JPS6261689A - 純水又は超純水の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は純水又は超純水（半導体の製造工程で洗浄に使
用される等の清澄な水）の製造において、Ｔ、Ｏ，Ｃ，
（全有機物性炭素）成分を除去する方法に関する。

（従来技術とその問題点） 従来、半導体の洗浄用水・医薬品製造の工程水ボイラー
用の純水等には極度に精製度を高めた水が要求されてい
る。この水の製造方法として、例えば第１図に示す方法
がある。しかるに、近年、これらに用いる水の純度を極
度に高めたものが要求されるようになってきた０例えば
、半導体製造では飛躍的に集積度を高めＶＬＳ　Ｉの時
代に突入し、これにともないウェハーの洗浄等に使用さ
れる超純水は極めて高純度のものが要求されてきている
。しかし、従来の方法ではイオン交換樹脂やファイナル
フィルターからの溶出物及び配管内で繁殖した菌類の代
謝産物等のため、ユースポイントでのＴ、Ｏ，Ｃ，は数
十〜数百ｐｐｂ以下に下げる事は出来なかった。このた
め、ファイナルフィルターとしてＲＯまたはルーズＲＯ
の使用が提案されているが、これ等の方法によっても完
全にはＴ、Ｏ，Ｃ，成分を除く事が出来ず、エネルギー
コスト、設備コストが高い割にはＴ、Ｏ，Ｃ。

成分の除去率が２０〜８０％と不充分で（Ｔ、Ｏ。

Ｃ０成分の分子量が小さい場合には、はとんど除去でき
ない）、経済的にも、性能的にも満足できるものではな
かった。

（問題点を解決するための手段） 本発明者等は、このように問題を有する純水又は超純水
の製造方法について、より優れた方法を求めて鋭意研究
を進めた結果、最終段のイオン交換樹脂塔を通過した純
水又は超純水を活性炭に接触させることにより問題点の
ない純水または超純水を製造できることを見出し本発明
を完成した。

即ち、本発明は、純水又は超純水製造工程において、最
終段のイオン交換樹脂塔を通過した後の純水又は超純水
を活性炭と接触させる事により、Ｔ、Ｏ，Ｃ，成分を除
去した純水又は超純水の製造方法である。

本発明で使用する活性炭塔の設置位置は、その目的から
言って最終段のイオン交換樹脂塔（ポリラシャ−）の後
である事が必須であり、使用の具体例を第２図に示す。

本発明で使用する活性炭は、粉末状でも粒状でも良い、
また、本発明においては、活性炭塔より前の工程に設置
されているユニットプロセスの順番が異なっていたり、
何れかのユニットプロセスが使われないことはありうる
。

（効　果） 本発明方法によれば、菌類・微粒子類はファイナルフィ
ルターで除去され、ファイナルフィルターで除去されな
い低分子量のＴ、Ｏ，Ｃ，は活性炭で吸着除去されるた
め、はぼ理論純水に近い理想的な純水又は超純水を得る
事ができるので、工業的利用における貢献度は極めて大
きい。

実施例１ 第２（Ｂ）図に示す超純水プロセスで製造した超純水の
水質を表１に示す。

用いた活性炭の吸着性能を示すためメチレンブルーを用
いた吸着等温線を第３図に示す。

比較例１ 第１図に示す現行の超純水製造プロセスで製造された超
純水の水質を表１に示す。

比較例２ 表２に示す性能を有するルーズＲＯをファイナルフィル
ターとして用い、第１図に示す超純水製造プロセスで製
造された超純粋の水質を表１に示す。

以下余白 表　　２

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の超純水製造プロセスの一例であり、（イ
）は原水水質に合わせて選択され、凝集沈澱法・砂濾過
・活性炭塔等が使用される。 （ロ）は逆浸透膜、（ハ）は０．２〜３μｍ程度の孔径
のミクロフィルター、（ニ）はミックスベッド型のイオ
ン交換樹脂塔、（ホ）はいわゆるファイナルフィルター
で典型的な例としてＵＦ（限外濾過膜の略称）、ミクロ
フィルター、ＲＯ等を示す。 第２図は本発明方法の例であり、第２（Ａ）図はファイ
ナルフィルターの後に、第２（Ｂ）図はファイナルフィ
ルターの前に、第２　（ｃ）図はユースポイントに活性
炭等を設置したときの製造プロセスである。第３図は実
施例１で使用した活性炭のメチレンブルー吸着等墨線で
ある。 特許出願人　旭化成工業株式会社 第３区 ｔｏ　　　　　　　　　　　　＋００　　　　　　　　
　　　１（Ｘ）０母液濃、ｇ＋ｐｐｍ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）純水又は超純水製造において、最終段のイオン交
   換樹脂塔を通過した後の純水又は超純水を、活性炭と接
   触させる事を特徴とする純水又は超純水の製造方法