JPS6256370A - 炭化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents

炭化ケイ素焼結体の製造方法

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Publication number
JPS6256370A
JPS6256370A JP60195747A JP19574785A JPS6256370A JP S6256370 A JPS6256370 A JP S6256370A JP 60195747 A JP60195747 A JP 60195747A JP 19574785 A JP19574785 A JP 19574785A JP S6256370 A JPS6256370 A JP S6256370A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon carbide
sintered body
carbide sintered
organic solvent
producing
Prior art date
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Pending
Application number
JP60195747A
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English (en)
Inventor
水谷 敏昭
寛 井上
米澤 武之
佳之 大沼
柘植 章彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は炭化ケイ素焼結体の製造方法に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
SiC焼結体は近年ホットプレス法を使用せず、無加圧
で焼結できるようになり、その優ぐれた熱的性質、化学
的性質、耐磨耗性等からエンジニアリングセラミックス
として脚光をあびている。この様なSiC焼結体は通常
サブミクロンのSiC粉にBやC又はそれらの化合物等
の等々からなる焼結助剤と成形用バインダー等のその他
派加物を混合し、造粒・成形・脱脂工程を経て、不活性
雰囲気中1900−2500℃で焼成することにより得
られる。焼結助剤としてのBやCは非晶質体が主に用い
られるが、C源としてはフェノール樹脂が焼結温度を低
下させ得るので有利である。本樹脂は不活性雰囲気中で
加熱すると約300℃で分解し、約60チの炭素を残留
させて揮散するため、成形体中へのより均一な炭素分散
が図り得るためと思われる。
しかしながらフェノール樹脂をSiC粉末と混伽造粒・
成形するときに、樹脂粉末を溶解した有機溶媒をSiC
粉末と混練し、乾燥するわけであるが、この乾燥が足り
ないと次段の造粒で篩透過が難しくなり作業性がおちる
。また有機溶媒を完全に揮散させるまで十分に乾燥を行
なうと樹脂が偏析し、固化してしまうため成形体内での
分散性が悪くなり、次段の造粒における篩を透過し得な
い魂すら生ずる。このため脱脂後の成形体では多くの気
孔が発生し易くなる。
〔発明の目的〕
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、乾燥後の
液分残量の管理を容易かつ正確にし、肴篭 潰1μ月1水畏l1D−管1−を4は場1−二弓は41
時、気孔等のない良好な炭化ケイ素焼結体を得ることの
できる炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供することを目
的とする。
〔発明の概要〕 本発明はSiC粉末、焼結助剤(少なくともフェノール
樹脂を用いる)吟の添加物を湿式混合する際に、分散媒
より高沸点の有機溶媒を加え、湿式混合後の乾燥時に、
分散媒のみを揮散させることにより、乾燥後におけるフ
ェノール樹脂の偏析等を防止しつつ、良好な篩透過性を
有するような乾燥状態を再現性良く正確に実現すること
ができるというものである。
本発明に用いる分散媒としては、アセトン、メタノール
、エタノール、イソプロピルアルコール。
トリクレン等が挙げられる。作業性等から100留する
ように、150℃以上程度の沸点を有するものが好まし
く、例えばエチレングリコール、アセトニルアセトン、
アニリン、アニソール、アセナフチレン、イソプロピル
ミクロヘキサンが挙げられる。これらの有機溶媒はフェ
ノール樹脂を溶解するものであることはいうまでもない
さて本発明における高融点有機溶媒であるが、あまり少
ないと乾燥時にフェノール樹脂の偏析と固化が始まって
