JPH0333941Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はビデオデイスク、コンパクトデイスク
又はデジタルメモリー用の光デイスク等の高密度
記録媒体の原盤作製装置に関するものである。

従来例の構成とその問題点 高密度記録原盤を作る工程は一般にマスタリン
グと呼ばれているが、ガラス原盤の洗浄、感光剤
の塗布、ベーキング、ガラス原盤の傷検査、レー
ザ等による信号等の記録、現像等の工程が含まれ
ている。上記のマスタリング工程において、記録
原盤の表面上に空気中のごみやほこり等が付着す
ると、それが最終デイスクの状態で信号のドロツ
プアウトやエラーの原因となり、デイスクの性能
を著しく低下させる。そのために従来よりマスタ
リング工程はクリーン度の高いクリーンルーム内
で作業が行なわれて来た。しかし、ガラス原盤を
人が取扱うために、オペレータから発生する塵埃
やハンドリングによる原盤の汚れ等が生じてい
た。そこでマスタリング工程でオペレータによる
ガラス原盤の汚染又はクリーンルーム内のほこり
による汚れをなくすために、ガラス原盤をカート
リツヂ内に収納し、オペレータはカートリツヂと
して原盤を取扱うことにより直接ガラス原盤にさ
わらないシステムが考えられている。このシステ
ムではクリーン度を高くした装置内でのみガラス
原盤はカートリツヂの外に出るので、空気中のご
みやほこりによる汚染も避けられる。又、装置の
ある部屋全体のクリーン度を従来のように高くす
る必要がないので、設備のローコスト化が図れる
等の利点も有している。ところでこのようなシス
テムにおいて、カートリツヂを装置の外から搬入
させるとき、カートリツヂ上に空気中のごみやほ
こりが付着していればそのまま搬入され、又搬入
口からごみやほこりが装置内に侵入するという問
題点が残されていた。

考案の目的 本考案は上記従来の問題を解決するもので、カ
ートリツヂを装置の外から搬入させるときに、カ
ートリツヂ上に付着しているごみやほこりを除去
し、又搬入口から装置内へのごみやほこりの侵入
を防止することを目的とする。

考案の構成 上記目的を達成するため、本考案の原盤作製装
置は、記録原盤を作製する装置において、前記装
置上方に設けられた清浄空気発生部と、前記装置
の底部より前記清浄空気が流出し実質的に装置内
に陽圧となるように装置上面及び側面を略密封状
態に覆つたカバーと、このカバーの一部に開閉自
在に設けられた搬入口と、この搬入口より前記装
置外に突出可能で内部に記録原盤を収納したカー
トリツヂを略水平状態に載置し得る搬送台とを有
したものである。

