JPS6264903A - 形状計測方法およびその装置 - Google Patents
形状計測方法およびその装置Info
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- JPS6264903A JPS6264903A JP20593785A JP20593785A JPS6264903A JP S6264903 A JPS6264903 A JP S6264903A JP 20593785 A JP20593785 A JP 20593785A JP 20593785 A JP20593785 A JP 20593785A JP S6264903 A JPS6264903 A JP S6264903A
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物体表面から放射される赤外線を検出して物
体表面の温度分布を測定するサーモグラフィ技術を利用
して物体表面の形状を測定する形状計測方法およびその
装置に関する。
体表面の温度分布を測定するサーモグラフィ技術を利用
して物体表面の形状を測定する形状計測方法およびその
装置に関する。
サーモグラフィ装置は、物体表面から放射される赤外線
を検出して物体表面の温度分布を測定し温度分布の２次
元濃淡画像を形成する装置であるが、従来のａｌｌ＋ｌ
ｌ評定おいては測定対象である物体を一定方向から測定
して平面的な温度分布を得ているものであるため、物体
表面の凹凸や形状の影響が測定結果に含まれていた。よ
り詳細に説明すると、サーモグラフィ装置は赤外線カメ
ラおよびディスプレイ装置から構成されているが、実用
化されている赤外線カメラとしては赤外線ビジコンを使
用して物体表面からの赤外線を検出する方式のものと、
点状の赤外線センサを使用し、このセンサを鏡またはプ
リズムからなる走査部で物体表面に対して走査して物体
表面からの赤外線を検出する方式のものとの２つの方式
がある。
を検出して物体表面の温度分布を測定し温度分布の２次
元濃淡画像を形成する装置であるが、従来のａｌｌ＋ｌ
ｌ評定おいては測定対象である物体を一定方向から測定
して平面的な温度分布を得ているものであるため、物体
表面の凹凸や形状の影響が測定結果に含まれていた。よ
り詳細に説明すると、サーモグラフィ装置は赤外線カメ
ラおよびディスプレイ装置から構成されているが、実用
化されている赤外線カメラとしては赤外線ビジコンを使
用して物体表面からの赤外線を検出する方式のものと、
点状の赤外線センサを使用し、このセンサを鏡またはプ
リズムからなる走査部で物体表面に対して走査して物体
表面からの赤外線を検出する方式のものとの２つの方式
がある。
第４図は赤外線ビジコンを使用した従来のサーモグラフ
ィ装置のブロック図である。この装置においては、測定
対象の物体から放射される赤外線をレンズｌａで集光し
て赤外線ビジコン１の光導電面上に温度分布像として結
像させ、これを電気信号に変換し、ビデオプロセッサ２
を介してディスプレイ装置３に２次元濃淡画像として物
体表面の温度分布を表示するものである。
ィ装置のブロック図である。この装置においては、測定
対象の物体から放射される赤外線をレンズｌａで集光し
て赤外線ビジコン１の光導電面上に温度分布像として結
像させ、これを電気信号に変換し、ビデオプロセッサ２
を介してディスプレイ装置３に２次元濃淡画像として物
体表面の温度分布を表示するものである。
第５図は点状の赤外線センサを使用した従来のサーモグ
ラフィ装置のブロック図である。この装置においては、
水平および垂直走査駆動部４によってサーモビエアー５
を構成する鏡またはプリズムを回転させて測定対象の物
体から放射される赤外線を順次走査しながら単独の固定
された赤外線センサで受光して電気信号に変換し、この
電気信号を増幅器６を介してディスプレイ装置３に供給
し、鏡またはプリズムの回転走査に同期させてディスプ
レイ装置３に２次元濃淡画像として物体表面の温度分布
を表示するものである。
ラフィ装置のブロック図である。この装置においては、
水平および垂直走査駆動部４によってサーモビエアー５
を構成する鏡またはプリズムを回転させて測定対象の物
体から放射される赤外線を順次走査しながら単独の固定
