JPS6263061A - ウエハ貼付プレ−トの加熱方法 - Google Patents
ウエハ貼付プレ−トの加熱方法Info
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- JPS6263061A JPS6263061A JP60200088A JP20008885A JPS6263061A JP S6263061 A JPS6263061 A JP S6263061A JP 60200088 A JP60200088 A JP 60200088A JP 20008885 A JP20008885 A JP 20008885A JP S6263061 A JPS6263061 A JP S6263061A
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- Japan
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- plate
- heated
- temperature
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Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、鏡面加工されるシリコンウェハ等の半導体ウ
ェハを貼付けるウェハ貼付プレートの加熱方法に関する
ものである。
ェハを貼付けるウェハ貼付プレートの加熱方法に関する
ものである。
シリコンウェハ等の半導体ウェハ（以下、単にウェハと
いう）の最終加工工程である研磨工程では、ウェハの片
面の鏡面仕上げが行われている。
いう）の最終加工工程である研磨工程では、ウェハの片
面の鏡面仕上げが行われている。
この加工に際して、ウェハは、アルミナセラミックスか
らなる円板状のウェハ貼付プレート上にワックスを介し
て貼付けられる。
らなる円板状のウェハ貼付プレート上にワックスを介し
て貼付けられる。
従来、アルミナセラミックスからなるウェハ貼付プレー
トにウェハを貼付ける場合、このプレートをアルミニウ
ム製鋳造ヒータ上に載置して加熱すると、セラミックス
のスポーリング性のために加熱冷却時の温度勾配または
プレート内での温度勾配によりアルミナセラミックスか
らなるプレートが割れて破損する欠点がある。
トにウェハを貼付ける場合、このプレートをアルミニウ
ム製鋳造ヒータ上に載置して加熱すると、セラミックス
のスポーリング性のために加熱冷却時の温度勾配または
プレート内での温度勾配によりアルミナセラミックスか
らなるプレートが割れて破損する欠点がある。
本発明は上述する問題点に着目し、アルミナセラミック
スからなるプレートをアルミニウム製錆込ヒータ上で加
熱しても温度勾配による破損を生ずることのない優れた
ウェハ貼付プレートの加熱方法を提供することを目的と
する。
スからなるプレートをアルミニウム製錆込ヒータ上で加
熱しても温度勾配による破損を生ずることのない優れた
ウェハ貼付プレートの加熱方法を提供することを目的と
する。
本発明は前記目的を達成すべく幾多の研究の結果、アル
ミナセラミックスからなるウェハ貼付プレートを遠赤外
線ヒータによって非接触で均一に加熱することによりプ
レートを破損することなく加熱する方法を開発し、本発
明に到達したものである。
ミナセラミックスからなるウェハ貼付プレートを遠赤外
線ヒータによって非接触で均一に加熱することによりプ
レートを破損することなく加熱する方法を開発し、本発
明に到達したものである。
本発明の方法はアルミナセラミックスからなるウェハ貼
付プレートを断熱材で包囲した雰囲気中で遠赤外線ヒー
タによって上記プレートの上下両側面から遠赤外線を非
接触で均一に照射して予備加熱し、この予備加熱したプ
レートを鋳造ヒータ上に載置して所定温度まで昇音する
ことを特徴する。
付プレートを断熱材で包囲した雰囲気中で遠赤外線ヒー
タによって上記プレートの上下両側面から遠赤外線を非
接触で均一に照射して予備加熱し、この予備加熱したプ
レートを鋳造ヒータ上に載置して所定温度まで昇音する
ことを特徴する。
本発明の方法において、アルミナセラミックスからなる
ウェハ貼付プレート（以下、単にプレートという）の加
熱は断熱材で包囲した加熱昇温雰囲気中で行う、８囲気
としては１例えば空気を用い、この雰囲気中でプレート
を遠赤外線ヒータ（例えばジャード社製）を用いて、例
えば２００〜３００℃の範囲、好ましくは約２５０”Ｃ
の温度で約１〜３分にわたって加熱する。この加熱ヒー
タはプレートから約２〜１０ａ１、好ましくは約５３離
した位置から加熱する。この加熱手段の好適例を第１図
に示している。第１図に示すようにプレート１をプレー
ト保持体２上に配置し、断熱材からなる包囲体３および
３′の内面に設けたパネル式の遠赤外線ヒータ４および
４′によりプレート１の上下両面から予備加熱する。
ウェハ貼付プレート（以下、単にプレートという）の加
熱は断熱材で包囲した加熱昇温雰囲気中で行う、８囲気
としては１例えば空気を用い、この雰囲気中でプレート
を遠赤外線ヒータ（例えばジャード社製）を用いて、例
えば２００〜３００℃の範囲、好ましくは約２５０”Ｃ
の温度で約１〜３分にわたって加熱する。この加熱ヒー
タはプレートから約２〜１０ａ１、好ましくは約５３離
した位置から加熱する。この加熱手段の好適例を第１図
に示している。第１図に示すようにプレート１をプレー
ト保持体２上に配置し、断熱材からなる包囲体３および
３′の内面に設けたパネル式の遠赤外線ヒータ４および
４′によりプレート１の上下両面から予備加熱する。
示せず）上に載置して所定温度、例えば１２０〜２００
℃の範囲、好ましくは約１８０℃の温度まで昇温するよ
うに加熱する。