実施例の説明 以下、本考案の一実施例について、図面に基づ
いて説明する。

図においては１は装置上方に設けた清浄空気発
生部であり、これは具体的にはエアーフイルター
であつて、エアーダクト２によつて送られてくる
空気のクリーンにして装置内下方に供給するもの
である。第１図では既にカートリツヂ３が装置内
に収納されているとことろを示している。清浄空
気発生部１より出た空気流は所謂ダウンフローの
流れとなるように、装置上面及び装置側面がカバ
ー４によつて略密封状態に保たれて、装置底部５
のみより空気が流出するようになつている。この
ダウンフローの流れによつて装置内に入つたカー
トリツヂ３及びその中のガラス原盤には常に清浄
な空気が上方より吹き付けられることになる。装
置側面から空気が流出すると下方に向かう流れに
乱れや渦等が生じて、ごみやほこりを巻き上げる
ことになるので好ましくない。第２図は装置内に
カートリツヂ３を挿入するところを示している。
この第２図において前面のカバー４ａの一部を構
成する蓋体４ｂが開いており、その部分が搬入口
６になる。装置がカートリツヂの装着開始状態に
セツトされると、蓋体４ｂが開いて搬送台７が装
置の外に突出する。そしてオペレータ又はロボツ
ト等によつてカートリツヂ３が搬送台７の上に略
水平状態にセツトされる。一般に装置内はクリー
ン度が100以下の清浄な雰囲気に保たれるが、装
置外はクリーン度が10000〜100000又はそれ以上
の雰囲気であるので、装置外に置かれていたカー
トリツヂの蓋の上等にはごみやほこりが積つてい
ると考えられる。本考案の装置ではカートリツヂ
３が搬送台７の上にセツトされてガイド８によつ
て装置内に移動し収納されるまでに、装置中の清
浄な空気が搬入口６より流出し、その際にカート
リツヂ３の上に積つたごみやほこりを装置外に吹
き飛ばす。詳しくは清浄空気発生部１より出た空
気が搬入口６から流出しやすいように、前面のカ
バー４ａは前方に傾斜している。従つてカバー４
ａに沿つて下方に向かつた空気はセツトされたカ
ートリツヂ３の上に当り、そのまま搬入口６から
カートリツヂ３の上のごみやほこりと共に流出す
る。カートリツヂ３がガイド８に沿つて装置内に
セツトされると、蓋体４ｂが閉じて第１図に示す
状態となる。カートリツヂ３の上のごみやほこり
は既に吹き飛ばされており、上方がダウンフロー
の清浄な空気が吹き付けられている。この状態で
始めてカートリツヂ３の蓋の開放が可能となる。

次にカートリツヂ３について詳細に説明する。
カートリツヂ３はガラス原盤９を載置する本体１
０と、本体１０にヒンジによつて開閉自在に取り
付けられた蓋１１とから成り立つている。第３図
は搬送台７の上に載置されたカートリツヂ３を示
している。１２はカートリツヂ３のヒンジ部分で
ある。カートリツヂ３は矢印Ａの方向から搬送台
７の上に載置されて、搬送台７のストツパー７
ａ，７ｂに当接するところで位置決めされて止ま
る。この状態を第２図にも示している。次に搬送
台７がガイド８に沿つて矢印Ａ方向に動き、装置
内の所定の位置で停止する。この状態を第１図に
示している。前記カートリツヂ３の蓋１１及び本
体１０の矢印Ａ方向の側面には夫々凹部１３，１
４が設けられている。これは装置内の所定の位置
にカートリツヂ３が収納されたときにカートリツ
ヂ３の蓋１１を開くときに作用するものであり、
前記本体１０の凹部１４にはピン１５が嵌合す
る。このピン１５は搬送台７に固定することがで
きる。その場合、カートリツヂ３が搬送台７にセ
ツトされたときにピン１５と凹部１４が嵌合する
ことになる。又、搬送台７が装置内の所定の位置
にきたときにピン１５と凹部１４が嵌合するよう
にしても良い。ピン１５は何れの場合も固定され
ていて、蓋１１の開放動作時に本体１０が動かな
いように押さえ付ける役目を果す。搬送台７が装
置内の所定の位置に来ると前記凹部１３にピン１
６が嵌合するようになつている。これらの動作は
何れも特別な動きの機構を必要とせず、搬送台７
が矢印Ａ方向に動いて、装置内の所定の位置にセ
ツトされる動作の中で行なわれる。前記ピン１６
はレバー１７の先端に固定され、レバー１７は図
外の軸受に支持された支点１８の周りに回動自在
に取り付けられている。つまりピン１６は蓋１１
の開閉方向に移動可能になつている。前記レバー
１７には中央部に軸１９を介してチヤンネル部材
２０が取り付けられており、このチヤンネル部材
２０は軸１９の周りにレバー１７に対して回動自
在になつている。チヤンネル部材２０はエアーシ
リンダ２１のアクチユエータロツド２２と一体に
動くようにアクチユエータロツド２２の上端に固
定されている。又前記エアーシリンダ２１は下端
が支点２３の周りに回動自在に取り付けられてい
る。前記カートリツヂ３が装置内の所定の位置で
停止し、前記ピン１５，１６が凹部１３，１４に
嵌合した状態になると、エアーシリンダ２１のア
クチユエータロツド２２が上方に動き、レバー１
７の回転に伴つてピン１６が蓋１１を開き始め
る。その状態を第４図に示す。このときピン１５
はカートリツヂ本体１０の凹部１４に嵌合してお
り、本体１０の動きを押さえている。本体１０に
載置されたガラス原盤９の一部が第４図に見られ
る。蓋１１が更に開くと、図外のガラス原盤搬送
機構によつてガラス原盤９がカートリツヂ３から
取り出され各マスタリング装置夫々の工程作業台
に載せられる。これらは例えばレジストを塗布す
るためのターンテーブルのようなものである。そ
の作業が終了すると、前記とは逆の動作でガラス
原盤９がカートリツヂ３内に再び収納され、装置
の外に取り出される。以上のようにカートリツヂ
３を載せた搬送台７の動き及びエアーシリンダ２
１の動きのみによつてカートリツヂ３の位置内へ
の着脱及び、蓋１１の開閉の動作が行なわれる。
カートリツヂ３が正しく所定の位置にセツトされ
ないと、ピン１６と凹部１３の嵌合が行なわれ
ず。カートリツヂ３の蓋１１が開かれない。これ
はカートリツヂ３からガラス原盤９を取り出すガ
ラス原盤搬送機構の動作を保証するための安全対
策になつている。つまりカートリツヂ３が所定の
正しい位置にセツトされていないと、ガラス原盤
９の取り出し動作が不完全となり、事故を起こす
可能性が大きくなるからである。ガラス原盤９が
カートリツヂ３の外に取り出されている間は、常
に上方から清浄な空気がガラス原盤９上に流れて
おり、ごみやほこりの付着を阻止している。又、
カートリツヂ３と共にごみやほこりが装置内に侵
入してもダウンフローの流れによつて装置底部５
より装置外に流出するのでガラス原盤９の上に付
着することがない。装置前面のカバー４ａの蓋体
４ｂは特別な駆動機構を用いることなく、搬送台
７の一部で押されることによつて開かれるように
することができる。このとき蓋体４ｂは常に閉じ
る方向にばねで付勢されている必要がある。

