸受用ローター１１４の端部と上記金属板１３
Ｂの中間部では、電気絶縁物１３７の直径が他の部分よ
りも大きな絶縁円筒部１３７−ｂが形成され、ターゲッ
ト４と磁気軸受用ローラー１１４の高耐電圧（例えば８
０　ｋＶ以上）を保っている。この場合、電気絶縁物１
３７の絶縁円筒部１３７−ｂは、表面を折曲げ構造にす
ることにより沿面距離を長くシ【いる。

上記電気絶縁物１３７の中央孔の内周面には薄肉導電ス
リー１１４０が設けられ、ｉ！気気絶初物１３７ターグ
ツト４側の端面にメタライズ処理等によって取付けられ
た導電膜１４１及び部材１３８　、１３９を介してター
ゲット４に電気的に結合されている。上記導電スリーブ
１４０の他の端部には耐熱円筒１４２が設けられており
、その一部に熱電子放出陰極１４３が取付けられ、その
外部に取付けられたヒーター１４４によりＮ極１４３は
１０００℃程度の高温度に加熱される。上記ヒーター１
４４には、動作時に管外から高電圧（例えば７５ｋＶ）
が印加され、上記のように加熱された陰極１４３からの
熱電子の流入により、電気的に低インピーダンスで結合
されている。この陰極１４３とヒーター１４４とで構成
されるダイオードのパービアンスは、上記陰極３とター
ゲット４からなるダイオードの／？−ビアンスよりも大
きくなっているため、この部分での１圧低下は少なくな
っている。従って、ターｒアト４に管外から非接触で高
電圧を供給することができる。

もう一方の母気軸受用ローター１１５の内側一部にも、
電気絶縁物１４５が焼きばめ等によフ挿入固着されてお
り、上記と同様にターｒ。

ト取付用金属板１３８とローター１１６は、径が大きい
絶縁円筒部１４５〜ａによって高耐電圧（例えば８０ｋ
Ｖ）に保たれている。そして、上記したようにローター
１１５は接地電位に保たれ、ターゲット４は正の高電圧
に保たれている。尚、絶縁円筒部１４５−＊は折曲げ構
造部分を設けて沿面距離を長くしている。

又、陰極３にはブッシング１４８を介して管外から図示
しない導電体を通して負の高電圧（例えば−７３ｋＶ）
が供給されるようになっており、熱電子が正の高電圧（
例えば＋７５ｋＶ）に保たれたターゲット４に衝突して
Ｘ線ビーム１４６を発生する。このＸ線ビーム１４６は
、吸熱容器部１０１に取付けられた例えばベリリウムか
らなるＸ線放射窓１４７全通って管外に照射される。又
、ターゲット４から放出された２次電子（図示せず）は
、管内に設けられた遮蔽板１４８　、１４９により遮蔽
され、電気絶縁物１３７，１４５の絶縁円筒部１３７−
ｂ。

１４５−＊に飛来するのを防いでいる。又、上記ヒータ
ー１４４には、ブッシング１４５を介して管外から加熱
用電圧及び高電圧が供給される。

更に、ローター１１４，１１５の端部の外側には、それ
ぞれ補助ベアリング１５０，１５１が支持板１０６，１
０７によって強固に支持さと非接触であるが、動作前又
は異常動作の場合には、この補助ベアリング１５０，１
５１によって回転部が支承される。

又、ローター１１５の端部には、スラスト方向の偏位を
検出するための位置センサー１５２が取付けられ、その
出力によシスラス）ｆｆｌ気軸受軸受用ステーター１２
　、　Ｉ　Ｊ　Ｊｔｌ″制御してスラスト方向の位置制
御を行なう。

尚、電気絶縁物１３７，１４５の材質として、窒化シリ
コン（例えばＳｉ３Ｎ４）のようなセラミ、クスを用い
ると、機械的強度が太きくなシ、好適である。

次に第２図及び第３図を用いて上記磁気軸受ローター１
１４と電気絶縁物１３７との接合方法について説明する
。尚、電気絶縁物１３７としてセラミ、クス、好適には
窒化シリコン（例えばＳｔ、Ｎ４）を用いた場合につい
て述べる。