℃の範囲、好ましくは約１８０℃の温度まで昇温するよ
うに加熱する。
上述するように、本発明はアルミナセラミックスからな
るプレートを遠赤外線の均一照射により予備加熱し、こ
のプレートをアルミニウム鋳造ヒータ上で所定温度まで
加熱することによって、プレート内での急激な温度勾配
の発生をなくし、均一にかつ短時間でプレートを一定温
度に保持することができ、従来における加熱中のプレー
ト破損の発生を防止することができた。
るプレートを遠赤外線の均一照射により予備加熱し、こ
のプレートをアルミニウム鋳造ヒータ上で所定温度まで
加熱することによって、プレート内での急激な温度勾配
の発生をなくし、均一にかつ短時間でプレートを一定温
度に保持することができ、従来における加熱中のプレー
ト破損の発生を防止することができた。
アルミナセラミックスからなるプレート１を第１図に示
す予備加熱装置のプレート保持体２上に載置し、プレー
トから上下に５Ｉｌｌ！ＩＩ＃ｉシて位置するパネル式
の遠赤外線ヒータ（ジャード社製；パワー上下各２，６
７Ｋｗ ［フルパワ一時］）から遠赤外線をプレートの
上下両側面に９０秒間にわたり照射し、約１２０℃まで
予備加熱した。
す予備加熱装置のプレート保持体２上に載置し、プレー
トから上下に５Ｉｌｌ！ＩＩ＃ｉシて位置するパネル式
の遠赤外線ヒータ（ジャード社製；パワー上下各２，６
７Ｋｗ ［フルパワ一時］）から遠赤外線をプレートの
上下両側面に９０秒間にわたり照射し、約１２０℃まで
予備加熱した。
かように遠赤外線で予め加熱したプレートをアルミニウ
ム鋳造ヒータ（図示せず）上に載置して１９０±２℃の
温度（プレート表面において１８０℃）に加熱した。
ム鋳造ヒータ（図示せず）上に載置して１９０±２℃の
温度（プレート表面において１８０℃）に加熱した。
上述するように本発明の方法によりプレートを加熱処理
することによって、従来技術におけるプレート内の温度
勾配によるプレート割れの生じないことを確めた。
することによって、従来技術におけるプレート内の温度
勾配によるプレート割れの生じないことを確めた。
第１図は本発明の方法においてプレートを遠赤外線加熱
する装置の好適な構造を示す説明用線図。 第２図は本発明の方法においてプレートを遠赤外線加熱
するプレートの昇温状態を示す曲線図である。 １・・・ウェハ貼付プレート ２・・・プレート保持体 ３．３′・・・断熱包囲体 ４．４′・・・遠赤外線ヒータ
する装置の好適な構造を示す説明用線図。 第２図は本発明の方法においてプレートを遠赤外線加熱
するプレートの昇温状態を示す曲線図である。 １・・・ウェハ貼付プレート ２・・・プレート保持体 ３．３′・・・断熱包囲体 ４．４′・・・遠赤外線ヒータ
Claims (1)
- アルミナセラミックスからなるウェハ貼付プレートを断
熱材で包囲した雰囲気中で遠赤外線ヒータによって上記
プレートの上下両側面から遠赤外線を非接触で均一に照
射して予備加熱し、この予備加熱したプレートを鋳造ヒ
ータ上に載置して所定温度まで昇温することを特徴とす
るウェハ貼付プレートの加熱方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60200088A JPH0712591B2 (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | ウエハ貼付プレ−トの加熱方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60200088A JPH0712591B2 (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | ウエハ貼付プレ−トの加熱方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263061A true JPS6263061A (ja) | 1987-03-19 |
| JPH0712591B2 JPH0712591B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=16418653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60200088A Expired - Lifetime JPH0712591B2 (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | ウエハ貼付プレ−トの加熱方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712591B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014153490A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Hoya Corp | 眼鏡レンズ用染料蒸着装置および眼鏡レンズの染料蒸着方法 |
-
1985
- 1985-09-10 JP JP60200088A patent/JPH0712591B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014153490A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Hoya Corp | 眼鏡レンズ用染料蒸着装置および眼鏡レンズの染料蒸着方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0712591B2 (ja) | 1995-02-15 |
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