JPS6268005A - リニアモ−タ−搬送装置 - Google Patents
リニアモ−タ−搬送装置Info
- Publication number
- JPS6268005A JPS6268005A JP60207645A JP20764585A JPS6268005A JP S6268005 A JPS6268005 A JP S6268005A JP 60207645 A JP60207645 A JP 60207645A JP 20764585 A JP20764585 A JP 20764585A JP S6268005 A JPS6268005 A JP S6268005A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- running rail
- dust
- linear motor
- running
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、クリーンルームのような無塵環境で用いる
ＩＪ ＝アモーター搬送装置に関するものでおる。
ＩＪ ＝アモーター搬送装置に関するものでおる。
従来、上記のようなリニアモーター搬送装置は、半導体
製品の製造工場でウェハカセットを搬送する場合などに
用いられている。このような従来例のリニアモーター搬
送装置を第３図、第４図によって説明する。
製品の製造工場でウェハカセットを搬送する場合などに
用いられている。このような従来例のリニアモーター搬
送装置を第３図、第４図によって説明する。
第３図、第４図において、１は両端部にステーションＩ
ｍ、１ｂが設けられた走行レール、２は走行レール１の
ステーション１ ａ 、 Ｉ ｂ間ヲウエハカセット４
を積載して走行するキャリヤー、３＆。
ｍ、１ｂが設けられた走行レール、２は走行レール１の
ステーション１ ａ 、 Ｉ ｂ間ヲウエハカセット４
を積載して走行するキャリヤー、３＆。
３ｂはステーション１ａ、Ｉｂ外のこれらと近接する位
置に配設したロボット、５は走行レール１を床面上に固
定する支柱、６は走行レール１内に設ケられたステータ
ーコイル、７はステーターコイル６と対向してキャリヤ
ー２の底部に固定されたりアンクションプレートすなわ
ち２次導体である。−１７’ｃ８は走行レール１内に形
成したエア通路であシ、エア通路８には走行レール１上
部に開口した噴出口８ａが設けられ、エア通路８０走行
レール１下端に位置する給気口８ｂがエア配管９と接続
され、この配管９はエア供給装置１０に接続されている
。なお、エア供給装置１０には、高性能フィルター、送
気ポンプおよび圧力、液量調整装置（いずれも図示して
ない）が組込まれている。
置に配設したロボット、５は走行レール１を床面上に固
定する支柱、６は走行レール１内に設ケられたステータ
ーコイル、７はステーターコイル６と対向してキャリヤ
ー２の底部に固定されたりアンクションプレートすなわ
ち２次導体である。−１７’ｃ８は走行レール１内に形
成したエア通路であシ、エア通路８には走行レール１上
部に開口した噴出口８ａが設けられ、エア通路８０走行
レール１下端に位置する給気口８ｂがエア配管９と接続
され、この配管９はエア供給装置１０に接続されている
。なお、エア供給装置１０には、高性能フィルター、送
気ポンプおよび圧力、液量調整装置（いずれも図示して
ない）が組込まれている。
以上のような従来例のリニアモーター搬送装置は、走行
レール１に設けたステーターコイル６とキャリヤー２に
設けた２次コイル７とでリニアモーターが構成され、こ
のモーターの駆動によってキャリヤー２が走行レール１
の長手方向に沿って走行すると共に、エア供給装置１０
からクリーンエアがエア配管９を経てエア通路８に供給
され、エア通路８の噴気口８ａからクリーンエアが噴出
することで、キャリヤー２を走行レール１と僅かな隙間
を保って浮上した状態とする。また、走行レール１の両
端部で、キャリヤー２は停止すると共に下降し、ロボツ
）３ａ、３ｂによってウェハカセット４をハンドリング
してキャリヤー２に対し積み降ろしする。
レール１に設けたステーターコイル６とキャリヤー２に
設けた２次コイル７とでリニアモーターが構成され、こ
のモーターの駆動によってキャリヤー２が走行レール１
の長手方向に沿って走行すると共に、エア供給装置１０
からクリーンエアがエア配管９を経てエア通路８に供給
され、エア通路８の噴気口８ａからクリーンエアが噴出
することで、キャリヤー２を走行レール１と僅かな隙間
を保って浮上した状態とする。また、走行レール１の両
端部で、キャリヤー２は停止すると共に下降し、ロボツ
）３ａ、３ｂによってウェハカセット４をハンドリング
してキャリヤー２に対し積み降ろしする。
このように、従来例のリニアモーター搬送装置は、クリ
ーンルーム内では発塵防止のために、キャリヤー２を空
気浮上式にして使用している。
ーンルーム内では発塵防止のために、キャリヤー２を空
気浮上式にして使用している。
上述した従来例のりニヤモーター搬送装置では、キャリ
