JPS6265828A - デイスク基板搬送装置 - Google Patents
デイスク基板搬送装置Info
- Publication number
- JPS6265828A JPS6265828A JP60207567A JP20756785A JPS6265828A JP S6265828 A JPS6265828 A JP S6265828A JP 60207567 A JP60207567 A JP 60207567A JP 20756785 A JP20756785 A JP 20756785A JP S6265828 A JPS6265828 A JP S6265828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk substrate
- substrate
- holding member
- disc substrate
- shield plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Auxiliary Methods And Devices For Loading And Unloading (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光ディスク等の高密度に信号を記録するディス
クの製造ｇ置において、ディスク基板を搬送するディス
ク基板搬送装置に関するものである。
クの製造ｇ置において、ディスク基板を搬送するディス
ク基板搬送装置に関するものである。
従来の技術
光ディスクはサブミクロンオーダーの信号をその表面に
記録するものであり、その製造は＃１重にクリーン度が
管理されたクリーンルームの中で行なわれている。又、
近年はビデオディスクやコンパクトディスク等の民生用
用途だけではなく、コンピュータのメモリーとしての光
ディスクの使用が行なわれつつある。それにつれてディ
スク自体に欠陥の少ない高品質が益々要求されている。
記録するものであり、その製造は＃１重にクリーン度が
管理されたクリーンルームの中で行なわれている。又、
近年はビデオディスクやコンパクトディスク等の民生用
用途だけではなく、コンピュータのメモリーとしての光
ディスクの使用が行なわれつつある。それにつれてディ
スク自体に欠陥の少ない高品質が益々要求されている。
従来、光ディスクの製造プロセスはオペレータの手によ
る手動操作が大半であったが、前記したような事情等に
より、よりクリーンな製造プロセスの開発が求められて
おり、人の手によらない自動化プロセスが考えられてい
る。空気中の塵埃を取り除いたクリーンルーム内での作
業においては人間が発塵源になることが報告されている
。従って、工程中のディスク原盤又はディスクとオペレ
ータをできる限り接触させないことが欠陥の少ないディ
スクを製造させるための１つの方策である。又、生産性
の向上のために製造プロセスをロボットにより自動化す
ることが検討されている。
る手動操作が大半であったが、前記したような事情等に
より、よりクリーンな製造プロセスの開発が求められて
おり、人の手によらない自動化プロセスが考えられてい
る。空気中の塵埃を取り除いたクリーンルーム内での作
業においては人間が発塵源になることが報告されている
。従って、工程中のディスク原盤又はディスクとオペレ
ータをできる限り接触させないことが欠陥の少ないディ
スクを製造させるための１つの方策である。又、生産性
の向上のために製造プロセスをロボットにより自動化す
ることが検討されている。
以下、図面を参照しながら上述した従来の自動化された
製造プロセスの中におけるディスク基板の搬送装置につ
いて説明する。ディスクの製造プロセスはその原盤であ
るスタンパ−を作るまでのマスタリングプロセスとスタ
ンパ−によって多数のレプリカを作るデュブリケーショ
ンプロセスの２つに大きく分けることができる。しかし
、その何れのプロセスにおいても１ケ所で複数の処理が
できるのではなく、ディスク原盤又はディスクは１つの
処理が終ると次の工程場所へと移動して行き連続的に順
次処理が行なわれる。第３図はそのディスク原盤又はデ
ィスク（以下ディスク基板と言う。）の従来の搬送装置
を示したものである。
製造プロセスの中におけるディスク基板の搬送装置につ
いて説明する。ディスクの製造プロセスはその原盤であ
るスタンパ−を作るまでのマスタリングプロセスとスタ
ンパ−によって多数のレプリカを作るデュブリケーショ
ンプロセスの２つに大きく分けることができる。しかし
、その何れのプロセスにおいても１ケ所で複数の処理が
できるのではなく、ディスク原盤又はディスクは１つの
処理が終ると次の工程場所へと移動して行き連続的に順
次処理が行なわれる。第３図はそのディスク原盤又はデ
ィスク（以下ディスク基板と言う。）の従来の搬送装置
を示したものである。