即ち、磁気軸受ローター１１４は、既述のように積層磁
性板１１６と、シリンダー１３０と、軸受用シリンダー
１１４−１と、機械的弾性体１１４−２とから構成され
、軸受用シリンダー１１４−１は機械的弾性体１１４−
２ｆ介して電気絶縁物１３７の外周に固定される。

機械的弾性体は例えば純鉄でできており、第３図に示す
ような形状をしている。即ち、円筒状に作られ、その端
部に複数個の、好適には８個のス’）ｙ　）　１ｘａ−
；ｔ−＊が設けられている。更に、その端部には内に凸
なる部分１１４−２−〇が設けられておシ、上記電気絶
縁物１３１の外径に接触している。機械的弾性体１１４
−２の中央部ノ外径は、ゆるいテーパー状になっており
、これと逆の方向にテーノＪ？−が付けである軸受用シ
リンダー１１４−１の内径と機械的に密に接合されてい
る。この間は、例えばろう付けによシ強固に固定される
。このような機械的弾性体１１４−２の両端部には、テ
ーノ臂一部１１４−２−ｂ。

１１４−２−ｃが形成されており、上記電気絶縁物１３
７の外周上にチーツク一部１３７−ｃ　、　１３７−ｄ
が形成され、これらのテーパー部が機械的に密に接触し
ている。

又、機械的弾性体１１４−２の中央部には、上記電気絶
縁物１３７との間に、両者の熱膨張差程度以上のギャッ
プを有している。又、機械的弾性体１１４−２のスリ、
）　１１４−２−瓢を有する部分の外側では、上記軸受
シリンダー１１４−１との間に、上記電気絶縁物１３７
との熱膨張差程度以上のギャップを有している。

又、上記チー／’Ｐ一部１３７−ｄ、１３７−ｃは、そ
の少なくとも一方は、軸受ローター１１４の内径と長さ
に応じて、半径方向及び軸方向の熱膨張差を吸収できる
角度に決定する。更に、スリｙ　ト１１４−２−＆の長
さ、数、肉厚は、この部分に機械的抜力が生じないよう
に決める。

さて組立時には、母気軸受ローター１１４を予め組立て
ておき、これを上記電気絶縁物１３７の外側（径小なる
方向）から高温下で圧力を加えて挿入する。この際、機
械的弾性体１１４−２の内側に他のチー／４一部１１４
−２−ＣＩが設けてあり、電気絶縁物１３７の突起部１
３７−・の外側にテーパー部１３７−ｆが形成されてい
るため、挿入時に過大な抵抗を生じない。

挿入が終了した状態では、上記機械的弾性体１１４−２
のスリｙ　）　１１４−２−＆を有する部分が弾性の限
界内の応力を受けて、電気絶縁物１３７のテーノ４−間
に機械的に強固に固定される。

さて動作時に、上記ターゲット４からの熱の流入により
電気絶縁物１３７、磁気軸受ロータ−１１４が高温にな
った場合、内側にある例えばセラミ、りからなる！ｌＥ
気絶級物１３７よりも。

外側にある例えば鉄からなる軸受ローター１１４の方が
熱膨張が大きいが、上記機械的弾性体１１４−２の両端
にそれぞれスリット１１４−２−＊があり、この部分が
いわゆるハリとして働くため、適度な応力をもって変位
し、この熱膨張差を吸収することができる。そして、テ
ーパー部で接合しているため、軸方向の熱膨張差も半径
方向の弾性限界内の伸びで吸収することができ、これら
の温度の如何によらず、０〜５００℃の間で十分な機械
的強度をもって接合することができる。又、十分強いバ
ネ定数を有しているので、この部分の共振周波数もｌ　
ｋＨｚ以上にすることができ、　３０．００Ｏｒｐｍの
回転に何ら悪影響がないことも実証された。又、回転バ
ランスも温度が変化したときにも、大きな変化を生じな
かった。

このような構造にすることにより、従来、熱膨張差がＯ
，１ｍにも相当し、応力が８０ｋｇ／■２にも達するた
め、外部の金属が降伏して接合が不可能と考えられてい
た５００℃以上の温度ででも、十分実用に耐えるロータ
ーを製作することができた。これにより、従来不可能と
されてきた大容量の磁気浮上形Ｘ線管装置を実現するこ
とができた。