された赤外線センサで受光して電気信号に変換し、この
電気信号を増幅器６を介してディスプレイ装置３に供給
し、鏡またはプリズムの回転走査に同期させてディスプ
レイ装置３に２次元濃淡画像として物体表面の温度分布
を表示するものである。
上述した従来のサーモグラフィ装置においては、測定対
象である物体表面に対しである一定方向から赤外線を検
出した平面的な温度分布を求めているものであり、物体
表面の凹凸や形状を考慮していないものであったため、
このようなサーモグラフィ技術を利用して物体表面の凹
凸や形状を測定することはできなかった。
象である物体表面に対しである一定方向から赤外線を検
出した平面的な温度分布を求めているものであり、物体
表面の凹凸や形状を考慮していないものであったため、
このようなサーモグラフィ技術を利用して物体表面の凹
凸や形状を測定することはできなかった。
本発明の目的は、サーモグラフィ技術を利用して物体表
面の凹凸や形状を測定する形状計測方法およびその装置
を堤供することにある。
面の凹凸や形状を測定する形状計測方法およびその装置
を堤供することにある。
本発明による形状計測方法は、複数の赤外線センサを被
測定体に対して第１の位置に配設し、この第１の位置に
おける赤外線センサによって被測定体の赤外線強度を測
定し、前記複数の赤外線センサを第１の位置から所定距
離前れた第２の位置に移動し、この第２の位置における
赤外線センサによって波４１す定休の赤外線強度をａｌ
ｌ＋定し、第１の位置における各赤外線センサの出力信
号から和および差信号を求め、第２の位置における各赤
外線センサの出力信号から和および差信号を求め、前記
第１および第２の位置における和、差信号および第１の
位置と第２の位置間の所定距離から被１ｊｌｌｌ定休の
形状を計測することを特徴とする。
測定体に対して第１の位置に配設し、この第１の位置に
おける赤外線センサによって被測定体の赤外線強度を測
定し、前記複数の赤外線センサを第１の位置から所定距
離前れた第２の位置に移動し、この第２の位置における
赤外線センサによって波４１す定休の赤外線強度をａｌ
ｌ＋定し、第１の位置における各赤外線センサの出力信
号から和および差信号を求め、第２の位置における各赤
外線センサの出力信号から和および差信号を求め、前記
第１および第２の位置における和、差信号および第１の
位置と第２の位置間の所定距離から被１ｊｌｌｌ定休の
形状を計測することを特徴とする。
また、本発明の形状計測装置は、被測定体に対して第１
の位置に配設され被測定体の赤外線強度を測定する複数
の赤外線センサと、前記第１の位置から所定距離前れた
第２の位置から前記複数の赤外線センサによって被１１
１１１定休の赤外線強度を測定ずべく前記複数の赤外線
センサを前記第２の位置に移動させる手段と、第１の位
置における各赤外線センサの出力信号の和および差信号
および第２の位置における各赤外線センサの出力信号の
和および差信号を算出し、各和、差信号および第１の位
置と第２の位置間の所定距離から被測定体の形状を算出
する算出手段とを存することを特徴とする。
の位置に配設され被測定体の赤外線強度を測定する複数
の赤外線センサと、前記第１の位置から所定距離前れた
第２の位置から前記複数の赤外線センサによって被１１
１１１定休の赤外線強度を測定ずべく前記複数の赤外線
センサを前記第２の位置に移動させる手段と、第１の位
置における各赤外線センサの出力信号の和および差信号
および第２の位置における各赤外線センサの出力信号の
和および差信号を算出し、各和、差信号および第１の位
置と第２の位置間の所定距離から被測定体の形状を算出
する算出手段とを存することを特徴とする。
本発明の形状計測方法においては、被測定体に対して第
１および第２の位置から複数の赤外線センサで被測定体
の赤外線強度を測定し、各位置において測定した各赤外
線センサの出力信号の和、差信号および第１と第２の位
置間の距離から被測定体の形状を測定している。
１および第２の位置から複数の赤外線センサで被測定体
の赤外線強度を測定し、各位置において測定した各赤外
線センサの出力信号の和、差信号および第１と第２の位
置間の距離から被測定体の形状を測定している。
また、本発明の形状計側袋でにおいては、第１の位置に
配設された複数の赤外線センサで被測定体の赤外線強度