図において、１はディスク基板、２ａ、２ｂはディスク
基板１を支持するための爪、３ａ、３ｂは爪２ａ、 ２
ｂが固定されていて図示されない駆動機構により爪２ａ
、２ｂをディスク基板１の径方向に移動させるガイドロ
ッド、４は前記駆動機構を含むディスク基板挟持部材、
５はディスク基板挾持部材４を先端に固定して上下動す
る可動部材、６は可動部材５を上下に動かす駆動機構を
含み且つガイド７に沿って各処理工程間を移動する搬送
部材であり、ガイド７に沿って動く駆動機構もその中に
含まれている。
基板１を支持するための爪、３ａ、３ｂは爪２ａ、 ２
ｂが固定されていて図示されない駆動機構により爪２ａ
、２ｂをディスク基板１の径方向に移動させるガイドロ
ッド、４は前記駆動機構を含むディスク基板挟持部材、
５はディスク基板挾持部材４を先端に固定して上下動す
る可動部材、６は可動部材５を上下に動かす駆動機構を
含み且つガイド７に沿って各処理工程間を移動する搬送
部材であり、ガイド７に沿って動く駆動機構もその中に
含まれている。
以上のように構成されたディスク基板搬送装置の動作に
ついて以下に説明する。先ずある工程での処理が終った
ディスク基板１の上方に搬送部材６がガイド７に沿って
移動してくる。そして搬送部材６の中の駆動機構により
可動部材５及びその先端に取り付けられたディスク基板
挟持部材４が下方に移動する。そしてガイドロッド３ａ
及び３ｂがディスク基板１を爪２ａ及び２ｂで挟持する
ように動く。その後再び可動部材５及びディスク基板挟
持部材４が上方に移動する。そして所定の高さに移動す
ると、次の処理が行なわれるところまで搬送部材６が移
動する。それからは逆の動作でディスク基板１を次のス
テージの上にＩｉＳ！置する。
ついて以下に説明する。先ずある工程での処理が終った
ディスク基板１の上方に搬送部材６がガイド７に沿って
移動してくる。そして搬送部材６の中の駆動機構により
可動部材５及びその先端に取り付けられたディスク基板
挟持部材４が下方に移動する。そしてガイドロッド３ａ
及び３ｂがディスク基板１を爪２ａ及び２ｂで挟持する
ように動く。その後再び可動部材５及びディスク基板挟
持部材４が上方に移動する。そして所定の高さに移動す
ると、次の処理が行なわれるところまで搬送部材６が移
動する。それからは逆の動作でディスク基板１を次のス
テージの上にＩｉＳ！置する。
発明が解決しようとする問題点
上記のような自動搬送装置においては、オペレータがデ
ィスク基板を取り扱うことがないので、オペレータより
生じる塵埃等がディスク基板を汚染すること体ないが、
駆動部分のギヤや摺動部よりゴミや金属粉が生じてそれ
がディスク基板上に付着することが問題となっている。
ィスク基板を取り扱うことがないので、オペレータより
生じる塵埃等がディスク基板を汚染すること体ないが、
駆動部分のギヤや摺動部よりゴミや金属粉が生じてそれ
がディスク基板上に付着することが問題となっている。
ここで言う駆動部分とは搬送部材６内にあってガイド７
に沿って搬送部材６を動かす機４’ｌ或いは同じく搬送
部材６内にあって可動部材５を上下に動かすＶ１＠、及
びディスク基板挾持部材４内にあってガイドロッド３ａ
及び３ｂを水平に動かす機構のことである。
に沿って搬送部材６を動かす機４’ｌ或いは同じく搬送
部材６内にあって可動部材５を上下に動かすＶ１＠、及
びディスク基板挾持部材４内にあってガイドロッド３ａ
及び３ｂを水平に動かす機構のことである。
一般にこのような装置又はクリーンルームでは、上方に
高性能のフィルターを設けて清浄な空気を常に上から下
に向かって流している。従って、ゴミ等の発生の可能性
のある機構部をディスク基板の下方に設けることが有利
とされている。しかしディスク基板の処理の内容によっ
てそのような構成を取れない場合も多くある。又、装置
上方又はクリーンルーム天井に設けられたフィルターも
完全にゴミを取り除いているわけではなく、空気中には
ある程度の塵埃が常に浮遊しており、それが搬送中にデ
ィスク基板表面に付着し、ドロップアウトの原因となっ
ている。
高性能のフィルターを設けて清浄な空気を常に上から下
に向かって流している。従って、ゴミ等の発生の可能性
のある機構部をディスク基板の下方に設けることが有利
とされている。しかしディスク基板の処理の内容によっ
てそのような構成を取れない場合も多くある。又、装置
上方又はクリーンルーム天井に設けられたフィルターも
完全にゴミを取り除いているわけではなく、空気中には
ある程度の塵埃が常に浮遊しており、それが搬送中にデ
ィスク基板表面に付着し、ドロップアウトの原因となっ
ている。
本発明はこのような問題点を解決するもので、たとえ搬
送機構部をディスク基板の上方に設けざるを青ない場合
においても、その駆動部その他からの塵埃をディスク表
面に付着させないようにすことを目的とするものである
。
送機構部をディスク基板の上方に設けざるを青ない場合
