JPH0333940Y2

JPH0333940Y2 -

Info

Publication number: JPH0333940Y2
Application number: JP3866384U
Authority: JP
Priority date: 1984-03-16
Filing date: 1984-03-16
Publication date: 1991-07-18
Also published as: JPS60150631U

Description

【考案の詳細な説明】産業上の利用分野本考案はビデオデイスク、コンパクトデイスク
又はデジタルメモリー用の光デイスク等の高密度
記録媒体の原盤作製装置に関するものである。

従来例の構成とその問題点高密度記録原盤を作る工程は一般にマスタリン
グと呼ばれているが、ガラス原盤の洗浄、感光剤
の塗布、ベーキング、ガラス原盤の傷検査、レー
ザ等による信号等の記録、現像等の工程が含まれ
ている。上記のマスタリング工程において、記録
原盤の表面上に空気中のごみやほこり等が付着す
ると、それが最終デイスクの状態で信号のドロツ
プアウトやエラーの原因となり、デイスクの性能
を著しく低下させる。そのために従来よりマスタ
リング工程はクリーン度の高いクリーンルーム内
で作業が行なわれて来た。しかし、ガラス原盤を
人が取扱うために、オペレータから発生する塵埃
やハンドリングによる原盤の汚れ等が生じてい
た。そこでマスタリング工程でオペレータによる
ガラス原盤の汚染又はクリーンルーム内のほこり
による汚れをなくすために、ガラス原盤をカート
リツヂ内に収納し、オペレータはカートリツヂと
して原盤を取扱うことにより直接ガラス原盤にさ
わらないシステムが考えられている。このシステ
ムではクリーン度を高くした装置内でのみガラス
原盤はカートリツヂの外に出るので、空気中のほ
こりによる汚染も避けられる。又、装置のある部
屋全体のクリーン度を従来のように高くする必要
がないので、設備のローコスト化が図れる等の利
点も有している。

考案の目的本考案は上記の点に鑑み為されたもので、ガラ
ス原盤をカートリツヂ内に収納したままでマスタ
リングの各機器に着脱できるシステムにおいて、
エラーレートの低い記録原盤を作製することを目
的とする。

考案の構成上記目的を達成するため、本考案の原盤作製装
置は、記録原盤を作製する装置において、前記記
録原盤を収納し本体とこの本体にヒンジによつて
開閉自在に取り付けられた蓋とからなるカートリ
ツヂと、前記本体と前記蓋の側面に設けられた凹
部と、前記カートリツヂを装置外から装置内に搬
送する搬送台又は前記装置内に設けられて前記本
体側面の凹部と嵌合するピンと、前記カートリツ
ヂが前記装置内の所定の位置に収納されたときに
前記蓋側面の凹部に嵌合し前記蓋の開閉方向に移
動可能に前記装置内に設けられたピンとを有した
ものである。