考案の効果 以上のように本考案によれば次の効果を得るこ
とができる。

カートリツヂが装置に装着される際に、装置
内の陽圧の清浄空気がカートリツヂ上のごみや
ほこりを装置外へ吹き飛ばすので、装置内への
ごみやほこりの侵入が軽減される。

装置内でカートリツヂの蓋が開き中のガラス
原盤が露呈するときは装置上方より清浄空気が
ダウンフローの状態で流れており、ガラス原盤
上へのごみやほこりの付着が阻止される。

仮に装置内にごみやほこりが侵入しても、ご
みやほこりはタウンフローの流れのため常に装
置底部に流されて装置外へと出て行き、装置内
に残ることがない。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図はカー
トリツヂが挿入された状態を示す縦断面図、第２
図はカートリツヂが挿入される状態を示す縦断面
図、第３図は要部拡大斜視図、第４図は動作説明
のための要部拡大斜視図である。 １……清浄空気発生部、２……エアーダクト、
３……カートリツヂ、４……カバー、４ａ……前
面カバー、４ｂ……蓋体、５……装置底部、６…
…搬入口、７……搬送台、７ａ，７ｂ……ストツ
パー、８……ガイド、９……ガラス原盤。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 記録原盤を作製する装置において、前記装置上
   方に設けられた清浄空気発生部と、前記装置の底
   部より前記清浄空気が流出し実質的に装置内に陽
   圧となるように装置上面及び側面を略密封状態に
   覆つたカバーと、このカバーの一部に開閉自在に
   設けられた搬入口と、この搬入口より前記装置外
   に突出可能で内部に記録原盤を収納したカートリ
   ツヂを略水平状態に載置し得る搬送台とを有した
   原盤作製装置。