を測定し、移動手段により複数の赤外線センサを第２の
位置に移動してこの第２の位置で被測定体の赤外線強度
を測定し、各位置において測定した各赤外線センサの出
力信号の和、差信号および第１と第２の位置間の距離か
ら被測定体の形状を測定している。
配設された複数の赤外線センサで被測定体の赤外線強度
を測定し、移動手段により複数の赤外線センサを第２の
位置に移動してこの第２の位置で被測定体の赤外線強度
を測定し、各位置において測定した各赤外線センサの出
力信号の和、差信号および第１と第２の位置間の距離か
ら被測定体の形状を測定している。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る形状計測装置のブロッ
ク図である。同図に示す形状計測装置においては、表面
の形状を測定される被測定体である物体９に対して一対
の微小赤外線センサ、ずなわら第１の赤外線センサ７八
および第２の赤外線センサ７Ｂが所定角度で配設され、
物体９から放射される赤外線強度を２方向から測定し得
るようになっている。物体９から放射される赤外線強度
を測定した第１および第２の赤外線センサ７Ａ。
ク図である。同図に示す形状計測装置においては、表面
の形状を測定される被測定体である物体９に対して一対
の微小赤外線センサ、ずなわら第１の赤外線センサ７八
および第２の赤外線センサ７Ｂが所定角度で配設され、
物体９から放射される赤外線強度を２方向から測定し得
るようになっている。物体９から放射される赤外線強度
を測定した第１および第２の赤外線センサ７Ａ。
７Ｂの出力信号は、出力信号処理部８に供給され、ここ
で後述するように信号処理して物体９の正６１！な形状
を求めている。
で後述するように信号処理して物体９の正６１！な形状
を求めている。
また、上記第１および第２の赤外線センサ７Ａ。
７Ｂは赤外線センサ部７を構成しているが、この赤外線
センサ部７は水平垂直走査駆動部４で駆動されるように
なっている。この水平垂直走査駆動部４は、第１および
第２の赤外線センサ７Ａ、７Ｂによって物体９の全体、
すなわち全表面からの赤外線強度を測定するように物体
９の全表面を水平および垂直方向に走査し得るべく赤外
線センサ部７を駆動するとともに、この時、第１および
第２の赤外線センサ７Ａ、’？Ｂは物体９の同−場所に
対して第１の位置およびこの第１の位置から所定路Ｍｄ
ＬＭれた第２の位置の２つの位置において物体９の同
一場所からの赤外線強度を測定し得るように第１の位置
と第２の位置との間を振動して移動すべく赤外線センサ
部７を駆動している。
センサ部７は水平垂直走査駆動部４で駆動されるように
なっている。この水平垂直走査駆動部４は、第１および
第２の赤外線センサ７Ａ、７Ｂによって物体９の全体、
すなわち全表面からの赤外線強度を測定するように物体
９の全表面を水平および垂直方向に走査し得るべく赤外
線センサ部７を駆動するとともに、この時、第１および
第２の赤外線センサ７Ａ、’？Ｂは物体９の同−場所に
対して第１の位置およびこの第１の位置から所定路Ｍｄ
ＬＭれた第２の位置の２つの位置において物体９の同
一場所からの赤外線強度を測定し得るように第１の位置
と第２の位置との間を振動して移動すべく赤外線センサ
部７を駆動している。
赤外線センサ部７の第１および第２の赤外線センサ７Ａ
、７Ｂはこのように水平垂直走査駆動部４によって物体
９の同一場所に対して第１の位置および第２の位置との
間を振動するように移動されながら、物体９の全表面を
水平および垂直方向に走査して、物体９の全表面から放
射される赤外線強度を測定している。このように移動走
査されながら測定された第１および第２赤外線センサ７
Ａ、７Ｂの出力信号を出力信号処理部８で処理して物体
９の形状を求め、この形状情報を上記走査動作に同期し
てディスプレイ装置３に供給することにより物体９の形
状を表示することができるのである。
、７Ｂはこのように水平垂直走査駆動部４によって物体
９の同一場所に対して第１の位置および第２の位置との
間を振動するように移動されながら、物体９の全表面を
水平および垂直方向に走査して、物体９の全表面から放
射される赤外線強度を測定している。このように移動走
査されながら測定された第１および第２赤外線センサ７