ヤーを浮上させるために、クリーンエアは圧力および流
量をシビアに制御して供給する必要があシ、これを誤る
と走行中のキャリヤーと走行レールとが接触して発塵し
、クリーンルーム内に飛散する。したがって、複雑な構
成で高価なエア供給装置が必要となシ、またキャリヤー
に対向する走行レールのレール面は流体抵抗が変化しな
いように、走行レールの全長にわたって高い平滑度に仕
上げる必要があシ、搬送装置が高価になるという問題点
があった。
ヤーを浮上させるために、クリーンエアは圧力および流
量をシビアに制御して供給する必要があシ、これを誤る
と走行中のキャリヤーと走行レールとが接触して発塵し
、クリーンルーム内に飛散する。したがって、複雑な構
成で高価なエア供給装置が必要となシ、またキャリヤー
に対向する走行レールのレール面は流体抵抗が変化しな
いように、走行レールの全長にわたって高い平滑度に仕
上げる必要があシ、搬送装置が高価になるという問題点
があった。
この発明は、上述した問題点を解決して、シビアなエア
コントロールを必要とせず、また走行レールのレール面
の平滑度が比較的低くてすむようにし、安価なリニアモ
ーター搬送装置を提供することを目的としている。
コントロールを必要とせず、また走行レールのレール面
の平滑度が比較的低くてすむようにし、安価なリニアモ
ーター搬送装置を提供することを目的としている。
この発明に係るリニアモーター搬送装置は、走行レール
内に設けたレール面にキャリヤーの走行レール内部分に
設けた車輪を転勤自在に支持し、キャリヤーの走行レー
ル外に設けた積載部を走行レールに形成したスリット部
に通した連結部によって上記走行レール内部分と一体化
し、走行レール内に形成したエア通路を走行レールの下
端部を経て無塵環境外に延びる排気ダクトに接続したも
のである。
内に設けたレール面にキャリヤーの走行レール内部分に
設けた車輪を転勤自在に支持し、キャリヤーの走行レー
ル外に設けた積載部を走行レールに形成したスリット部
に通した連結部によって上記走行レール内部分と一体化
し、走行レール内に形成したエア通路を走行レールの下
端部を経て無塵環境外に延びる排気ダクトに接続したも
のである。
この発明におけるリニアモーター搬送装置は、上述した
ように、走行レール内に設けたレール面にキャリヤーの
車輪を支持させた車輪走行式にしたので、レール面を高
い平滑度の仕上げにする必要がなく、また、走行レール
内に形成したエア通路から走行レールの下端部を経て上
記エア通路に接続した排気ダクトによってクリーンルー
ムのような無塵環境外に排出するようにしたので、レー
ル面に支持された車輪の転動によって走行レール内で発
塵しても、塵を含んだエアを無塵環境外に排出すること
ができ、この無塵環境を清浄に保つことができ、しかも
空気浮上式の搬送装置のような複雑なエア供給装置を必
要とせず、簡単な送風機ですみエアの制御も容易である
。
ように、走行レール内に設けたレール面にキャリヤーの
車輪を支持させた車輪走行式にしたので、レール面を高
い平滑度の仕上げにする必要がなく、また、走行レール
内に形成したエア通路から走行レールの下端部を経て上
記エア通路に接続した排気ダクトによってクリーンルー
ムのような無塵環境外に排出するようにしたので、レー
ル面に支持された車輪の転動によって走行レール内で発
塵しても、塵を含んだエアを無塵環境外に排出すること
ができ、この無塵環境を清浄に保つことができ、しかも
空気浮上式の搬送装置のような複雑なエア供給装置を必
要とせず、簡単な送風機ですみエアの制御も容易である
。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を第１図、第２図によって説
明する。
明する。
第１図、第２図中、第３図、第４図と同一符号は相当部
分を示す。この実施例では、走行レール１内に対向面に
開口する断面コ字状のレール面１１が形成され、上記レ
ール面１１にこれらに嵌めた車輪１２が転勤自在に支持
されている。車輪１２が両端部に枢着された断面溝形の
走行レール内部分２ａと走行レール１外の上方に配置さ
れる積載部２ｂとが平板状の連結部２ｃを介して一体に
設けられて、キャリヤー２が構成されている。走行レー
ル１の一部を構成するカバー１３が走行レール１の両側
面に固定されて、その開口した上面を覆い、カバー１３
の上面部間に走行レール１の長手方向に沿ってスリット
部１３ｍが設けられ、スリット部１３ｍにキャリヤー２
の連結部２Ｃが細隙を有して挿通されている。走行レー
ル１内に形成されたエア通路８はステータ−コイル６設
置部の孔８ａを経て走行レール１下端部の連通口８ｂに
至シ、連通口８ｂは中空の支柱５内からその下端を通シ
クリーンルーム１４外に延びる排気ダク）１５．１６に
接続され、排気ダクト１６内には送風機１７が設けられ
ている。なお、この実施例の上述した以外の構成は、第
３図、第４図に示す従来例のものと同様である。
分を示す。この実施例では、走行レール１内に対向面に