尚、もう一方の軸受ローター１１５についても、同様に
作ることができる。

〔発明の変形例〕

上記実施例では、ローター１１４，１１５を実質的に接
地電位に保つために非接触の電流通路を採用しているが
、その片方又は両方を機械的に接触させる構造にしても
良Ａ、同様に、ターグツト４Ｖｃ管外から電圧を供給す
るための非接触導電部１４３，１４４を機械的な接触に
よる導電機構に変えても良いことは、勿論である。

又、ローター１１４（又は１１５）と絶縁物１３７（又
は１４５）とを全面で接合しているが、接合面を一部分
に限定しても良いことは勿論である。

又、ターグツト４と電気絶縁物１３７　、１４５の間に
、それぞれ金属板１３８を介して両者を結合しているが
、これらを直接接合しても良い。

又、上記実施例では、ターダ、ト４を両側で支承してい
るが、磁気軸受用ステータ１１ノを１１０側に移して、
いわゆる片側保持構造にしても良いことは、勿論である
。

又、軸受部に従来の機械的ベアリングを用いても良い。

又、上記軸受シリンダー１１４−１と機械的弾性体１１
４−２とは一体構造であっても良いことは、勿論である
。

又、上記電気絶縁物１３７と機械的弾性体１１４−２と
の接触部は、両端に限らず、中央部でも接触させても良
い。

又、上記機械的弾性体１１４−２は、多分割した構造で
あっても良い。

次に、上記軸受ロータ−１１４金上記ｍ気絶縁物１３７
に固定する方法の変形例について、第４図、第５図、第
６図を参照して説明する。

先ず第４図は、電気絶縁物１３７の外周が円筒状であり
、機械的弾性体１１４−２の内径の一部がチー７４−を
もたずに焼きばめ又は圧入された例である。電気絶縁物
１３７との接触部のどちらか一方を、ろう付は等にょシ
固着すると都合が良い。機械的弾性体１１４−２の中央
部内径は、電気絶縁物１３７の外径よりも熱膨張差程度
のギヤ、グを加えた寸法に設けである。

第５図は、上記機械的弾性体１１４−２の内面がシリン
ダー状であり、電気絶縁物１３７の一部に熱膨張差程度
の外径小なる部分を有し、機械的弾性体１１４−２が１
！！気絶縁物１３７との間で弾性を有して保持された例
である。

第６図は、上記機械的弾性体１１　（−２，１１４−２
が２個用いられた場合の例である。そして、一方の機械
的弾性体１１４−２は嵌め合い部１１４−２−１を有し
ており、電気絶縁物１３７の外周上に設けられた凹みの
中に嵌合され、軸方向にも移動しないようになっている
。

〔発明の効果〕

この発明によれば、次のような優れた効果が得られる。

即ち、回転体が遠心応力に対して強いので、３０．００
　Ｏｒｐｍ程度の超高速回転が可能であり、Ｘ線管の尖
頭入力値を従来管に比べて１．７倍に増加させることが
できる。又、回転体が完全非接触であるため、低振動、
低騒音のＸ線管を提供でき、更に機械的ゴールベアリン
グを使わないので、回転寿命が極めて長くなる。

又、ターグツト４ｔ−正の高電圧に、陰極１２０゜１２
１を負の高電圧に保っているので、いわゆる中性点接地
方式の高電圧電源が使用できる。

つまり従来のＸ線管用電源を使用できるため、この発明
の回転陽極型Ｘ線管装置は従来のＸ線発生装置に使用す
ることができる。

又、ローター１１４，１１５が実質的に接地電位である
ため、磁気軸受の磁気ギャップを小さくできると共に強
い剛性を得ることができ、極めて重い重ｆｉｔ（例えば
４ゆ）のターダ、ト４を超高速（例えば３０，０００　
ｒｐｍ　）で回転させることができるので、超大容量（
例えば６　ＭＨＵ　）のＸ線管を提供することができる
。更に、ローター１１４，１１５が実質的に接地電位で
あるために、位置センサー１５２に入るノイズを減少さ
せることができ、安定な動作が可能である。