においても、その駆動部その他からの塵埃をディスク表
面に付着させないようにすことを目的とするものである
。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、ディスク基板保
持部とこの保持部により支持されたディスク基板の処理
面に近接対向し略その表面を覆うように取り付けられた
遮蔽板とを有する搬送部と、この搬送部を所定の区間移
動させる駆動部と、前記遮蔽板に前記ディスク基板に対
向して設けられた孔より清浄な乾燥気体を吐出する機構
を備えたものである。
持部とこの保持部により支持されたディスク基板の処理
面に近接対向し略その表面を覆うように取り付けられた
遮蔽板とを有する搬送部と、この搬送部を所定の区間移
動させる駆動部と、前記遮蔽板に前記ディスク基板に対
向して設けられた孔より清浄な乾燥気体を吐出する機構
を備えたものである。
作用
この構成により、ディスク基板処理面とそれに近接対向
させた遮蔽板との間に送り込まれた清浄な気体はディス
ク基板の外周から外部に流出するため、搬送駆動部から
の塵埃や外部から浮遊して来た塵埃がディスク基板の表
面に付着することがない。
させた遮蔽板との間に送り込まれた清浄な気体はディス
ク基板の外周から外部に流出するため、搬送駆動部から
の塵埃や外部から浮遊して来た塵埃がディスク基板の表
面に付着することがない。
実施例
以下、本発明の実施例←ついて、図面に基づいて説明す
る。
る。
先ず第１図に示す第１実施例について説明する。
図において、１１はディスク基板で、上面が処理面にな
っている。１２ａ 、 １２ｂはディスク基板１１を支
持する爪、１３ａ 、 １３ｂは爪１２ａ 、 １２ｂ
を固定したガイドロッド、１４は保持部材であり、ロッ
ド１３ａ 、 １３ｂを動かす駆ｖＪｅｌ構が含まれて
いる。１５は保持部材１４を先端に固定した可動部材、
１６は搬送部材であり、可動部材１５を上下に動かす機
構を含んでいる。又、搬送部材１６はガイド１７に沿り
て移動可能であり、その駆ｅ機構は搬送部材１６の中に
含まれても良いし、外部に設けても良い。１８は保持部
材１４に取り付けられてディスク基板１１の処理面に近
接対向し、略その表面を覆う遮蔽板であり、その中央付
近にディスク基板１１処理面に対向して１つ又は複数個
の孔１９が設けられていて、その孔１９よりコイルチュ
ーブ２０を通して外部から送られてきた清浄な乾燥気体
を吹き出している。
っている。１２ａ 、 １２ｂはディスク基板１１を支
持する爪、１３ａ 、 １３ｂは爪１２ａ 、 １２ｂ
を固定したガイドロッド、１４は保持部材であり、ロッ
ド１３ａ 、 １３ｂを動かす駆ｖＪｅｌ構が含まれて
いる。１５は保持部材１４を先端に固定した可動部材、
１６は搬送部材であり、可動部材１５を上下に動かす機
構を含んでいる。又、搬送部材１６はガイド１７に沿り
て移動可能であり、その駆ｅ機構は搬送部材１６の中に
含まれても良いし、外部に設けても良い。１８は保持部
材１４に取り付けられてディスク基板１１の処理面に近
接対向し、略その表面を覆う遮蔽板であり、その中央付
近にディスク基板１１処理面に対向して１つ又は複数個
の孔１９が設けられていて、その孔１９よりコイルチュ
ーブ２０を通して外部から送られてきた清浄な乾燥気体
を吹き出している。
以上のように構成された搬送装置について、その動作を
説明する。ある１促での処理が終るとディスク基板１１
の上方に搬送部材１６が移動して来る。
説明する。ある１促での処理が終るとディスク基板１１
の上方に搬送部材１６が移動して来る。
そのとき保持部材１４は上の位置にあり、爪１２ａ。
１２ｂは開いた状態にある。保持部材１４が下降し、爪
１２ａ 、 １２ｂの受部がディスク基板１１の下面よ
り下になったところで停止する。遮蔽板１８の孔１９か
らは清浄な気体が既に流出されている。次にロッド１３
ａ 、 １３ｂの動きによって爪１２ａ 、 １２ｂが
閉じてディスク基板１１が挟持される。その後、保持部
材１４は上昇し、定位置で停止する。そして搬送部材１
６がガイド１７に沿って動き始め、次の工程のところま
で移動する。それからは上記の動作と逆の動作によりデ
ィスク基板１１を処理の行なわれるステージの上に載置
する。この動作が一必要な工程を終るまで繰り返される
。
１２ａ 、 １２ｂの受部がディスク基板１１の下面よ
り下になったところで停止する。遮蔽板１８の孔１９か
らは清浄な気体が既に流出されている。次にロッド１３
ａ 、 １３ｂの動きによって爪１２ａ 、 １２ｂが
閉じてディスク基板１１が挟持される。その後、保持部
材１４は上昇し、定位置で停止する。そして搬送部材１
６がガイド１７に沿って動き始め、次の工程のところま
で移動する。それからは上記の動作と逆の動作によりデ
ィスク基板１１を処理の行なわれるステージの上に載置
する。この動作が一必要な工程を終るまで繰り返される
