JPS6269065A - 熱風発生器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、電子部品、極端に汚れ金嫌う製品。

材料等の加熱や乾燥全りＩノーンに行なう電気式の熱風
発生器に関する。

〔発明の背景〕

例えば、電子管、半導体等の電子部品は、高純度材料の
使用、プロセス条件の厳密さから、加熱や乾燥の方法に
制約が多い。また設備の設置環境のコントロール上、コ
ンノぐクトで、かつ熱交換効率の旨い熱源が必要である
。

このような要望’ｋｉ７を丁ものとして、従来１例えば
第１図に示すような熱風発生器が知らｎている。外側カ
バー１と内側カバー２とからなる筒状のカバー３内には
、絶縁物よりなるヒータ保持部４に巻回さ九π金属線の
ヒータ５が配設さｎている。

そこで、気体導入口６から内部に被加熱気体。

例えば高圧のエアを導入すると、エアはヒータ５で加熱
されて熱風吐出ロアから熱風として吐出する。この場＠
−６熱風の温ｆは温度センサ８で検出さ１．ヒータ５の
コントロール回路へフィードバックされ、コントロール
さｎる。

このような熱風発生器は次のような特徴全有する。（１
）燃焼ガスを発生しないのでクリーンである。

（２）熱風の温度′５！：直接測定してコントロールで
きるので温度制御が容易である。（３）ヒータが直接熱
風に接するので熱効率が良い。（４）多量の熱エネルギ
をコン／ぞクトな装置で発生できる。（５）風速が速い
ので多量な熱供給が可能である。

前記ヒータ５の材料は、通常、ニクロム、カンタル等の
ように比較的耐熱性が良く、かつ酸化しにくい材料が用
いらｎている。しかし、この種のヒータ５は、熱風が直
接的に触れ、ヒータ５表面が常に新鮮な空気にさらされ
るので、ヒータ５の酸化は単純に大気中にヒータ全放置
した場合に比して進行が速い。特に高温の熱風金得たい
場合は一層醗化が進み、ヒータがやせ細ってくる。この
ため、熱風温度の実用限度は７００℃程度である。

またヒータ５の材料は細い金属線であるので、高温に保
持するとヒータ５が延びて隣接する部分のタッチが生ず
る。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、長寿命及び高信頼性の熱風発生器を提
供することにある。

〔発明の概要〕 本発明は、筒状のカバー内にヒータ全配設し。

カバーの気体導入口より内部に気体全速ってヒータに直
接接触させ熱交換させ、カバーの熱風吐出口より熱風を
吐出させる熱風発生器全対象としている。そして、＃記
ヒータ材料として、導電性セラミックスを用いてなる。

〔発明の実施例〕

以下５本発明の一実施例全第２図により説明する。なお
、第１図と同じ部材には目Ｉじ符号を付し。

その説明を省略する。カバー３の内部には、導電性セラ
ミックスよりなるヒータ１０が配設さｎている。

このように、ヒータｌＯの材料は導電性セラミックスよ
りなるので１次のような特徴を有する。

（１）セラミックス自体は１５００〜２０００℃で焼結
するため、熱的に非常に安定しており、１０００℃程度
でも使用可能である。（２）セラミックスは添加物のｊ
ｌヲ変えることにより抵抗率全仏い範囲で可変できるの
で、金属ヒータのように長い線材ではなく、バルクの状
態で使用可能であり、熱膨張係数も小さく、かつ高温で
の機械的強度が高く。

タッチ、断線等が生じにくい。

なお、導電性セラミック材はその種類は限定されないが
、実験の結果、　ＳｔＣ！−ＺｒＲ２系及びＡｔ２０　
ｓ　−Ｚ　ｒ　Ｂ　２系が最も好ましい結果が得らｎた
。またカバー３の形状は特に図示の形状に限定されるも
のでなく、使用目的に応じて種々の形状に変更してもよ
い。

〔発明の効果〕

以上の説明７５１ら明らかなように、本発明によｎば、
ヒータの寿命が延びると共に、高温の熱風が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の断面図、第２図は本発明の一実施例を
示す断面図である。 ３・・・カバー、　　　６・・・気体導入口、　　　７
・・・熱風吐出口、　　　　１０・・・ヒータ。 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 筒状のカバー内にヒータを配設し、前記カバーの気体導
   入口より内部に気体を送つて前記ヒータに直接接触させ
   て熱交換させ、前記カバーの熱風吐出口より熱風を吐出
   させる熱風発生器において、前記ヒータ材料に導電性セ
   ラミックスを用いたことを特徴とする熱風発生器。