Ａ、７Ｂの出力信号を出力信号処理部８で処理して物体
９の形状を求め、この形状情報を上記走査動作に同期し
てディスプレイ装置３に供給することにより物体９の形
状を表示することができるのである。
このように本発明においては、２つの赤外線センサ７Ａ
、７Ｂによって物体９の同一場所に対して２方向から赤
外線強度を測定することによって物体９の形状や凹凸を
測定しようとするものであるが、この場合、出力信号処
理部８においては、赤外線センサ部７を水平垂直走査駆
動部４によって移動走査させて、２つのセンサ７Ａ、Ｔ
Ｉ３を物体９の同一場所に対して第１の位置と第２の位
置との２つの位置で測定することにより第１の位置にお
ける各センサ７Ａ、７Ｂの′出力信号および第２の位置
における各センサ７八、７Ｂの出力信号を求め、各位置
における各出力信号の和および差を算出し、これらの和
、差情報および第１の位置と第２の位置間の距離ｄＬか
ら物体９の形状を測定しているものである。
、７Ｂによって物体９の同一場所に対して２方向から赤
外線強度を測定することによって物体９の形状や凹凸を
測定しようとするものであるが、この場合、出力信号処
理部８においては、赤外線センサ部７を水平垂直走査駆
動部４によって移動走査させて、２つのセンサ７Ａ、Ｔ
Ｉ３を物体９の同一場所に対して第１の位置と第２の位
置との２つの位置で測定することにより第１の位置にお
ける各センサ７Ａ、７Ｂの′出力信号および第２の位置
における各センサ７八、７Ｂの出力信号を求め、各位置
における各出力信号の和および差を算出し、これらの和
、差情報および第１の位置と第２の位置間の距離ｄＬか
ら物体９の形状を測定しているものである。
次にこのように各出力信号の和、差信号および距離ｄＬ
から物体９の形状を求める出力信号処理部８の処理原理
を第２図を参照し゛ζ説明する。
から物体９の形状を求める出力信号処理部８の処理原理
を第２図を参照し゛ζ説明する。
第２図において、被測定体である物体９の表面９ａは水
平面１５に対して角度βだけ傾斜し、その赤外線強度を
Ｗとする。この物体表面９ａから距ＭＬ離れた第１およ
び第２の位２１１．１２にそれぞれ第１および第２の赤
外線センサ７Ａ、７Ｂが配設されている。このセンサ７
Ａ、７Ｂは上記水平面１５に対する垂直線１６に対して
それぞれ角度αだけ対称に（用斜し、各センサから垂直
線１６まで距離ａ、すなわち両センサ７Ａ、７Ｂ間は距
離２ａｌｆれて配設されている。また、この第１および
第２の位Ｗｌｌ、１２にあるセンサ７△。
平面１５に対して角度βだけ傾斜し、その赤外線強度を
Ｗとする。この物体表面９ａから距ＭＬ離れた第１およ
び第２の位２１１．１２にそれぞれ第１および第２の赤
外線センサ７Ａ、７Ｂが配設されている。このセンサ７
Ａ、７Ｂは上記水平面１５に対する垂直線１６に対して
それぞれ角度αだけ対称に（用斜し、各センサから垂直
線１６まで距離ａ、すなわち両センサ７Ａ、７Ｂ間は距
離２ａｌｆれて配設されている。また、この第１および
第２の位Ｗｌｌ、１２にあるセンサ７△。
７Ｂに対して所定路１ｉ［ｄＬだけ離れ、斜線を施した
第３および第４の位！１３．１４にそれぞれセンサ７八
、７Ｂが移動し得るようになっており、この距離ｄＬだ
け離れた第３および第４の位置にある時のセンサをそれ
ぞれセンサ７Ａ’、７Ｂ’とする。
第３および第４の位！１３．１４にそれぞれセンサ７八
、７Ｂが移動し得るようになっており、この距離ｄＬだ
け離れた第３および第４の位置にある時のセンサをそれ
ぞれセンサ７Ａ’、７Ｂ’とする。
今、７Ｐ、ｌおよび第２の位Ｚ１１．１２にあるセンサ
７Ａ、７Ｌ３の出ツノ信号ｄ１．およびｄＩＬはそれぞ
れ次式で与えられる。
７Ａ、７Ｌ３の出ツノ信号ｄ１．およびｄＩＬはそれぞ
れ次式で与えられる。
ｄ Ｉ ｍ ＝ ［Ｗｄｘ／（Ｌ”＋ａ”）］ ｃｏｓ
（β−ｃｒ） −−・ｆｉｌｄ Ｉ 、 ＝ ［Ｗｄ
ｘ／（Ｌ”＋ａ”）］ ｃｏｓ（β−α）・−・（２１
この式ｔ１１． ｆ２＋から百出力信号ｄ１．、ｄｌＬ
の和Ａおよび差Ｓを求めると、次式のようになる。
（β−ｃｒ） −−・ｆｉｌｄ Ｉ 、 ＝ ［Ｗｄ
ｘ／（Ｌ”＋ａ”）］ ｃｏｓ（β−α）・−・（２１
この式ｔ１１． ｆ２＋から百出力信号ｄ１．、ｄｌＬ
の和Ａおよび差Ｓを求めると、次式のようになる。
Ａ＝ｄｌ＋＋＋ｄｌＬ