。
以上のように本実施例によれば、ディスク基板１１の処
理面に近接対向して保持された遮蔽板１８を設け、この
遮蔽板１８のディスク基板対向面に設けられた孔１９よ
り清浄な乾燥気体を流出し、ディスク基板１１との間に
静圧気体軸受を形成し気体を充満させているので、搬送
駆動部から発生するゴミや周囲空気中の浮遊塵埃がディ
スク基板１１の処理面に付着することがない。
理面に近接対向して保持された遮蔽板１８を設け、この
遮蔽板１８のディスク基板対向面に設けられた孔１９よ
り清浄な乾燥気体を流出し、ディスク基板１１との間に
静圧気体軸受を形成し気体を充満させているので、搬送
駆動部から発生するゴミや周囲空気中の浮遊塵埃がディ
スク基板１１の処理面に付着することがない。
ところで第１図に示す実施例ではディスク基板１１を爪
１２ａ 、 １２ｂによって挟持して持ち上げて搬送す
るメカニズムについて説明したが、本発明はそれに限ら
れるものではない。
１２ａ 、 １２ｂによって挟持して持ち上げて搬送す
るメカニズムについて説明したが、本発明はそれに限ら
れるものではない。
次に第２図に示す第２実施例について説明する。
第２図において、２１はディスク基板、２２は搬送部で
あり、ディスク基板２１を載せるステージ２３及びディ
スク基板２１の処理面に近接対向する遮蔽板２４を取り
付けたアーム２５を有している。アーム２５は回動軸２
６の周りに図示されない機構により回ｅすることができ
る。２７は送りガイドであり、これに沿って搬送部２２
は紙面に垂直な向きに図示されない駆ＩＪＪ機構により
移動する。この実施例においてもディスク基板２１に近
接対向して保持された遮蔽板２４の中央付近から清浄な
気体が流出されていて、ディスク基板２１との間に気体
軸受を形成している。
あり、ディスク基板２１を載せるステージ２３及びディ
スク基板２１の処理面に近接対向する遮蔽板２４を取り
付けたアーム２５を有している。アーム２５は回動軸２
６の周りに図示されない機構により回ｅすることができ
る。２７は送りガイドであり、これに沿って搬送部２２
は紙面に垂直な向きに図示されない駆ＩＪＪ機構により
移動する。この実施例においてもディスク基板２１に近
接対向して保持された遮蔽板２４の中央付近から清浄な
気体が流出されていて、ディスク基板２１との間に気体
軸受を形成している。
そのために清浄な気体が常にディスク基板２１と遮蔽板
２４の間から外に向、りて流出し、外部からの塵埃の進
入を防いでいる。又、形成された静圧気体軸受によりデ
ィスク基板２１の表面には若干の下向きの圧力が発生し
、ディスク基板２１をステージ２３に押し付けている。
２４の間から外に向、りて流出し、外部からの塵埃の進
入を防いでいる。又、形成された静圧気体軸受によりデ
ィスク基板２１の表面には若干の下向きの圧力が発生し
、ディスク基板２１をステージ２３に押し付けている。
それにより搬送中のディスク基板２１の振動やガタつき
をなくしている。この場合も遮蔽板２４が軸受形成板の
作用をしている。
をなくしている。この場合も遮蔽板２４が軸受形成板の
作用をしている。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ディスク基板処理面に近
接対向する遮蔽板を設け、この遮蔽板からディスク基板
との間に清浄な乾燥空気を送り込んでいるので、搬送駆
動部や周囲空気中・かうのゴミや塵埃がディスク基板上
に付着することがない。
接対向する遮蔽板を設け、この遮蔽板からディスク基板
との間に清浄な乾燥空気を送り込んでいるので、搬送駆
動部や周囲空気中・かうのゴミや塵埃がディスク基板上
に付着することがない。
又前工程中に付着したゴミ等は遮蔽板から流出される気
体によって吹き飛ばされる。又、遮蔽板の孔より吐出さ
れた乾燥気体の圧力によって、搬送移動中のディスク基
板は保持部に押し付けられるので安定し、位置ずれ等が
生じない。
体によって吹き飛ばされる。又、遮蔽板の孔より吐出さ
れた乾燥気体の圧力によって、搬送移動中のディスク基
板は保持部に押し付けられるので安定し、位置ずれ等が
生じない。
第１図は本発明の第１実施例におけるディスク基板搬送
装置の正面図、第２図は本発明の第２実施例におけるデ
ィスク基板搬送装置の正面図、第３図は従来のディスク
基板搬送装置の正面図である。 １１・・・ディスク基板、１２ａ 、 １２ｂ・・・爪
、１４・・・保持部材、１５・・・可動部材、１６・・
・搬送部材、１７・・・ガイド、１８・・・遮蔽板、１
９・・・孔、２１・・・ディスク基板、２２・・・搬送
部、２３・・・ステージ、２４・・・遮蔽板、２５・・
・アーム、２７・・・送りガイド 代理人 森 本 義 弘 第１図 ／／ −−テλスフ蘂味又 ／７ −一 力Ａド ｔｌ −一嘉′ｆＬ辰 ｔ’／−ｙム 第２図 ２１−一−テ）スフ基）反、 ２２−ｍ送部 ２３−−− ステージ゛ 、ｓ−ｎ１風 ２、！ｉ”−７−” ２７ −４Ｊ力′°４ド 第３図