実施例の説明以下、本考案の一実施例について、図面に基づ
いて説明する。

図においては１は装置上方に設けた洗浄空気発
生部であり、これは具体的にはエアーフイルター
であつて、エアーダクト２によつて送られてくる
空気をクリーンにして装置内下方に供給するもの
である。第１図では既にカートリツヂ３が装置内
に収納されているとことろを示している。洗浄空
気発生部１より出た空気流は所謂ダウンフローの
流れとなるように、装置上面及び装置側面がカバ
ー４によつて略密封状態に保たれて、装置底部５
のみより空気が流出するようになつている。この
ダウンフローの流れによつて装置内に入つたカー
トリツヂ３及びその中のガラス原盤には常に清浄
な空気が上方より吹き付けられることになる。装
置側面から空気が流出すると下方に向かう流れに
乱れや渦等が生じて、ほこりを巻き上げることに
なるので好ましくない。第２図は装置内にカート
リツヂ３を挿入するところを示している。この第
２図において前面のカバー４ａの一部を構成する
蓋体４ｂが開いており、その部分が搬入口６にな
る。装置がカートリツヂの装着開始状態にセツト
されると、蓋体４ｂが開いて搬送台７が装置の外
に突出する。そしてオペレータ又はロボツト等に
よつてカートリツヂ３が搬送台７の上に略水平状
態にセツトされる。一般に装置内はクリーン度が
100以下の清浄な雰囲気に保たれているが、装置
外はクリーン度が10000〜100000又はそれ以上の
雰囲気であるので、装置外に置かれていたカート
リツヂの蓋の上等にはほこりが積つていると考え
られる。本考案の装置ではカートリツヂ３が搬送
台７の上にセツトされてガイド８によつて装置内
に移動し収納されるまでに、装置中の清浄な空気
が搬入口６より流出し、その際にカートリツヂ３
の上に積つたほこりを装置外に吹き飛ばす。詳し
くは清浄空気発生部１より出た空気が搬入口６か
ら流出しやすいように、前面のカバー４ａは前方
に傾斜している。従つてカバー４ａに沿つて下方
に向かつた空気はセツトされたカートリツヂ３の
上に当り、そのまま搬入口６からカートリツヂ３
の上のほこりと共に流出する。カートリツヂ３が
ガイド８に沿つて装置内にセツトされると、蓋体
４ｂが閉じて第１図に示す状態となる。カートリ
ツヂ３の上のほこりは既に吹き飛ばされており、
上方からダウンフローの清浄な空気が吹き付けら
れている。この状態で始めてカートリツヂ３の蓋
の開放が可能となる。

次にカートリツヂ３について詳細に説明する。
カートリツヂ３はガラス原盤９を載置する本体１
０と、本体１０にヒンジによつて開閉自在に取り
付けられた蓋１１とから成り立つている。第３図
は搬送台７の上に載置されたカートリツヂ３を示
している。１２はカートリツヂ３のヒンジ部分で
ある。カートリツヂ３は矢印Ａの方向から搬送台
７の上に載置されて、搬送台７のストツパー７
ａ，７ｂに当接するところで位置決めされて止ま
る。この状態を第２図にも示している。次に搬送
台７がガイド８に沿つて矢印Ａ方向に動き、装置
内の所定の位置で停止する。この状態を第１図に
示している。前記カートリツヂ３の蓋１１及び本
体１０の矢印Ａ方向の側面には夫々凹部１３，１
４が設けられている。これは装置内の所定の位置
にカートリツヂ３が収納されたときにカートリツ
ヂ３の蓋１１を開くときに作用するものであり、
前記本体１０の凹部１４にはピン１５が嵌合す
る。このピン１５は搬送台７に固定することがで
きる。その場合、カートリツヂ３が搬送台７にセ
ツトされたときにピン１５と凹部１４が嵌合する
ことになる。又、搬送台７が装置内の所定の位置
にきたときにピン１５と凹部１４が嵌合するよう
にしても良い。ピン１５は何れの場合も固定され
ていて、蓋１１の開放動作時に本体１０が動かな
いように押さえ付ける役目を果す。搬送台７が装
置内の所定の位置に来ると前記凹部１３にピン１
６が嵌合するようになつている。これらの動作は
何れも特別な動きの機構を必要とせず、搬送台７
が矢印Ａ方向に動いて、装置内の所定の位置にセ
ツトされる動作の中で行なわれる。前記ピン１６
はレバー１７の先端に固定され、レバー１７は図
外の軸受に支持された支点１８の周りに回動自在
に取り付けられている。つまりピン１６は蓋１１
の開閉方向に移動可能になつている。前記レバー
１７には中央部に軸１９を介してチヤンネル部材
２０が取り付けられており、このチヤンネル部材
２０は軸１９の周りにレバー１７に対して回動自
在になつている。チヤンネル部材２０はエアーシ
リンダ２１のアクチユエータロツド２２と一体に
動くようにアクチユエータロツド２２の上端に固
定されている。又前記エアーシリンダ２１は下端
が支点２３の周りに回動自在に取り付けられてい
る。前記カートリツヂ３が装置内に所定の位置で
停止し、前記ピン１５，１６が凹部１３，１４に
嵌合した状態になると、エアーシリンダ２１のア
クチユエータロツド２２が上方に動き、レバー１
７の回転に伴つてピン１６が蓋１１を開き始め
る。その状態を第４図に示す。このときピン１５
はカートリツヂ本体１０の凹部１４に嵌合してお
り、本体１０の動きを押さえている。本体１０に
載置されたガラス原盤９の一部が第４図に見られ
る。蓋１１が更に開くと、図外のガラス原盤搬送
機構によつてガラス原盤９がカートリツヂ３から
取り出され各マスタリンダ装置夫々の工程作業台
に載せられる。それらは例えばレジストを塗布す
るためのターンテーブルのようなものである。そ
の作業が終了すると、前記とは逆の動作でガラス
原盤９がカートリツヂ３内に再び収納され、装置
の外に取り出される。以上のようにカートリツヂ
３を載せた搬送台７の動き及びエアーシリンダ２
１の動きのみによつてカートリツヂ３の装置内へ
の着脱及び、蓋１１の開閉の動作が行なわれる。
カートリツヂ３が正しく所定の位置にセツトされ
ないと、ピン１６と凹部１３の嵌合が行なわれ
ず、カートリツヂ３の蓋１１が開かれない。これ
はカートリツヂ３からガラス原盤９を取り出すガ
ラス原盤搬送機構の動作を保証するための安全対
策になつている。つまりカートリツヂ３が所定の
正しい位置にセツトされていないと、ガラス原盤
９の取り出し動作が不完全となり、事故を起こす
可能性が大きくなるからである。ガラス原盤９が
カートリツヂ３の外に取り出されている間は、常
に上方から清浄な空気がガラス原盤９上に流れて
おり、ほこりの付着を阻止している。又、カート
リツヂ３と共に装置内に侵入したほこりはダウン
フローの流れによつて装置底部５より装置外に流
出するのでガラス原盤９の上に付着することがな
い。装置前面のカバー４ａの蓋体４ｂは特別な駆
動機構を用いることなく、搬送台７の一部で押さ
れることによつて開かれるようにすることができ
る。このとき蓋体４ｂは常に閉じる方向にばねで
付勢されている必要がある。