又、ローター１１４，１１５の構造が簡単であり、この
結果、コンパクトで低価格のＸ線管を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る回転陽極型Ｘ線管を
示す断面図、第２図及び第３図は第１図の要部を拡大し
て示す断面図と斜視図、第４図乃至第６図はこの発明の
変形例を示す断面図、第７図は従来の回転陽極型Ｘ線管
を示す断面図である。１・・・ハウジング、１１０，１１１・・・ラジアル磁
気軸受用ステータ、１１２，１１３・・・スラスト磁気
軸受用ステータ、１１４，１１５・・・磁気軸受用ロー
タ、１２０，１２１・・・接地用ダイオードの陰極、１
３７，１４５・・・電気絶縁物、４・・・ターｒ、ト、
３・・・陰極。出願人代理人　　弁理士　鈴　江　武　彦第４図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）少なくとも１個の陰極と、該陰極に対向して設け
られた回転自在の対陰極ターゲットと、該対陰極ターゲ
ットを回転自在に支承する軸受部とを有し、上記対陰極
ターゲットを電気絶縁物の一端に固定し、該電気絶縁物
の外周上で上記対陰極ターゲットの固定部から回転軸方
向に分離したところに、上記軸受部の回転部分を取付け
たことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管装置。
（２）上記軸受部が磁気軸受であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
（３）上記電気絶縁物は、上記対陰極ターゲットを固定
する所と、上記軸受部の回転部分を取付ける所との軸方
向での中間位置での外径が上記取付け部の径又は回転部
分を取付ける所の径より大きいことを特徴とする特許請
求の範囲第１項及び第２項記載の回転陽極型Ｘ線管装置
。
（４）上記軸受部の回転部分を、機械的弾性体を介して
上記電気絶縁物の外周に取付けたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項乃至第３項記載の回転陽極型Ｘ線管装
置。
（５）上記電気絶縁物の外周に少なくとも１つのテーパ
ー部を設け、このテーパー部に上記機械的弾性体の一部
が接してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃
至第４項記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
（６）上記機械的弾性体は円筒状にして、その少なくと
も一端又は上記電気絶縁物に接する部分の近くにスリッ
トを有していることを特徴とする特許請求の範囲第４項
及び第５項記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
（７）上記機械的弾性体は少なくともその一部分を上記
電気絶縁物に接触させ、当該接触部分以外は上記電気絶
縁物との間にギャップを有することを特徴とする特許請
求の範囲第４項乃至第６項記載の回転陽極型Ｘ線管装置
。
（８）上記機械的弾性体の外周に軸受用シリンダーを固
着し、上記機械的弾性体の弾力を生じる部分ではこれら
の間にギャップを設けてなる特許請求の範囲第４項乃至
第７項記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
（９）上記機械的弾性体と上記軸受用シリンダーが一体
構造に形成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第８項記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
（１０）上記電気絶縁物の外周に少なくとも２つの逆方
向のテーパー部を設け、当該テーパー部の間に上記機械
的弾性体の両端部を挿入押圧して固定することを特徴と
する特許請求の範囲第１項乃至第９項記載の回転陽極型
Ｘ線管装置。
（１１）上記機械的弾性体を上記軸受用シリンダーに固
着した後、上記電気絶縁物の外周に焼きばめ固定したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第８項乃至第１０項記載
の回転陽極型Ｘ線管装置。
（１２）上記機械的弾性体と上記電気絶縁物との接触部
をろう付け等により接合したことを特徴とする特許請求
の範囲第４項乃至第１１項記載の回転陽極型Ｘ線管装置
。
（１３）上記対陰極ターゲットは、上記電気絶縁物の一
端にろう付け等により接合した金属を介して固定したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第１２項記載
の回転陽極型Ｘ線管装置。
（１４）上記電気絶縁物がＳｉ＿３Ｎ＿４であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第１３項記載の回
転陽極型Ｘ線管装置。
（１５）上記電気絶縁物の中央部に貫通した導電路を有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第１４
項記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
（１６）上記軸受用シリンダーを実質的に接地電位に保
つ手段を有する特許請求の範囲第８項乃至第１５項記載
の回転陽極型Ｘ線管装置。