開口する断面コ字状のレール面１１が形成され、上記レ
ール面１１にこれらに嵌めた車輪１２が転勤自在に支持
されている。車輪１２が両端部に枢着された断面溝形の
走行レール内部分２ａと走行レール１外の上方に配置さ
れる積載部２ｂとが平板状の連結部２ｃを介して一体に
設けられて、キャリヤー２が構成されている。走行レー
ル１の一部を構成するカバー１３が走行レール１の両側
面に固定されて、その開口した上面を覆い、カバー１３
の上面部間に走行レール１の長手方向に沿ってスリット
部１３ｍが設けられ、スリット部１３ｍにキャリヤー２
の連結部２Ｃが細隙を有して挿通されている。走行レー
ル１内に形成されたエア通路８はステータ−コイル６設
置部の孔８ａを経て走行レール１下端部の連通口８ｂに
至シ、連通口８ｂは中空の支柱５内からその下端を通シ
クリーンルーム１４外に延びる排気ダク）１５．１６に
接続され、排気ダクト１６内には送風機１７が設けられ
ている。なお、この実施例の上述した以外の構成は、第
３図、第４図に示す従来例のものと同様である。
この実施例のリニアモーター搬送装置は、ステーターコ
イル６と２次コイルＴとで構成されるリニアモーターの
駆動によってキャリヤー２が走行レール１に沿って走行
する。この走行時に、キャリヤー２は車輪１２が走行レ
ール１のレール面１１を転動しつつ走行するので走行レ
ール１内で発塵する。しかし、塵１８は、送風機１Ｔの
駆動によって、第１図の矢印に示すように、走行レール
１上方からスリット部１３ａ−エア通路８−排気ダク）
１５．１６の経路で流れるエアと共にクリーンルーム１
４外に排出される。したがって、クリーンルーム１４内
に塵１８が侵入することがなく、上記ルーム１４内は洗
浄に保たれる。
イル６と２次コイルＴとで構成されるリニアモーターの
駆動によってキャリヤー２が走行レール１に沿って走行
する。この走行時に、キャリヤー２は車輪１２が走行レ
ール１のレール面１１を転動しつつ走行するので走行レ
ール１内で発塵する。しかし、塵１８は、送風機１Ｔの
駆動によって、第１図の矢印に示すように、走行レール
１上方からスリット部１３ａ−エア通路８−排気ダク）
１５．１６の経路で流れるエアと共にクリーンルーム１
４外に排出される。したがって、クリーンルーム１４内
に塵１８が侵入することがなく、上記ルーム１４内は洗
浄に保たれる。
なお、この発明において、キャリヤーに積載される物品
はウェハカセットに限られることなく、適宜変更でき、
寸た走行レールは全部または一部がクリーンルームのよ
うな無塵環境に設置されるものである。
はウェハカセットに限られることなく、適宜変更でき、
寸た走行レールは全部または一部がクリーンルームのよ
うな無塵環境に設置されるものである。
以上説明したとおシ、この発明によれば、走行レール内
に設けたレール面にキャリヤーの車輪を支持した車輪走
行式とし、上記走行レール内に形成したエア通路から走
行レール下端部を経て上記エア通路に接続した排気ダク
トによって無塵環境外にエアを排出するようにしたので
、レール面と車輪の転勤によって走行レール内で発塵し
ても、塵を含んだエアを無塵環境外に排出でき、この環
境内に塵を出すことなく無塵環境を清浄に保つことがで
き、しかも構造が簡単で、エアの制御も容易でアシ、レ
ール面を高度に平滑にしなくてよいので加工が容易とな
シ、安価なリニアモーター搬送装置を提供できるという
効果が得られる。
に設けたレール面にキャリヤーの車輪を支持した車輪走
行式とし、上記走行レール内に形成したエア通路から走
行レール下端部を経て上記エア通路に接続した排気ダク
トによって無塵環境外にエアを排出するようにしたので
、レール面と車輪の転勤によって走行レール内で発塵し
ても、塵を含んだエアを無塵環境外に排出でき、この環
境内に塵を出すことなく無塵環境を清浄に保つことがで
き、しかも構造が簡単で、エアの制御も容易でアシ、レ
ール面を高度に平滑にしなくてよいので加工が容易とな
シ、安価なリニアモーター搬送装置を提供できるという
効果が得られる。
第１図はこの発明の一実施例によるリニアモーター搬送
装置を示す横断面図、第２図は同一部を切欠いた部分側
面図、第３図は従来例のリニアモーター搬送装置を示す
側面図、第４図は同一部を断面した正面図でおる。 １・・・走行レール、２・・・キャリヤー、２ｍ・・・
走行レール内部分、２ｂ・・・積載部、２ｃ・・・連結
部、８・・・エア通路、１１・・・転動面、１２・・・
車輪、１３＆・・・スリット部、１４・・・クリーンル
ーム、１５．１６・・・排気ダク）、１７・・・送風機
、１８・・・塵。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄 （ほか２名）第１図 第２図 手続補正書（自発） 昭和 ６是 ８月 ５日 持許庁長宮殿 −Ａ１、
事件の表示 特願昭６０−２０７６４５号２、発明
の名称 リニアモーター搬送装置３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称 （６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３吟５