考案の効果以上のように本考案によれば次の効果を得るこ
とができる。

カートリツヂの装置内への装着動作によつて
カートリツヂ蓋開閉時に作用するピンがカート
リツヂの本体及び蓋の凹部に嵌合される。その
ため、簡単な構成及び動作によつてカートリツ
ヂの装着及び蓋の開閉が行なわれる。

カートリツヂが装置内の正規の位置にセツト
されない限り蓋が開かれない。従つてカートリ
ツヂ内のガラス原盤とガラス原盤搬送機構が正
しい位置関係にないと蓋が開かず、ガラス原盤
の取り損ない等の事故防止を図ることができ
る。

カートリツヂが装置内に完全に収納されるま
で蓋が開かないので防塵効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図はカー
トリツヂが挿入された状態を示す縦断面図、第２
図はカートリツヂが挿入される状態を示す縦断面
図、第３図は要部拡大斜視図、第４図は動作説明
のための要部拡大斜視図である。１……清浄空気発生部、２……エアーダクト、
３……カートリツヂ、４……カバー、４ａ……前
面カバー、４ｂ……蓋体、５……装置底部、６…
…搬入口、７……搬送台、７ａ，７ｂ……ストツ
パー、８……ガイド、９……ガラス原盤、１０…
…本体、１１……蓋、１２……ヒンジ部分、１
３，１４……凹部、１５，１６……ピン、１７…
…レバー、１８……支点、１９……軸、２１……
エアーシリンダ、２２……アクチユエータロツ
ド。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

記録原盤を作製する装置において、前記記録原
盤を収納した本体とこの本体にヒンジによつて開
閉自在に取り付けられた蓋とからなるカートリツ
ヂと、前記本体と前記蓋の側面に設けられた凹部
と、前記カートリツヂを装置外から装置内に搬送
する搬送台又は前記装置内に設けられて前記本体
側面の凹部と嵌合するピンと、前記カートリツヂ
が前記装置内の所定の位置に収納されたときに前
記蓋側面の凹部に嵌合し前記蓋の開閉方向に移動
可能に前記装置内に設けられたピンとを有した原
盤作製装置。