しまう。またあまり多いと乾燥後湿気過剰で次段の造粒
における退部が困難となり、また成形密度が低下する。
従ってSiC粉末100重量部に対して4〜12重量部
とすることが好ましい。
市販の通常SiC粉末は15〜20m”/Hの比表面れ
ば高々2λ平方に一原子の平均面密度であり、SiC粒
子の表面にSiOの形で吸着されていると近似される。
従ってCによる脱酸反応は次式の形が主となっていよう
8i0 + 2C−+SiC+ Co1このため、C添
加量は0含有量の1.5倍の重量が必要である。しかし
、実際にはこれより多少C過剰気味の方がち密に焼結で
きる。
従ってフェノール樹脂はSiC原料粉に含まれるえ□1
片、〜25カ。ヮヮ、□1ゎえ。
て供給できるように混合すれば良い。通常は、SiC粉
100重量部に対し0.5〜5重量部程度で十分である
分散媒に少量(SiC粉末量100重量部に対し12〜
4重量部)の高沸点有機溶媒、例えばエチレングリコー
ルを加えてSiC粉末と混合した後、公式は高沸点液エ
チレングリコールのみとすることにより、液分式を正確
かつ容易に制御できる。
〔発明の実施例〕
以下本発明を実施例に基づいてさらに詳しく説明する。
(実施例1) 比表面積1sn?/mgp全酸素含有量1.2 Wlo
 。
の市販SiC粉末100gに焼結助剤として非晶質ホレ
ングリコール10cc、分散媒としてのアセトン100
 CCをポットで湿式混合し、−昼夜の室温乾燥により
アセトンを揮散させ、ナ60の篩を通して造粒し、40
X30X7−のブロックを1ton/−の圧力で冷間成
形した。これを凡雰囲気中で600℃まで6時間かけて
昇温することにより脱脂した。
以上の罎にして製造した脱脂成形体について光学顕微鏡
で気孔、亀裂等を探したが認められなかった。更にこ−
の脱脂成形体を2100℃Ar雰囲気中で焼結し、同様
に気孔、亀裂等を探したが認められなかった。焼結密度
は315g/ccであった。
(比較例1) 比較面積15i/mg、全酸素含有量1.2W10の市
販SiC粉末100gに焼結助剤として非晶質ホウ素0
.3 g 、炭素源となるノボラック系フェノール樹脂
(残炭素60%)4g、分散媒としてのアセトン100
CCをポットで湿式混合し一昼夜の室温乾燥によりアセ
トンを揮散させ、ナ60の篩を通して造粒しようとした
が、フェノール樹脂の偏析による固形魂が出来ており、
それらは篩を通り得なかった。篩を透過した粉末を40
X30X7− のブロックに1ton/diの圧力で冷
間成形し、凡雰囲気中で600℃まで6時間かけて昇温
することにより脱脂した成形体を嵌察すると、肉眼で気
孔し、亀裂等が認められ、常圧焼結試験には供し得ない
不良品であった。
(比較例2) 比表面積15i/mg、全酸素含有−311,2%の市
販SiC粉末100gに焼結助剤として非晶質ホウ素0
.3g、非晶質炭素Z4g、バインダーとしてエレクト
ロンワックスを2g分散媒としてアセトン100gをポ
ットで湿式混合し、−昼夜の室温乾燥でアセトンを揮散
させφ60の篩を通して造粒し40X30X7m’  
のブロックをl ton/(fflの圧力で冷開成形し
た。これを凡雰囲気中で600℃まで6時間かけて昇温
することにより脱脂し、2100℃及び2200℃のA
r雰囲気中で焼結したところ、それぞれ300 g/c
c 及び&05g/cc以上にはち密化しな力)りた。
(L・人″T:父自〕〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば気孔、亀裂等のない
良好なSiC焼結体を得ることができる。
代理人 弁理士  則 近 憲 佑 同     竹 花 喜久男

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)SiC粉及びフェノール樹脂を含む原料を分散媒
    ともに湿式混合し、続いて乾燥・造粒・成形・焼結を行
    なう炭化ケイ素焼結体の製造方法において、 前記湿式混合の際に前記分散媒より高い沸点を有する高
    沸点有機溶媒を加えて混合し、続く乾燥工程において、
    高沸点有機溶媒を残存させ、前記分散媒を揮散するよう
    に乾燥を行なうことを特徴とする炭化ケイ素焼結体の製
    造方法。
  2. (2)前記高沸点有機溶媒としてエチレングリコールを
    用いることを特徴とした特許請求の範囲第1項記載の炭
    化ケイ素焼結体の製造方法。
  3. (3)前記高沸点有機溶媒量はSiC粉100重量部に
    対し、4〜12重量部であることを特徴とした特許請求
    の範囲第1項記載の炭化ケイ素焼結体の製造方法。
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