、補正の対象 （１）図面 ６、補正の内容 （１）図面第１図を別紙のように補正する。 ７、添付書類
装置を示す横断面図、第２図は同一部を切欠いた部分側
面図、第３図は従来例のリニアモーター搬送装置を示す
側面図、第４図は同一部を断面した正面図でおる。 １・・・走行レール、２・・・キャリヤー、２ｍ・・・
走行レール内部分、２ｂ・・・積載部、２ｃ・・・連結
部、８・・・エア通路、１１・・・転動面、１２・・・
車輪、１３＆・・・スリット部、１４・・・クリーンル
ーム、１５．１６・・・排気ダク）、１７・・・送風機
、１８・・・塵。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄 （ほか２名）第１図 第２図 手続補正書（自発） 昭和 ６是 ８月 ５日 持許庁長宮殿 −Ａ１、
事件の表示 特願昭６０−２０７６４５号２、発明
の名称 リニアモーター搬送装置３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称 （６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３吟５
、補正の対象 （１）図面 ６、補正の内容 （１）図面第１図を別紙のように補正する。 ７、添付書類
Claims (3)
- （１）少なくとも一部が無塵環境に設けられた走行レー
ルに長手方向に沿うスリット部を形成し、上記走行レー
ル内にレール面を設け、走行レールの長手方向に走行す
るキャリヤーの走行レール内部分に車輪を設け、車輪を
上記レール面に転動自在に支持させ、上記キャリヤーの
走行レール外に位置する積載部をスリット部に挿通した
連結部によつて上記走行レール内部分と一体に構成する
と共に、走行レール内に形成したエア通路を走行レール
の下端部に設けた連通口を介して上記無塵環境外に延び
る排気ダクトに接続したことを特徴とするリニアモータ
ー搬送装置。 - （２）エア通路は、走行レール上面に開口するスリット
部からレール面周囲を経て走行レール下端部の連通口に
至るものである特許請求の範囲第１項記載のリニアモー
ター搬送装置。 - （３）排気ダクトは、走行レールを支持する支柱内の下
端部から無塵環境外に至るものであり、内部に送風機が
設置してある特許請求の範囲第１項または第２項記載の
リニアモーター搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207645A JPS6268005A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | リニアモ−タ−搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207645A JPS6268005A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | リニアモ−タ−搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6268005A true JPS6268005A (ja) | 1987-03-27 |
Family
ID=16543207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60207645A Pending JPS6268005A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | リニアモ−タ−搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6268005A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5939103U (ja) * | 1982-08-31 | 1984-03-13 | 越田 逸之助 | 突切バイト |
| JPS61150601A (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-09 | Daifuku Co Ltd | 荷搬送設備 |
-
1985
- 1985-09-19 JP JP60207645A patent/JPS6268005A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5939103U (ja) * | 1982-08-31 | 1984-03-13 | 越田 逸之助 | 突切バイト |
| JPS61150601A (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-09 | Daifuku Co Ltd | 荷搬送設備 |
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