＝ ［２ＷＬ／（Ｌ”＋ａ”）”” ］ ｃｏｓβｄｘ
・・・（３１Ｓ”ｄｌｔ ｄｌｔ ＝［−２ＷＬバＬ”＋ａ”）”” ］ ｓｉｎβｄｘ・
＝ｆ４１さらに、両式＋３１． ＋４１から差Ｓを和へ
で割った値Ｐを求めると、値Ｐは次のようになる。
・・・（３１Ｓ”ｄｌｔ ｄｌｔ ＝［−２ＷＬバＬ”＋ａ”）”” ］ ｓｉｎβｄｘ・
＝ｆ４１さらに、両式＋３１． ＋４１から差Ｓを和へ
で割った値Ｐを求めると、値Ｐは次のようになる。
Ｐ＝Ｓ／Ａ
＝ −（ａ／Ｌ） ｔａｎβ −−
・［５１この式（５）の値Ｐを距ＭＬで微分すると、次
式のようになる。
・［５１この式（５）の値Ｐを距ＭＬで微分すると、次
式のようになる。
ｄ Ｐ＝ ［ａ／Ｌ” ］ ｊａｎβｄＬ
−・・＋６１式（５１，＋６１から距離しおよび傾斜角
βを求めると、次式のようになる。
−・・＋６１式（５１，＋６１から距離しおよび傾斜角
βを求めると、次式のようになる。
Ｌ冨−Ｐ −ｄ Ｌ／ｄ Ｐ
・ ・ ・（７）β−Ｌａｎ １ （ＬＰ／ａ）
・ ・（８１上式（３＋、ｔｅｌ
、 （８１から赤外線強度Ｗは次式のようになる。
・ ・ ・（７）β−Ｌａｎ １ （ＬＰ／ａ）
・ ・（８１上式（３＋、ｔｅｌ
、 （８１から赤外線強度Ｗは次式のようになる。
Ｗ＝ （Ｌ” ＋ａ” ）”” ・Ａ／２Ｌ −ｃｏ
ｓ β・・・（９）以上の式で示したように、第１およ
び第２の位置にある一対のセンサ７Ａ、７Ｂの出力信号
の和、差信号Ａ、Ｓを求めるとともに、センサ７Ａ、７
Ｂを所定距離ｄＬ移動した第３および第４の位置におい
て測定したセンサ７Ａ、７Ｂの出力信号の和、差信号Ａ
、Ｓを求め、これらの各和、差信号からそれぞれ上記値
Ｐを求め、さらに式ｆ７１． ＋８１゜（９）に従って
計算すれば、物体表面までの距Ａ１１Ｌ。
ｓ β・・・（９）以上の式で示したように、第１およ
び第２の位置にある一対のセンサ７Ａ、７Ｂの出力信号
の和、差信号Ａ、Ｓを求めるとともに、センサ７Ａ、７
Ｂを所定距離ｄＬ移動した第３および第４の位置におい
て測定したセンサ７Ａ、７Ｂの出力信号の和、差信号Ａ
、Ｓを求め、これらの各和、差信号からそれぞれ上記値
Ｐを求め、さらに式ｆ７１． ＋８１゜（９）に従って
計算すれば、物体表面までの距Ａ１１Ｌ。
物体表面の傾斜角度β、物体表面の赤外線強度Ｗを求め
ることができ、そして、このようにして求めた物体表面
までの距離しおよび物体表面の傾斜角αを前記走査動作
によって物体の全表面に対して求めることにより物体表
面の凹凸や形状を測定することができるのである。
ることができ、そして、このようにして求めた物体表面
までの距離しおよび物体表面の傾斜角αを前記走査動作
によって物体の全表面に対して求めることにより物体表
面の凹凸や形状を測定することができるのである。
次に、上述したアルゴリズムに従って第２図に示したモ
デルでシミュレーションを行って求めた結果を第３図（
ａｌ、 ｔｂｌ、 （Ｃ１に示す、すなわち、第３図＋
ａ＋は物体表面の傾斜角βを可変した時の傾斜角βに対
する各センサ７Ａ、７Ｂの出力信号ｄＬ、ｄｌＬを示し
、第３図ｆｂｌは可変傾斜角βに対する前記百出力信号
の和Ａおよび差Ｓを示し、第３図ｔｅｌは物体表面から
の赤外線強度Ｗを示す、なお、このシミュレーションは
第２図においてａ ＝５．０゜ｄ Ｌ ＝ １．０．
Ｌ−８，５とし、物体９の赤外線強度Ｗ−１，０で行う
とともに、第３図（ａｌ、 ｆｂｌのグラフの縦軸は最
大値を１．０に正規化して表している０図かられかるよ
うに、シミュレーションは良好な結果を示している。
デルでシミュレーションを行って求めた結果を第３図（
ａｌ、 ｔｂｌ、 （Ｃ１に示す、すなわち、第３図＋
ａ＋は物体表面の傾斜角βを可変した時の傾斜角βに対
する各センサ７Ａ、７Ｂの出力信号ｄＬ、ｄｌＬを示し
、第３図ｆｂｌは可変傾斜角βに対する前記百出力信号
の和Ａおよび差Ｓを示し、第３図ｔｅｌは物体表面から
の赤外線強度Ｗを示す、なお、このシミュレーションは
第２図においてａ ＝５．０゜ｄ Ｌ ＝ １．０．
Ｌ−８，５とし、物体９の赤外線強度Ｗ−１，０で行う
とともに、第３図（ａｌ、 ｆｂｌのグラフの縦軸は最
大値を１．０に正規化して表している０図かられかるよ
うに、シミュレーションは良好な結果を示している。
以上説明したように、本発明によれば、被測定体に対し