装置の正面図、第２図は本発明の第２実施例におけるデ
ィスク基板搬送装置の正面図、第３図は従来のディスク
基板搬送装置の正面図である。 １１・・・ディスク基板、１２ａ 、 １２ｂ・・・爪
、１４・・・保持部材、１５・・・可動部材、１６・・
・搬送部材、１７・・・ガイド、１８・・・遮蔽板、１
９・・・孔、２１・・・ディスク基板、２２・・・搬送
部、２３・・・ステージ、２４・・・遮蔽板、２５・・
・アーム、２７・・・送りガイド 代理人 森 本 義 弘 第１図 ／／ −−テλスフ蘂味又 ／７ −一 力Ａド ｔｌ −一嘉′ｆＬ辰 ｔ’／−ｙム 第２図 ２１−一−テ）スフ基）反、 ２２−ｍ送部 ２３−−− ステージ゛ 、ｓ−ｎ１風 ２、！ｉ”−７−” ２７ −４Ｊ力′°４ド 第３図
Claims (1)
- １、ディスク基板保持部とこの保持部により支持された
ディスク基板の処理面に近接対向し略その表面を覆うよ
うに取り付けられた遮蔽板とを有する搬送部と、この搬
送部を所定の区間移動させる駆動部と、前記遮蔽板に前
記ディスク基板に対向して設けられた孔より清浄な乾燥
気体を吐出する機構を備えたディスク基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207567A JPH0739289B2 (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | デイスク基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207567A JPH0739289B2 (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | デイスク基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265828A true JPS6265828A (ja) | 1987-03-25 |
| JPH0739289B2 JPH0739289B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=16541884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60207567A Expired - Lifetime JPH0739289B2 (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | デイスク基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0739289B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100889009B1 (ko) | 2007-03-06 | 2009-03-19 | 장대환 | 누적공차 최소화 및 다기종 센터링기능이 구비되는 이송및 삽입 적재장치 및 방법 |
| CN111101108A (zh) * | 2018-10-26 | 2020-05-05 | 东泰高科装备科技有限公司 | 基片固定结构、夹具及夹持系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5022788A (ja) * | 1973-07-02 | 1975-03-11 | ||
| JPS5994840A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
-
1985
- 1985-09-18 JP JP60207567A patent/JPH0739289B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5022788A (ja) * | 1973-07-02 | 1975-03-11 | ||
| JPS5994840A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100889009B1 (ko) | 2007-03-06 | 2009-03-19 | 장대환 | 누적공차 최소화 및 다기종 센터링기능이 구비되는 이송및 삽입 적재장치 및 방법 |
| CN111101108A (zh) * | 2018-10-26 | 2020-05-05 | 东泰高科装备科技有限公司 | 基片固定结构、夹具及夹持系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0739289B2 (ja) | 1995-05-01 |
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