て第１および第２の位置から複数の赤外線センサで被測
定体の赤外線強度を測定し、各赤外線センサの出力信号
の和、差信号および第１および第２位置間の距離から被
測定体の形状を測定することを可能にしている。
て第１および第２の位置から複数の赤外線センサで被測
定体の赤外線強度を測定し、各赤外線センサの出力信号
の和、差信号および第１および第２位置間の距離から被
測定体の形状を測定することを可能にしている。
第１図は本発明の一実施例を示す形状計測装置のブロッ
ク図、 第２図は第１図の装置の原理を示す説明図、第３図（ａ
ｔ、 （ｂｌ、 ｆＣｌはそれぞれ第２図で説明した原
理によるシミュレーション結果を示すグラフ、第４図お
よび第５図はそれぞれ従来のサーモグラフィ装置のブロ
ック図である。 図において、 ３・・・・・ディスプレイ装置、 ４・・・・・水平垂直走査駆動部、 ７・・・・・赤外線センサ部、 ７Ａ、７Ｂ・・・赤外線センサ、 ８・・・・・出力信号処理部、 ９・・・・・物体である。 特許出願人 アルプス電気株式会社３１ 図 乃２図 ６４図 手続補正書く自発） 昭和６１年７月１１日 特願昭６０−２０５９３７号 ２、発明の名称 形状計測方法およびその装昭 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 〒１４５東京都大田区雪谷大塚町１番７号名称
ＡＯ９アルプス電気株式会ネ４ ４、補正命令の日付 自 発 ５、補正の対象 「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 ７′＼′
・ ・鎮 別紙のとおり 仁７．くべ・（１）
明細書筒１１頁４行目にｒｄ Ｉｇ ＝ ［Ｗｄ ｘ／
（１−” ＋８” ） ］ ＣＯ５（β−α）」と
あるを［ｄｌ、＝ ［Ｗｄｘ／ （Ｌ” ＋ａ’
）］ ｃｏｓ （β＋α）Ｊと補正する。 （２）明細書第１１頁１０行目にｌ５−ｄ ＩＬ−ｄ
Ｉ、 Ｊとあるを「ｓ−ｄ ［Ｒ−ｄ Ｉ、 Ｊと補
正する。 （３）明到書第１１頁１１行目にｒ［−２ＷＬ／（Ｌ２
＋ａ” ン”２ ］ Ｓ ｉ ｎ８ｄｘ Ｊとあるをｒ
［−２Ｗａ、／ （１” ＋ａ” ）” ］ ｓ ｉ
ｒ＋Ｂｄｘ Ｊと補正する。
ク図、 第２図は第１図の装置の原理を示す説明図、第３図（ａ
ｔ、 （ｂｌ、 ｆＣｌはそれぞれ第２図で説明した原
理によるシミュレーション結果を示すグラフ、第４図お
よび第５図はそれぞれ従来のサーモグラフィ装置のブロ
ック図である。 図において、 ３・・・・・ディスプレイ装置、 ４・・・・・水平垂直走査駆動部、 ７・・・・・赤外線センサ部、 ７Ａ、７Ｂ・・・赤外線センサ、 ８・・・・・出力信号処理部、 ９・・・・・物体である。 特許出願人 アルプス電気株式会社３１ 図 乃２図 ６４図 手続補正書く自発） 昭和６１年７月１１日 特願昭６０−２０５９３７号 ２、発明の名称 形状計測方法およびその装昭 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 〒１４５東京都大田区雪谷大塚町１番７号名称
ＡＯ９アルプス電気株式会ネ４ ４、補正命令の日付 自 発 ５、補正の対象 「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 ７′＼′
・ ・鎮 別紙のとおり 仁７．くべ・（１）
明細書筒１１頁４行目にｒｄ Ｉｇ ＝ ［Ｗｄ ｘ／
（１−” ＋８” ） ］ ＣＯ５（β−α）」と
あるを［ｄｌ、＝ ［Ｗｄｘ／ （Ｌ” ＋ａ’
）］ ｃｏｓ （β＋α）Ｊと補正する。 （２）明細書第１１頁１０行目にｌ５−ｄ ＩＬ−ｄ
Ｉ、 Ｊとあるを「ｓ−ｄ ［Ｒ−ｄ Ｉ、 Ｊと補
正する。 （３）明到書第１１頁１１行目にｒ［−２ＷＬ／（Ｌ２
＋ａ” ン”２ ］ Ｓ ｉ ｎ８ｄｘ Ｊとあるをｒ
［−２Ｗａ、／ （１” ＋ａ” ）” ］ ｓ ｉ
ｒ＋Ｂｄｘ Ｊと補正する。
Claims (2)
- （１）複数の赤外線センサを被測定体に対して第１の位
置に配設し、この第１の位置における赤外線センサによ
って被測定体の赤外線強度を測定し、前記複数の赤外線
センサを第１の位置から所定距離離れた第２の位置に移
動し、この第２の位置における赤外線センサによって被
測定体の赤外線強度を測定し、第１の位置における各赤
外線センサの出力信号から和および差信号を求め、第２
の位置における各赤外線センサの出力信号から和および
差信号を求め、前記第１および第２の位置における和、
差信号および第１の位置と第２の位置間の所定距離から
被測定体の形状を計測することを特徴とする形状計測方
法。 - （２）被測定体に対して第１の位置に配設され被測定体
の赤外線強度を測定する複数の赤外線センサと、前記第
１の位置から所定距離離れた第２の位置から前記複数の
赤外線センサによって被測定体の赤外線強度を測定すべ
く前記複数の赤外線センサを前記第２の位置に移動させ
る手段と、第１の位置における各赤外線センサの出力信
号の和および差信号および第２の位置における各赤外線
センサの出力信号の和および差信号を算出し、各和、差
信号および第１の位置と第２の位置間の所定距離から被
測定体の形状を算出する算出手段とを有することを特徴
とする形状計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20593785A JPS6264903A (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | 形状計測方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20593785A JPS6264903A (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | 形状計測方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6264903A true JPS6264903A (ja) | 1987-03-24 |
Family
ID=16515194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20593785A Pending JPS6264903A (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | 形状計測方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6264903A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63236911A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Toshiba Mach Co Ltd | プラスチツクシ−ト成形機におけるバンクプロフアイルの計測方法 |
| JPH0228773A (ja) * | 1988-04-09 | 1990-01-30 | Ntt Technol Transfer Corp | 物体形状測定法 |
| US5798925A (en) * | 1995-05-16 | 1998-08-25 | L-S Electro-Galvanizing Company | Method and apparatus for monitoring a moving strip |
-
1985
- 1985-09-18 JP JP20593785A patent/JPS6264903A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63236911A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Toshiba Mach Co Ltd | プラスチツクシ−ト成形機におけるバンクプロフアイルの計測方法 |
| JPH0228773A (ja) * | 1988-04-09 | 1990-01-30 | Ntt Technol Transfer Corp | 物体形状測定法 |
| US5798925A (en) * | 1995-05-16 | 1998-08-25 | L-S Electro-Galvanizing Company | Method and apparatus for monitoring a moving strip |
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